多层导电图案电感器及其制造方法技术

提供一种多层导电图案电感器及其制造方法，所述多层导电图案电感器包括磁性主体和内线圈部。磁性主体包含磁性材料。内线圈部嵌入在磁性主体中并包括设置在绝缘基板的两个背对的表面上的彼此连接的线圈导体。线圈导体中的每个包括由至少两个层形成的导电图案、覆盖导电图案的表面涂层以及形成在表面涂层的上表面上的上镀层。

【技术实现步骤摘要】
本申请要求于2015年5月11日在韩国知识产权局提交的第10-2015-0065320号韩国专利申请的优先权和权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用被包含于此。
本公开涉及一种多层种子图案电感器及其制造方法。
技术介绍
电感器(电子组件)是通常与电阻器和电容器一起应用在电子电路中以去除噪声的代表性的无源元件。可通过下述方法制造薄膜型电感器：通过镀覆形成内线圈部；通过对由磁性粉末和树脂彼此混合获得的磁性粉末-树脂复合材料进行固化来形成磁性主体；然后在磁性主体的外表面上形成外电极。
技术实现思路
本公开的一方面可提供一种多层种子图案电感器及其制造方法，在多层种子图案电感器中，通过增大内线圈部的截面面积来减小直流电阻(Rdc)。根据本公开的一方面，一种多层种子图案电感器可包括内线圈部，其中，内线圈部嵌入在磁性主体中并且包括设置在绝缘基板的两个背对的表面上的彼此连接的线圈导体。线圈导体中的每个可包括具有至少两个层的种子图案、覆盖种子图案的表面涂层以及形成在表面涂层的上表面上的上镀层。根据本公开的另一方面，一种制造多层种子图案电感器的方法可包括：在绝缘基板的两个背对的表面上形成线圈导体，以形成内线圈部；在内线圈部的上表面和下表面上堆叠磁性片，以形成磁性主体。线圈导体的形成可包括：在绝缘基板上形成包括至少两个层的种子图案；形成覆盖种子图案的表面涂层；在表面涂层的上表面上形成上镀层。根据本公开的另一方面，一种形成多层线圈电感器的方法可包括：在绝缘基板上形成呈螺旋形状的种子图案；形成覆盖种子图案的表面涂层；在表面涂层的上表面上形成上镀层。种子图案的形成可包括：在绝缘基板上形成第一阻镀剂；通过曝光和显影在第一阻镀剂中形成开口；通过镀覆在第一阻镀剂中的开口中形成包含导电金属的第一种子图案；在第一阻镀剂和第一种子图案上形成第二阻镀剂；通过曝光和显影在第二阻镀剂中形成开口，以暴露第一种子图案；通过镀覆在第二阻镀剂中的开口中形成包含导电金属的第二种子图案；去除第一阻镀剂和第二阻镀剂。附图说明根据参照附图进行的详细描述，本公开的以上和其它方面、特征以及优点将被更加清楚地理解，在附图中：图1是示出根据示例性实施例的多层种子图案电感器的示意性透视图；图2是沿图1的I-I'线截取的剖视图；图3是图2的'A'部分的一个说明性示例的放大示意图；图4是图2的'A'部分的另一说明性示例的放大示意图；图5A至图5H是示出根据示例性实施例的制造多层种子图案电感器的方法的顺序性步骤的示图；图6A至图6F是示出根据示例性实施例的用于形成种子图案的方法的顺序性步骤的示图；图7是示出根据示例性实施例的表面涂层的形成方法的示图；图8是示出根据示例性实施例的上镀层的形成方法的示图。具体实施方式在下文中，将参照附图描述本专利技术构思的实施例。然而，本专利技术可按照许多不同的形式举例说明且并不应该被解释为局限于在此阐述的特定实施例。更确切地说，提供这些实施例，以使该公开将是彻底的和完整的，并将本公开的范围充分地传达给本领域技术人员。在整个说明书中，将理解的是，当诸如层、区域或晶片(基板)的元件被称为“位于”另一元件“上”、“连接到”或者“结合到”另一元件时，所述元件可直接“位于”另一元件“上”、直接“连接到”或者直接“结合到”另一元件，或者可存在介于它们之间的其它元件。相比之下，当元件被称为“直接位于”另一元件“上”、“直接连接到”或者“直接结合到”另一元件时，不存在介于它们之间的元件或层。相同的标号始终指示相同的元件。如在此使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关联的所列项目中的任何以及全部组合。将明显的是，虽然可在此使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种构件、组件、区域、层和/或部分，但是这些构件、组件、区域、层和/或部分不应被这些术语限制。这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离示例性实施例的教导的情况下，下面讨论的第一构件、组件、区域、层或部分可称作第二构件、组件、区域、层或部分。为了描述的方便，可在此使用与空间相关的术语(例如，“在…之上”、“上方”、“在…之下”和“下方”等)，以描述如图中示出的一个元件与另一元件基于位置的关系。将理解的是，与空间相关的术语基于图中示出的特定方位，并且除了图中示出的方位之外，与空间相关的术语还意图包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果图中的装置被翻转，则被描述为“在”其它元件或特征“之上”或“上方”的元件将被定位为“在”所述其它元件或特征“之下”或“下方”。因此，术语“在…之上”可根据附图的特定方向而包含“在…之上”和“在…之下”的两种方位。装置可被另外定位(旋转90度或处于其它方位)，并可对在此使用的与空间相关的描述做出相应解释。在此使用的术语仅用于描述特定实施例，并且无意限制本专利技术构思。如在此使用的，除非上下文中另外清楚地指明，否则单数形式也意于包括复数形式。还将理解的是，当本说明书中使用术语“包括”和/或“包含”时，列举存在所述的特征、整体、步骤、操作、构件、元件和/或其组合，而不排除存在或增加一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、构件、元件和/或其组合。在下文中，将参照示出示例性实施例的示意图描述本专利技术构思的实施例。然而，由于制造技术和/或公差，实际制造的实施例会与示出的实施例稍有不同。因此，本专利技术构思的实施例不应被解释为受限于在此示出的区域的特定形状，而是应被理解为包括例如由于制造工艺导致的形状的改变。以下的实施例也可由一个或其组合而构成。多层种子图案电感器图1是示出根据本公开的示例性实施例的多层种子图案电感器的示意性透视图。多层种子图案电感器的主体被示意性地示出为透明的，以使内线圈部可见。参照图1，将电源电路的电源线中使用的薄膜型电感器作为多层种子图案电感器100的示例进行公开。根据示例性实施例的多层种子图案电感器100可包括：磁性主体50；内线圈部40，嵌入在磁性主体50中；第一外电极81和第二外电极82，设置在磁性主体50的外表面上，从而电连接到内线圈部40的相应的端部。在根据示例性实施例的多层种子图案电感器100中，“长度”方向指图1中的“L”方向，“宽度”方向指图1中的“W”方向，“厚度”方向指图1中的“T”方向。磁性主体50可形成多层种子图案电感器100的外部的至少一部分，并且可由呈现磁性质的任何材料形成。例如，磁性主体50可由铁氧体和/或磁性金属粉末形成，或由包括铁氧体和/或磁性金属粉末的材料形成。铁氧体可以为例如Mn-Zn基铁氧体、Ni-Zn基铁氧体、Ni-Zn-Cu基铁氧体、Mn-Mg基铁氧体、Ba基铁氧体、锂Li基铁氧体等。磁性金属粉末可包含选自于由Fe、Si、Cr、Al和Ni组成的组中的任意一种或多种。例如，磁性金属粉末可包含Fe-Si-B-Cr基非晶金属，但不限制于此。磁性金属粉末的粒径可以为0.1μm至30μm，并且可分散在诸如环氧树脂、聚酰亚胺等的热固性树脂中。在这样的示例中，磁性主体50可由磁性金属粉末和所述粉末分散在其中的热固性树脂形成。设置在磁性主体50中的内线圈部40可通过将形成在绝缘基板20的一个表面上的第一线圈导体41连接到形成在绝缘基板20的与所述一个表面背对的另一表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层种子图案电感器，包括：磁性主体，包含磁性材料；内线圈部，嵌入在磁性主体中，并且包括设置在绝缘基板的两个背对的表面上的彼此连接的线圈导体，其中，线圈导体中的每个包括具有至少两个层的种子图案、覆盖种子图案的表面涂层以及形成在表面涂层的上表面上的上镀层。

【技术特征摘要】
2015.05.11 KR 10-2015-00653201.一种多层种子图案电感器，包括：磁性主体，包含磁性材料；内线圈部，嵌入在磁性主体中，并且包括设置在绝缘基板的两个背对的表面上的彼此连接的线圈导体，其中，线圈导体中的每个包括具有至少两个层的种子图案、覆盖种子图案的表面涂层以及形成在表面涂层的上表面上的上镀层。2.如权利要求1所述的多层种子图案电感器，其中，所述上镀层包括：第一上镀层，设置在表面涂层的上表面上；第二上镀层，设置在第一上镀层的上表面上。3.如权利要求1所述的多层种子图案电感器，其中，所述种子图案具有100μm或更大的总厚度。4.如权利要求1所述的多层种子图案电感器，其中，所述种子图案在种子图案的厚度方向上的截面形状大体上呈长方形。5.如权利要求1所述的多层种子图案电感器，其中，所述表面涂层沿宽度和厚度方向延伸，以覆盖种子图案的上表面和侧表面。6.如权利要求1所述的多层种子图案电感器，其中，所述上镀层在表面涂层的上表面上仅沿厚度方向延伸。7.如权利要求1所述的多层种子图案电感器，其中，所述表面涂层为各向同性的镀层。8.如权利要求1所述的多层种子图案电感器，其中，所述上镀层为各向异性的镀层。9.如权利要求1所述的多层种子图案电感器，其中，薄膜导体层设置在种子图案的下表面与绝缘基板之间。10.如权利要求1所述的多层种子图案电感器，其中，所述磁性主体包含磁性金属粉末和热固性树脂。11.一种制造多层种子图案电感器的方法，所述方法包括：在绝缘基板的两个背对的表面上形成线圈导体，以形成内线圈部；在内线圈部的上表面和下表面上堆叠磁性片，以形成磁性主体，其中，线圈导体的形成包括：在绝缘基板上形成包括至少两个层的种子图案；形成覆盖种子图案的表面涂层；在表面涂层的上表面上形成上镀层。12.如权利要求11所述的制造方法，其中，上镀层的形成包括：在表面涂层的上表面上形成第一上镀层；在第一上镀层的上表面上形成第二上镀层。13.如权利要求11所述的制造方法，其中，种子图案的形成包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔云喆，朴明俊，房惠民，灸寿，姜明杉，郑汀爀，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR