一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法技术

本发明专利技术公开了一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，属于微电子器件互连封装领域，该方法基于倒装焊技术，通过芯片或互连载片倒装焊接的方式，配合相应的MEMS微加工工艺技术实现高频固态集成放大器模块波导封装的金属互连，可缩短芯片互连的跨接距离，无引脚结构，具有低寄生效应、小键合尺寸及相干参数可控性良好的优点，可用于高频段/太赫兹频段固态集成放大器模块波导封装的低损耗金属互连。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，属于微电子器件互连封装领域，可用于高频段/太赫兹频段固态集成放大器模块波导封装的低损耗金属互连。
技术介绍
性能良好的固态集成放大器对高频/太赫兹应用系统的研制意义重大，随着频率和带宽的升高，影响固态集成放大器模块性能提升的关键问题之一就是其波导封装互连技术。美国国防部先进研究计划署（DARPA）2012年制定的DAHI（DiverseAccessibleHeterogeneousIntegration）计划中，已有相应的项目在开展这方面的研究。目前的高频固态集成放大器在研究过程中存在如下问题：（1）损耗问题：在高频固态集成放大器模块的波导封装中，模块中芯片和波导之间低损耗的过渡连接是当前的迫切需求，目前常用金属线键合的方式来实现芯片与传输线（微带线、共面波导）之间的连接，是封装中的关键技术。随着工作频率的提升，金属互连的延迟和功耗在不断增加，互连已经取代晶体管尺寸，成为决定电路性能的主要因素和限制其未来发展的瓶颈。（2）焊盘尺寸：出于降低功耗的考虑，高频芯片（>100GHz）出现了焊盘面积（<30μm）和焊盘间距（10μm左右）过小的问题，达到传统金丝键合技术极限，实际操作困难。
技术实现思路
本专利技术为克服上述技术缺陷，提出了一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，基于倒装焊技术，采用高频芯片直接倒装互连的方法，相较线键合技术，互连线长度短，无引脚结构，具有低寄生效应，金属互连损耗低，相干参数可控性良好，且异形微带线基片设计，可确保倒装焊的高平整性要求；采用基于互连载片的倒装互连方法，制作流程简单，研制周期短。本专利技术的技术方案如下：一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，其特征在于步骤为：制作异形微带线基片后，在待倒装焊接于微带线基片上的芯片的焊盘上制作倒装焊料凸点，然后通过倒装焊技术实现微带线基片与芯片的互连；或者，在基底上平整贴装微带线基片和芯片后，通过互连载片采用倒装焊技术实现微带线基片和芯片之间的互连；根据芯片焊盘的尺寸、微带线基片焊盘的尺寸、芯片焊盘与微带线基片焊盘的间距、以及相应功能模块性能设计参数设计所述互连载片上的金属互连线的尺寸和形状，再在金属互连线上制作倒装焊料凸点。当采用异形微带线基片时，具体的封装倒装互连工艺步骤如下：首先，根据芯片及其焊盘尺寸、以及相应功能模块性能设计参数，进行异形微带线基片的尺寸、空腔及边界结构的设计和制作；然后，采用焊料，将微带线基片平整贴装在封装腔体表面；再根据芯片焊盘的大小，在芯片焊盘上制作倒装焊料凸点；最后，采用倒装焊技术实现芯片和微带线基片的互连。这种互连工艺的步骤中，基于异形微带线基片的结构设计，在石英基片上通过光刻镀金方式制作微带线结构；然后采用激光划片或深氧化硅刻蚀设备，在微带线基片上制作空腔和不规则边界的异形结构。所述基片采用石英基片，在石英基片的正反面均镀金，其中正面金层具有微带线结构图案。当采用互连载片倒装时，具体的封装倒装互连工艺步骤如下：1、根据封装设计要求，选择合适的材料制作芯片和微带线基片的用于支撑的基底；2、根据芯片和微带线基片的尺寸，在基底上制作用于放置芯片和微带线基片的凹槽，目的是在倒装焊接时固定芯片和微带线基片的位置，同时保证贴片的平整性；3、将芯片、微带线基片平整贴装在基底凹槽中，以确保倒装焊接技术对样片的高平整度要求；4、根据芯片焊盘的尺寸和间距、微带线基片焊盘的尺寸和间距、以及相应功能模块性能设计参数，设计用于互连芯片和微带线基片的互连载片上金属互连线的尺寸和形状，并采用光刻和镀金的方式进行制备；根据芯片焊盘的尺寸和微带线基片焊盘的尺寸，在互连载片的金属互连线上制作倒装焊料凸点；5、采用倒装焊技术将互连载片通过倒装焊料凸点倒装焊接在芯片焊盘和微带线基片焊盘上，通过互连载片上的金属互连线实现芯片和微带线基片的互连。在这种互连工艺的步骤中，所述基底采用Si片、金属薄片等。当基底为Si片时，采用深硅刻蚀DRIE制作凹槽；当基底为金属薄片时，采用激光刻蚀制作凹槽；制作的凹槽深度根据芯片和微带线基片的厚度进行设计，80-150μm。步骤2中，贴装后，芯片和相邻微带线基片的上表面之间的高度差小于5μm。步骤3中设计互连载片的基底材料为石英、玻璃等硬性基底，或者为聚酰亚胺（PI）、环氧树脂、Rt5880/5870/5880LZ高频介质板等柔性基底。上述两种具体封装倒装工艺中，制作倒装焊料凸点的制作方法包括金丝球焊法或In膜回流起球法，其中：所述金丝球焊法，用于制作Au凸点，直径在50-80μm，适用于大于50μm尺寸焊盘的芯片。所述In膜回流起球法，用于制作In凸点，直径在10-15μm，适用于20-50μm尺寸焊盘的芯片。上述两种具体封装倒装工艺中，所采用的焊料可以是导电银胶、或者是低温预型焊片（SnPb、SnPbIn等）。本专利技术的有益效果如下：本专利技术采用将倒装焊技术，相较线键合，互连线长度短，无引脚结构；具有低寄生效应、损耗小、小键合尺寸、相干参数可控性良好等特点；且引入异形微带线基片设计，可确保倒装焊的高平整性要求，并缩小封装体积；制作流程简单，研制周期短。附图说明图1为实施例1中制作微带线基片的示意图；图2为实施例1中制作微带线基片的空腔和边界的异形结构的示意图；图3为实施例1中将微带线基片平整贴装在封装腔体表面的示意图；图4为图3的俯视示意图；图5为实施例1中制作了倒装焊料凸点的芯片示意图；图6为实施例1中形成互连结构后的剖面示意图；图7为实施例1中形成互连结构后的俯视示意图；图8为实施例2中在基底制作凹槽的纵向侧面截面示意图；图9为实施例2中基底制作凹槽的俯视示意图；图10为实施例2中将芯片和微带线基片贴装在基底凹槽的示意图；图11为图10的俯视示意图；图12为实施例2中制作了倒装焊料凸点的互连载片的示意图；图13为实施例2中形成互连结构后的剖面示意图；图14为实施例2中形成互连结构后的俯视示意图。具体实施方式实施例1如图1-7所示，当采用异形微带线基片时，具体的封装倒装互连工艺步骤如下：首先，根据芯片及其焊盘尺寸、以及相应功能模块性能设计参数，进行异形微带线基片的尺寸、空腔及不规则边界结构的设计和制作；然后，采用焊料，将微带线基片平整贴装在封装腔体表面；再根据芯片焊盘的大小，在芯片焊盘上制作倒装焊料凸点；最后，采用倒装焊技术实现芯片和微带线基片的互连。这种互连工艺的步骤中，基于异形微带线基片的结构设计，在石英基片上通过光刻镀金方式制作微带线结构；然后采用激光划片或深氧化硅刻蚀设备，在微带线基片上制作空腔和不规则边界的异形结构。所述石英基片的厚度120-150μm。在石英基片的正反面均镀金，其中正面金层具有微带图案，金层厚度为4μm。上述制作倒装焊料凸点的制作方法包括金丝球焊法或In膜回流起球法，其中：所述金丝球焊法，用于制作Au凸点，直径在50-80μm，适用于大于50μm尺寸焊盘的芯片。所述In膜回流起球法，用于制作In凸点，直径在10-15μm，适用于20-50μm尺寸焊盘的芯片。所采用的焊料可以是导电银胶、或者是低温预型焊片（SnPb、SnPbIn等）。实施例2如图8-14所示，当采用互连载片倒装时，具体的封装倒装互连工艺步骤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，其特征在于步骤为：制作异形微带线基片后，在待倒装焊接于微带线基片上的芯片的焊盘上制作倒装焊料凸点，然后通过倒装焊技术实现微带线基片与芯片的互连；或者，在基底上贴装微带线基片和芯片后，通过互连载片采用倒装焊技术实现微带线基片和芯片之间的互连；根据芯片焊盘的尺寸、微带线基片焊盘的尺寸、芯片焊盘与微带线基片焊盘的间距、以及相应功能模块性能设计参数设计所述互连载片上的金属互连线的尺寸和形状，再在金属互连线上制作倒装焊料凸点。

【技术特征摘要】
1.一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，其特征在于步骤为：制作异形微带线基片后，在待倒装焊接于微带线基片上的芯片的焊盘上制作倒装焊料凸点，然后通过倒装焊技术实现微带线基片与芯片的互连；或者，在基底上贴装微带线基片和芯片后，通过互连载片采用倒装焊技术实现微带线基片和芯片之间的互连；根据芯片焊盘的尺寸、微带线基片焊盘的尺寸、芯片焊盘与微带线基片焊盘的间距、以及相应功能模块性能设计参数设计所述互连载片上的金属互连线的尺寸和形状，再在金属互连线上制作倒装焊料凸点。2.根据权利要求1所述的一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，其特征在于：当采用异形微带线基片时，具体的封装倒装互连工艺步骤如下：首先，根据芯片尺寸、芯片焊盘尺寸、相应功能模块性能设计参数，进行异形微带线基片的尺寸、空腔结构和不规则边界结构的设计和制作；然后，采用焊料，将微带线基片平整贴装在封装腔体表面；再根据芯片焊盘的大小，在芯片焊盘上制作倒装焊料凸点；最后，采用倒装焊技术实现芯片和微带线基片的互连。3.根据权利要求2所述的一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，其特征在于：所述基片采用石英基片，在石英基片上通过光刻镀金方式制作微带线结构；然后采用激光划片或深氧化硅刻蚀设备，在该基片上制作空腔和不规则边界的异形结构，由此获得异形微带线基片。4.根据权利要求3所述的一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，其特征在于：在石英基片的正反面均镀金，其中正面金层具有微带线结构图案。5.根据权利要求1所述的一种高频芯片波导封装的倒装互连工艺方法，其特征在于：当采用互连载片倒装时，具体的封装倒装互连工艺步骤如下：（1）根据芯片和微带线基片的尺寸，在基底上制作用于放置芯片和微带线基片的凹槽；（2）将芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏娟，刘杰，刘清锋，周林，康小克，冯正，谭为，邓贤进，张健，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51