【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种超高纯氨水生产系统，包括液氨罐、预处理罐、超纯水罐、减压蒸馏装置、半成品罐一、半成品罐二、纯水罐、过滤系统、成品罐。本技术通过超纯水罐将超纯水注入预处理罐，液氨经过超纯水进行水洗，可以有效去除金属离子杂质和非金属离子杂质，避免发生二次污染现象，过滤系统采用多级膜循环过滤系统，可以大量去除直径大于0.5μm颗粒物，使其纯度达到PPT级，满足极大规模集成电路生产工艺，使其国产化、本土化。【专利说明】一种超高纯氨水生产系统
本技术涉及超闻纯试剂提纯技术，具体涉及一种超闻纯氣水生广系统。
技术介绍
超高纯试剂是电子领域微细加工制作中不可缺少的关键性基础化工原料之一，主要用于芯片的清洗和蚀刻。电子化学品一般是指为电子工业配套的专用化学品，而超高纯湿电子化学品主要包括集成电路和分立器件用化学品、晶体硅太阳能用化学品和平板显示用化学品等，其具有质量要求高、功能性强、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更精纯。
技术实现思路
本技术针主要针对国内微电子、光电子行业的迅猛，而电子化学品的发展滞后，为满足其生产工艺所需，公司通过引进、消化和吸收国外先进技术使其国产化本土化，减低行业的生产成本，提供一种超高纯氨水生产系统。本技术解决现有技术问题的方案是:一种超高纯氨水生产系统，包括液氨罐、预处理罐、超纯水罐、减压蒸馏装置、半成品罐一、半成品罐二、纯水罐、过滤系统、成品罐，所述液氨罐连接在预处理罐中部，超纯水罐连接在预处理罐上方，预处理罐连接减压蒸馏装置，减压蒸馏装置 连接半成品罐一，半成品罐一连接半成品罐二，半成品罐二上方连接纯水罐，半成品罐 二...
【技术保护点】
一种超高纯氨水生产系统，其特征在于：包括液氨罐、预处理罐、超纯水罐、减压蒸馏装置、半成品罐一、半成品罐二、纯水罐、过滤系统、成品罐，所述液氨罐连接在预处理罐中部，超纯水罐连接在预处理罐上方，预处理罐连接减压蒸馏装置，减压蒸馏装置连接半成品罐一，半成品罐一连接半成品罐二，半成品罐二上方连接纯水罐，半成品罐二下部连接过滤装置，过滤系统连接成品罐。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：殷福华，朱龙，邵勇，
申请(专利权)人：江阴江化微电子材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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