【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种长杆离子源,具体涉及一种长杆离子源进气结构。
技术介绍
离子源是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。常用离子源工作过程采用电离气体原子或者分子从而引出等离子体。本技术针对的是:由于设计的长杆离子源内部空腔直径为28mm,其结构细长内部空间狭小,为了克服在有限的空间里不仅需要安装进气结构,还需要安装正负电极冷却水循环结构、灯丝冷却水循环结构及供电装置,且各个管路之间还需要做电位隔离处理,整体结构设计较为复杂的技术问题,现提供一种方案。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种长杆离子源进气结构。本技术的目的可以通过以下技术方案实现:一种长杆离子源进气结构,包括位于筒体内的灯丝阳极座、以及位于主支撑箱内的第一PEEK树脂绝缘座,所述的筒体内设有进气管,该进气管一端与灯丝阳极座焊接,另一端与第一PEEK树脂绝缘座密封粘接。所述的进气管是一根外径3mm、内径2mm、长度1500mm的无氧铜管。所述的筒体与离子源的头部安装连接,头部内安装有灯丝,灯丝与灯丝阳极座和阴极座固定,灯丝阳极座与阴极座之间间隙为2mm,中间用陶瓷杆隔离电位。所述的筒体通过夹持装置及压紧结构安装在主支撑箱上。所述的第一PEEK树脂绝缘座一侧设有第二PEEK树脂绝缘座;上述两个绝缘座通过第一密封圈、第二密封圈及螺钉固定在主支撑箱上。所述的第一PEEK树脂绝缘座上设有进气接头,该进气接头采用1/8NPT管螺纹结构自密封安装在第一PEEK ...
【技术保护点】
一种长杆离子源进气结构,包括位于筒体(7)内的灯丝阳极座(5)、以及位于主支撑箱(10)上的第一PEEK树脂绝缘座(11),其特征在于,所述的筒体(7)内设有进气管(6),该进气管(6)一端与灯丝阳极座(5)焊接,另一端与第一PEEK树脂绝缘座(11)密封粘接。
【技术特征摘要】
1.一种长杆离子源进气结构,包括位于筒体(7)内的灯丝阳极座(5)、以及位于主支撑箱(10)上的第一PEEK树脂绝缘座(11),其特征在于,所述的筒体(7)内设有进气管(6),该进气管(6)一端与灯丝阳极座(5)焊接,另一端与第一PEEK树脂绝缘座(11)密封粘接。2.根据权利要求1所述的一种长杆离子源进气结构,其特征在于,所述的进气管(6)是一根外径3mm、内径2mm、长度1500mm的无氧铜管。3.根据权利要求1所述的一种长杆离子源进气结构,其特征在于,所述的筒体(7)与离子源的头部(1)安装连接,头部(1)内安装有灯丝(2),灯丝(2)与灯丝阳极座(5)和阴极座固定,灯丝阳极座(5)与阴极座之间间隙为2mm,中间用陶瓷杆(4)隔离电位。4.根据权利要求1所述的一种长杆离子源进气结构,其特征在于,所述的筒体(7)...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢亚红,顾玉明,胡纯栋,宋云涛,
申请(专利权)人:合肥中科离子医学技术装备有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽;34
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