The invention relates to a method for detection of tube type PECVD graphite boat temperature, which is coated on the graphite boat on a layer of thermochromic materials, or coated with a thermochromic material patch in the surface of the graphite boat; thermochromic materials including at least one kind of color temperature 25 ~ 30 DEG C temperature change of material. The temperature sensitive color changing material is adopted, and the color changing temperature is 25 to 30 DEG C. The temperature sensitive color changing material adopts a plurality of temperature changing colors, and the color changing temperature of a plurality of temperature sensitive color changing materials is distributed in the form of temperature gradient. The invention relates to a method for detecting the temperature of a PECVD tube of graphite tube, which can quickly identify whether the graphite boat is cooled to room temperature.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,属于太阳能电池生产
技术介绍
目前太阳能电池镀膜设备中管式PECVD设备采用石墨舟作为硅片的载具进入PECVD腔体内进行镀膜。而在PECVD整个工艺过程中,石墨舟需要进入PECVD炉管内,升温至450℃左右进行工艺。在出舟后,需要进行冷却至常温,方可进行下料(将石墨舟内镀好膜的硅片卸至承载盒内)。因硅片和石墨舟是贴合在一起的,因此两者温度基本一致,若石墨舟未冷却至常温,有很大的概率在卸片过程中,将吸笔烫坏,以及硅片上会出现吸笔印的问题而降级,造成产品优质率降低。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,能够快速识别石墨舟是否冷却至常温的方法。按照本专利技术提供的技术方案,所述一种探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,其特征是:在所述石墨舟片上涂覆一层感温变色材料,或者将涂覆有感温变色材料的贴片粘贴于石墨舟片表面;所述感温变色材料包括至少一种变色温度为25~30℃的感温变色材料。在一个具体实施方式中,所述感温变色材料采用一种,变色温度为25~30℃。在一个具体实施方式中,所述感温变色材料采用多种,该多种感温变色材料的变色温度以温度梯度的形式分布。在一个具体实施方式中,所述温度梯度为450℃、300℃、200℃、100℃、50℃、30℃、25℃。在一个具体实施方式中,所述30℃变色的感温变色材料采用聚氧乙烯-聚氧丙烯-聚氧乙烯嵌段共聚物为温度敏感分子,加入琼脂等增稠剂,加入水搅拌均匀,冷却成膜。在一个具体实施方式中,所述50℃变色的感 ...
【技术保护点】
一种探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,其特征是:在所述石墨舟片上涂覆一层感温变色材料,或者将涂覆有感温变色材料的贴片粘贴于石墨舟片表面;所述感温变色材料包括至少一种变色温度为25~30℃的感温变色材料。
【技术特征摘要】
1.一种探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,其特征是:在所述石墨舟片上涂覆一层感温变色材料,或者将涂覆有感温变色材料的贴片粘贴于石墨舟片表面;所述感温变色材料包括至少一种变色温度为25~30℃的感温变色材料。2.如权利要求1所述的探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,其特征是:所述感温变色材料采用一种,变色温度为25~30℃。3.如权利要求1所述的探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,其特征是:所述感温变色材料采用多种,该多种感温变色材料的变色温度以温度梯度的形式分布。4.如权利要求3所述的探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,其特征是:所述温度梯度为450℃、300℃、200℃、100℃、50℃、30℃、25℃。5.如权利要求4所述的探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,其特征是:所述30℃变色的感温变色材料采用聚氧...
【专利技术属性】
技术研发人员:鲁科,乔琦,钱洪强,陆红艳,黄海涛,陈如龙,
申请(专利权)人:无锡尚德太阳能电力有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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