用于集成电路生产的操作台制造技术

技术编号:14661301 阅读:58 留言:0更新日期:2017-02-17 03:31
本发明专利技术涉及一种用于集成电路生产的操作台,包括台面及支撑脚,所述操作台的下方的车间地面埋设有通风道,所述通风道与吸尘器连接,所述支撑脚为空心管结构,支撑脚的下端借助导尘管与所述通风道连通,支撑脚的管壁上设有吸尘孔。本发明专利技术中,将吸尘器的吸尘管集中设置在操作台上的台面下方及支撑脚上,其结构紧凑、吸尘效果好,不额外占用空间,保证车间布置整洁、美观。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路的生产车间,特别涉及生产车间中的操作台。
技术介绍
目前,用于集成电路生产车间中,为保证车间的无尘环境,通常在车间的顶部、侧面设置多个除尘器,由于集成电路主要在操作台上操作,而除尘器的除尘管离操作台较远,导致除尘效果不佳,除尘时间较长,能耗较高。
技术实现思路
本申请人针对现有用于集成电路生产车间存在的上述缺点,提供一种用于集成电路生产的操作台,其配置有除尘管,采用地埋式布置,简化除尘结构。本专利技术所采用的技术方案如下:一种用于集成电路生产的操作台,包括台面及支撑脚,所述操作台的下方的车间地面埋设有通风道,所述通风道与吸尘器连接,所述支撑脚为空心管结构,支撑脚的下端借助导尘管与所述通风道连通,支撑脚的管壁上设有吸尘孔。作为上述技术方案的进一步改进:所述台面的下表面安装有一圈吸尘管,所述吸尘管与支撑脚的上端连通。本专利技术的有益效果如下:本专利技术中,将吸尘器的吸尘管集中设置在操作台上的台面下方及支撑脚上,其结构紧凑、吸尘效果好,不额外占用空间,保证车间布置整洁、美观。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中:1、台面;2、支撑脚;3、通风道;4、导尘管;5、吸尘孔;6、吸尘管。具体实施方式下面结合附图,说明本专利技术的具体实施方式。如图1所示,本实施例的用于集成电路生产的操作台,包括台面1及支撑脚2,操作台的下方的车间地面埋设有通风道3,通风道3与吸尘器连接,支撑脚2为空心管结构,支撑脚2的下端借助导尘管4与通风道3连通,支撑脚2的管壁上设有吸尘孔5。为进一步提高操作台的吸尘效果,台面1的下表面安装有一圈吸尘管6,吸尘管6与支撑脚2的上端连通。吸尘管6隐藏于台面1的下方,不额外占用空间。吸尘管6的管壁具有吸附孔,该吸附孔布置于管壁外侧。吸尘器工作时,通过通风道3对支撑脚2及吸尘管6进行抽吸,由于支撑脚2及吸尘管6接近于操作台,故其对操作台周围及台面1上的灰尘的吸除效果好。以上描述是对本专利技术的解释,不是对专利技术的限定,本专利技术所限定的范围参见权利要求,在不违背本专利技术的精神的情况下,本专利技术可以作任何形式的修改。本文档来自技高网...
用于集成电路生产的操作台

【技术保护点】
一种用于集成电路生产的操作台,包括台面(1)及支撑脚(2),其特征在于:所述操作台的下方的车间地面埋设有通风道(3),所述通风道(3)与吸尘器连接,所述支撑脚(2)为空心管结构,支撑脚(2)的下端借助导尘管(4)与所述通风道(3)连通,支撑脚(2)的管壁上设有吸尘孔(5)。

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路生产的操作台,包括台面(1)及支撑脚(2),其特征在于:所述操作台的下方的车间地面埋设有通风道(3),所述通风道(3)与吸尘器连接,所述支撑脚(2)为空心管结构,支撑脚(2)的下端借助导尘管(4...

【专利技术属性】
技术研发人员:吕耀安
申请(专利权)人:无锡宏纳科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1