一种转折棱镜的夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种转折棱镜的夹持装置，包括：第一镀膜平面镜、第二镀膜平面镜、定位工装、第一支撑框架和第二支撑框架；其中，所述第一镀膜平面镜放置在所述第一支撑框架上；所述棱镜一端紧靠所述第一镀膜平面镜表面，另一端靠近所述第二镀膜平面镜；所述第二镀膜平面镜放置在所述第二支撑框架上。本实用新型专利技术通过采用两块镀膜平面镜分别安装于棱镜的两侧，镀膜平面镜的表面与棱镜的光面接触，棱镜的不镀膜表面用平端顶丝固定，避免了机械与光学表面的直接接触，由此降低了对光学均匀性的灵敏度，提高了曝光系统在积分均匀性仿真设计与实测值的一致性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及曝光光刻
，特别涉及一种转折棱镜的夹持装置。
技术介绍
用于大规模集成电路制造的光学投影曝光光刻技术，是近年来的主要光刻手段之一。其原理是通过投影物镜将掩模版上大规模集成电路图形成像在涂胶硅片上实现图形的转移。随着集成电路特征线宽的迅速减小，整个光刻设备的体积也越来越大，为了减小设备高度及便于内部布局，需要使用转折棱镜实现光路的转折。用于光刻设备离轴照明系统匀光模块的转折棱镜，其主要作用是：反射带有一定入射角度的光线，实现光路的转折。原有的棱镜夹持方式主要是通过两侧进行固定，一侧紧贴安装基准面，另一侧用球头顶丝固定，然后将整个镜座固定于匀光模块内，该结构的棱镜夹持装置存在如下几个缺点：1、球头顶丝及机械安装面与光学通光表面直接接触，无法使得转折的光线全部通过三棱镜，造成部分能量的损失，从而影响到照明系统中均匀性，导致无法满足1％的需求；2、镜座安装入匀光模块时，X、Y、Z三个方向上的自由度很难控制，由此产生的偏心、倾斜也会造成部分能量的损失，直接影响照明系统的光学均匀性，导致指标无法满足小于等于1％的需求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种转折棱镜的夹持装置，以解决现有装置在曝光系统中棱镜的转折效率的问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种转折棱镜的夹持装置，用于夹持棱镜，包括：第一镀膜平面镜、第二镀膜平面镜、第一支撑框架和第二支撑框架；其中，所述第一镀膜平面镜放置在所述第一支撑框架上；所述棱镜一端紧靠所述第一镀膜平面镜表面，另一端靠近所述第二镀膜平面镜；所述第二镀膜平面镜放置在所述第二支撑框架上。进一步的，在所述的转折棱镜的夹持装置中，所述转折棱镜的夹持装置还包括定位工装，其用于固定所述第一支撑框架。进一步的，在所述的转折棱镜的夹持装置中，所述定位工装是L型的。进一步的，在所述的转折棱镜的夹持装置中，所述定位工装能够在X、Y、Z三个方向自由运动。进一步的，在所述的转折棱镜的夹持装置中，所述转折棱镜的夹持装置还包括固定装置，其用于固定第二支撑框架。进一步的，在所述的转折棱镜的夹持装置中，所述固定装置是上端盖。进一步的，所述第二支撑框架具有若干个孔，通过平端顶丝穿过所述孔，使所述第一镀膜平面镜、第二镀膜平面镜和棱镜的端面贴合并靠紧。进一步的，在所述的转折棱镜的夹持装置中，所述第二支撑框架上的孔的数量为两个。进一步的，在所述的转折棱镜的夹持装置中，所述平端顶丝的数量为两个。进一步的，在所述的转折棱镜的夹持装置中，所述平端顶丝的直径小于等于1mm。本技术提供的转折棱镜的夹持装置，具有以下有益效果：本技术通过采用两块镀膜平面镜分别安装于棱镜的两侧，镀膜平面镜的表面与棱镜的光面接触，棱镜的不镀膜表面用平端顶丝固定，避免了机械与光学表面的直接接触，由此降低了对光学均匀性的灵敏度，提高了曝光系统在积分均匀性仿真设计与实测值的一致性。附图说明图1是本技术实施例的转折棱镜的夹持装置的结构示意图；图2是本技术实施例的转折棱镜的夹持装置的应用实施例一；图3是本技术实施例的转折棱镜的夹持装置的应用实施例二；图4-6是本技术实施例的转折棱镜的夹持装置采用镀膜平面镜夹持棱镜、直径2mm平端顶丝及直径1mm平端顶丝夹持棱镜后对X向积分均匀性影响示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的转折棱镜的夹持装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。如图1所示，本专利技术提供一种转折棱镜的夹持装置，用于夹持棱镜1，包括：第一镀膜平面镜2、第二镀膜平面镜2(所述第一镀膜平面镜和第二镀膜平面镜是相同结果的物体，只是一个设置在棱镜的左侧，一个设置在棱镜的右侧)、定位工装3、第一支撑框架7、第二支撑框架4、平端顶丝5和固定装置6；其中，所述第一镀膜平面镜2放置在所述第一支撑框架7上；所述定位工装3固定所述第一支撑框架7，所述定位工装3是L型的，能够在X、Y、Z三个方向自由运动，保证了棱镜1在X、Y、Z三个方向上的自由度的有效控制，间接解决了因无法准确安装棱镜而带来的能量损失和积分均匀性影响；所述棱镜1一端紧靠所述第一镀膜平面镜2表面，另一端靠近所述第二镀膜平面镜2；所述第二镀膜平面镜2放置在所述第二支撑框架4上；所述固定装置6固定所述第二支撑框架4，优选的，在本实施例中，所述固定装置6采用上端盖。当然在实际装配过程中，平端顶丝5和固定装置6为选用的装配工件，且根据现场需要可以调整具体的实施方式。所述第二支撑框架4具有若干个孔，优选的，在本实施例中，所述第二支撑框架4上设有两个孔，相对应的，采用两个平端顶丝5穿过所述孔，使所述第一镀膜平面镜2、第二镀膜平面镜2和棱镜1的端面贴合并靠紧。进一步的，本实施的转折棱镜的夹持装置的原理如下：首先将所述第一镀膜平面镜放置到第一支撑框架上，然后将所述定位工装固定到第一支撑框架上，保证第一镀膜平面与定位工装面接触良好；其次将所述棱镜根据需要位置将不镀膜的一面放置在定位工装上，镀膜的一面则紧靠在第一镀膜平面表面；接着将所述第二镀膜平面镜放置在所述第二支撑框架上，再将所述第二支撑框架固定到固定装置上；最后利用平端顶丝将第一镀膜平面镜、第二镀膜平面镜与棱镜的端面贴合并靠紧，将定位工装拆除即可。请参考图2，其是本技术实施例的转折棱镜的夹持装置的应用实施例一。如图2所示，光路从第一光学零件8通过所述棱镜1折射到第二光学零件9，实现提高对照明光路系统能量的利用率及均匀性等光学性能。请参考图3，其是本技术实施例的转折棱镜的夹持装置的应用实施例二。如图3所示，在该实施例中，包括光源模块31、光路传出模块32以及转折棱镜的夹持装置33。通过采用镀膜平面镜及平端顶丝代替原结构中直接利用球面顶丝与机械端面夹紧棱镜的方式，能大大提高棱镜(或多面镜)对能量的折射效率，最大程度上降低了光路中能量的损失，从另一方面也就提高了整个照明系统能量利用率。同样通过镀反射不同波段的膜层的平面镜还可以应用到其他小型多面镜的夹持中去，以提高所需波段及能量的利用率。请参考图4至图6，分别采用镀膜平面镜夹持棱镜、直径2mm平端顶丝及直径1mm平端顶丝夹持棱镜后对X向积分均匀性影响示意图；从图中我们可以看出当夹持棱镜的平端顶丝直径大于1mm时，对掩模面的积分均匀性影响较大。当夹持棱镜的平端顶丝直径小于等于1mm时则对掩模面积分均匀性的影响降低到最小。而当利用镀膜平面镜对棱镜进行夹持时，很明显对掩模面积分均匀性指标提升较大，从测试结果来看最大提升空间接近20％，同时完全满足1％的需求指标。上述描述仅是对本技术较佳实施例的描述，并非对本技术范围的任何限定，本
的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种转折棱镜的夹持装置，用于夹持棱镜，其特征在于，包括：第一镀膜平面镜、第二镀膜平面镜、第一支撑框架和第二支撑框架；其中，所述第一镀膜平面镜放置在所述第一支撑框架上；所述棱镜一端紧靠所述第一镀膜平面镜表面，另一端靠近所述第二镀膜平面镜；所述第二镀膜平面镜放置在所述第二支撑框架上。

【技术特征摘要】
1.一种转折棱镜的夹持装置，用于夹持棱镜，其特征在于，包括：第一镀膜平面镜、第二镀膜平面镜、第一支撑框架和第二支撑框架；其中，所述第一镀膜平面镜放置在所述第一支撑框架上；所述棱镜一端紧靠所述第一镀膜平面镜表面，另一端靠近所述第二镀膜平面镜；所述第二镀膜平面镜放置在所述第二支撑框架上。2.如权利要求1所述的转折棱镜的夹持装置，其特征在于，所述转折棱镜的夹持装置还包括定位工装，其用于固定所述第一支撑框架。3.如权利要求2所述的转折棱镜的夹持装置，其特征在于，所述定位工装是L型的。4.如权利要求2所述的转折棱镜的夹持装置，其特征在于，所述定位工装能够在X、Y、Z三个方向自由运动。5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵峰，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31