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本发明公开了一种双层排气管，包括内层管1，外层管2，与外层管连通的冷却循环水接头3，与内层管连接的粗管4。其内层管1，上部与真空反应腔体内管道连接。其外层管2，下部与内层管1连接，上部与ALD的真空腔外壁连接在一起，形成中空结构。其冷却水接...该专利属于上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司授权不得商用。