一种双层排气管道及其应用制造技术

本发明专利技术公开了一种双层排气管，包括内层管1，外层管2，与外层管连通的冷却循环水接头3，与内层管连接的粗管4。其内层管1，上部与真空反应腔体内管道连接。其外层管2，下部与内层管1连接，上部与ALD的真空腔外壁连接在一起，形成中空结构。其冷却水接头3，一端连通外层管2，与内外层管间中空结构形成通路，另一端用于连接冷却循环水。其粗管4内径与内层管外径相同，且上部与内层管连接，下部作为连接后端真空抽气管道的接口。该排气管一方面连接真空反应腔与真空抽气管道，确保真空的获得；同时通过双层结构设计，冷却水的使用，确保了设备适宜的工作环境。

Double layer exhaust pipe and its application

The invention discloses a double layer exhaust pipe, which comprises an inner tube 1, an outer layer pipe, a cooling circulating water joint which is communicated with the outer layer pipe and a thick pipe which is connected with the inner pipe of the water pipe, which is 4, which is connected with the outer layer pipe and the outer pipe, and the inner part of the exhaust pipe is connected with the outer layer pipe 2. The upper part of the inner tube 1 is connected with the pipeline in the vacuum reaction chamber. The outer tube 2 is connected with the inner layer pipe, the upper part of which is connected with the inner wall of the, and the upper part is connected with the outer wall of the vacuum chamber of the ALD to form a hollow structure. One end of the cooling water connector 3 is communicated with the outer layer pipe 2, and a hollow structure is formed between the inner and outer layers. The inner diameter of the inner diameter of the inner tube is the same as the outer diameter of the inner tube, and the upper part is connected with the inner layer pipe, and the lower part is used as an interface for connecting the vacuum pipe of the back end. On the one hand, the exhaust pipe is connected with the vacuum reaction chamber and the vacuum gas extraction pipeline to ensure the vacuum to be obtained.

【技术实现步骤摘要】
专利
本专利技术涉及一种原子层沉积（ALD）系统中，特别是涉及一种双层排气管，用于原子层沉积（ALD）系统中连接反应腔体与真空抽气管道管路。
技术介绍
根据ALD的反应原理，在现有技术中，反应前驱体经气体管路进入ALD反应腔体，同时通过连接真空泵，获得实时的连续真空。而工作过程中，反应腔一般具有较高的温度（150℃-400℃）,因此会导致连接反应腔体的排气管同样具有较高的温度，特别是连接真空腔与外部排气管路的部分的高温会极大的影响设备运行环境。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术提出一种双层排气管，通过内层与真空反应腔体和真空抽气管道连接，获得所需要的真空，同时外层可通冷却循环水，避免了管道温度过高，方便了后端真空抽气管道的使用。本专利技术提出一种双层排气管，其特征在于，包括内层管1，外层管2，与外层管连通的冷却循环水接头3，与内层管连接的粗管4。其内层管1，上部与真空反应腔体内管道连接。其外层管2，下部与内层管1连接，上部与ALD的真空腔外壁连接在一起，形成中空结构。其冷却水接头3，一端连通外层管2，与内外层管间中空结构形成通路，另一端用于连接冷却循环水。其粗管4内径与内层管外径相同，且上部与内层管连接，下部作为连接后端真空抽气管道的接口。本专利技术具有如下优点：1、连接真空反应腔与真空抽气管道，确保真空的获得；2、通过双层结构设计，冷却水的使用，确保了设备适宜的工作环境。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术作出详细的说明，其中：图1为本专利技术较佳实施例的结构示意图；图2为本专利技术较佳实施例的结构剖视图。具体实施方式如图1、与2所示，为本专利技术较佳实施例的结构示意图，所述的一种双层排气管，包括内层管1，外层管2，与外层管连通的冷却循环水接头3，与内层管连接的粗管4。内层管1，上部与真空反应腔体内管道连接；外层管2，下部与内层管1连接，上部与ALD的真空腔外壁连接在一起，形成中空结构；冷却水接头3，一端连通外层管2，与内外层管间中空结构形成通路，另一端用于连接冷却循环水；粗管4内径与内层管外径相同，且上部与内层管连接，下部作为连接后端真空抽气管道的接口。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双层排气管，其特征在于，包括内层管（1），外层管（2），与外层管连通的冷却循环水接头（3），与内层管连接的粗管（4）。

【技术特征摘要】
1.一种双层排气管，其特征在于，包括内层管（1），外层管（2），与外层管连通的冷却循环水接头（3），与内层管连接的粗管（4）。2.如权利要求1所述的一种双层排气管，其特征在于，其内层管（1），上部与真空反应腔体内管道连接。3.如权利要求1所述的一种双层排气管，其特征在于，其外层管（2），下部与内层管（1）连接，上部与ALD的真空腔外壁连接在一起，形成中空结构。4.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：何丹农，尹桂林，卢静，金彩虹，
申请(专利权)人：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31