本发明专利技术公开了一种透射电镜的样品台组件，包括样品台本体和液体封装件，其中，所述样品台本体形成有备用液体存储腔(27)，所述液体封装件固定于所述样品台本体，并且所述液体封装件内部的透射液体腔(35)连通所述备用液体存储腔(27)以补充液体样品。通过在样品台本体上形成备用液体存储腔，并且将该备用液体存储腔连通于液体封装组件的透射液体腔，可以为透射液体腔补充液体样品，避免液体样品在组装液体封装组件的过程中意外挥发干燥，降低液体封装组件无法使用的可能，节省制作成本。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及透射电镜的样品装置，具体地，涉及一种透射电镜的样品台组件。
技术介绍
随着纳米科技的飞速发展，电子显微镜、X-射线能谱仪等仪器已成为分析纳米级微观结构及成分的主要手段，这些仪器是以电子束、X-射线等作为光源，经过与试样相互作用，得到试样微观结构及成分的信息，并且这些仪器需要在高真空环境工作(通常样品室的真空高于10-4Pa)，相应地，这要求所观察的样品外部干燥无挥发。然而，很多样品在液相与固相(干燥处理后)的结构不同，比如囊泡等分子在液相的自组装结构、生物分子及化学反应过程中的非平衡态结构等，因此，需要高真空环境中对于液相样品进行原位观察。在高真空观察液体样品，通过采用的方法是将液体封装于具有良好密封性能的液体封装组件内部，实现样品与电子显微镜样品室高真空环境的隔离，同时液体封装组件上形成有观察窗口，允许电子束、X-射线等穿过以形成图像。通常地，液体封装组件包括两个层叠间隔硅片，并且在每个硅片上以电子束“透明”的氮化硅(Si3N4)薄膜作为观察窗口，将液体封装于两个硅片间的密封舱后，两个硅片上的观察窗口彼此对齐以允许电子束、X-射线等穿过。由于液体封装组件的两个硅片的尺寸很小，其中所存储的液体样品的量也很小，在封装过程中，液体样品很容易挥发干燥，制作的液体封装组件中基本没有液体样品，很难实现对于液体样品的原位观察。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能够避免液体样品意外干燥的样品台组件。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种透射电镜的样品台组件，包括样品台本体和液体封装件，其中，所述样品台本体形成有备用液体存储腔，所述液体封装件固定于所述样品台本体，并且所述液体封装件内部的透射液体腔连通所述备用液体存储腔以补充液体样品。优选地，所述液体封装件包括层叠间隔的上封装片和下封装片，所述透射液体腔形成在所述上封装片和所述下封装片之间，所述上封装片设有第一观察窗且所述下封装片设有第二观察窗，所述第一观察窗和所述第二观察窗彼此对齐以形成允许透射电镜的电子束透射通过的透射通道。优选地，所述样品台本体包括层叠地夹持所述液体封装件的上夹片和下夹片，所述下夹片的上表面形成有容纳所述液体封装件的存放凹槽，所述存放凹槽的边缘部间隔地形成有多个横向向外延伸的凹陷部，该凹陷部连通所述上封装片和所述下封装片之间的所述透射液体腔，并且所述上夹片封盖所述下夹片使得所述凹陷部形成为所述备用液体存储腔。优选地，所述上封装片形成有贯通的多个第一参照孔，所述下封装片形成有贯通的多个第二参照孔，多个所述第一参照孔和多个所述第二参照孔彼此分别对齐。优选地，所述上夹片形成有第一通孔并且所述下夹片形成有第二通孔，所述第二通孔贯通所述存放凹槽，所述第一通孔对齐于所述第一观察窗并且所述第二通孔对齐于所述第二观察窗。优选地，所述上夹片的下表面形成有围绕所述第一通孔的第一环形凹槽，该第一环形凹槽中容纳有第一弹性密封圈，该第一弹性密封圈抵接于所述上封装片形成周向密封；所述下夹片的所述存放凹槽中形成有围绕所述第二通孔的第二环形凹槽，所述第二环形凹槽中容纳有第二弹性密封圈，该第二弹性密封圈抵接于所述下封装片形成周向密封，所述第一环形凹槽与所述第二环形凹槽彼此对齐。优选地，所述下夹片的上表面形成有围绕所述存放凹槽的第三环形凹槽，该第三环形凹槽中容纳有第三弹性密封圈，该第三弹性密封圈抵接所述上夹片形成周向密封。优选地，所述上夹片和所述下夹片均形成有定位孔和定位螺栓，所述定位螺栓穿过所述定位孔以使所述上夹片和所述下夹片彼此对齐，并且所述定位螺栓穿过所述定位孔的部分螺接有螺母件，以将所述上夹片和所述下夹片夹紧贴合。优选地，所述上封装片的下表面和所述下封装片的上表面分别设有厚度相同的隔层，该隔层支撑在所述上封装片和所述下封装片之间并且位于所述透射通道附近。优选地，所述上封装片包括第一基板和第一薄膜层，所述第一基板形成有第一观察口，所述第一薄膜层覆盖于所述第一基板的下表面以在所述第一观察口处形成所述第一观察窗；所述下封装片包括第二基板和第二薄膜层，所述第二基板形成有第二观察口，所述第二薄膜层覆盖于所述第二基板的上表面以在所述第二观察口处形成所述第二观察窗。通过上述技术方案，通过在样品台本体上形成备用液体存储腔，并且将该备用液体存储腔连通于液体封装组件的透射液体腔，可以为透射液体腔补充液体样品，避免液体样品在组装液体封装组件的过程中意外挥发干燥，降低液体封装组件成为废品的可能，节省制作成本。本专利技术的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是根据本专利技术的一种具体实施方式的样品台组件的分解图。图2是根据本专利技术的一种具体实施方式的液体封装组件的分解图。图3是根据本专利技术的一种具体实施方式的样品台本体的上夹片的结构图。图4是根据本专利技术的一种具体实施方式的样品台本体的下夹片的结构图。图5是根据本专利技术的一种具体实施方式的液体封装组件的上封装片的结构示意图。图6是根据本专利技术的一种具体实施方式的液体封装组件的下封装片的结构示意图。附图标记说明1 上夹片 2 下夹片3 上封装片 4 下封装片5 隔层 11 第一环形凹槽12 第一弹性密封圈 13 第一通孔21 第二环形凹槽 22 第二弹性密封圈23 第三通孔 24 存放凹槽25 第三环形凹槽 26 第三弹性密封圈27 液体存储腔 28 定位孔29 定位螺栓 31 第一基板32 第一薄膜层 33 第一观察口34 第一参照孔 41 第二基板42 第二薄膜层 43 第二观察口44 第二参照孔具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。在本专利技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指样品台组件水平地放置为待观测状态时的位置关系。本专利技术提供了一种透射电镜的样品台组件，包括样品台本体和液体封装件，其中，所述样品台本体形成有备用液体存储腔27，所述液体封装件固定于所述样品台本体，并且所述液体封装件内部的透射液体腔35连通所述备用液体存储腔27以补充液体样品。本专利技术的样品台组件可以安装到透射电镜的样品杆上，并且通过样品杆伸入到透射电镜的观察室内以能够进行观察。传统的液体封装组件与样品台本体为彼此相对独立的结构，而在本专利技术中，在样品台本体中设置了备用液体存储腔27，并且该备用液体存储腔27连通于所述液体封装组件的透射液体腔35，备用液体存储腔27可以为透射液体腔35补充液体样品，避免透射液体腔35中的液体样品在组装所述液体封装组件时挥发干燥。在透射电镜的观察室中，透射液体腔35中的液体样品能够允许电子束透射通过而得到样品的微观结构信息，所述液体封装组件形成透射液本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种透射电镜的样品台组件，包括样品台本体和液体封装件，其特征在于，所述样品台本体形成有备用液体存储腔(27)，所述液体封装件固定于所述样品台本体，并且所述液体封装件内部的透射液体腔(35)连通所述备用液体存储腔(27)以补充液体样品。
【技术特征摘要】
1.一种透射电镜的样品台组件，包括样品台本体和液体封装件，其特征在于，所述样品台本体形成有备用液体存储腔(27)，所述液体封装件固定于所述样品台本体，并且所述液体封装件内部的透射液体腔(35)连通所述备用液体存储腔(27)以补充液体样品。2.根据权利要求1所述的样品台组件，其特征在于，所述液体封装件包括层叠间隔的上封装片(3)和下封装片(4)，所述透射液体腔(35)形成在所述上封装片(3)和所述下封装片(4)之间，所述上封装片(3)设有第一观察窗且所述下封装片(4)设有第二观察窗，所述第一观察窗和所述第二观察窗彼此对齐以形成允许透射电镜的电子束透射通过的透射通道。3.根据权利要求2所述的样品台组件，其特征在于，所述样品台本体包括层叠地夹持所述液体封装件的上夹片(1)和下夹片(2)，所述下夹片(2)的上表面形成有容纳所述液体封装件的存放凹槽(24)，所述存放凹槽(24)的边缘部间隔地形成有多个横向向外延伸的凹陷部，该凹陷部连通所述上封装片(3)和所述下封装片(4)之间的所述透射液体腔(35)，并且所述上夹片(1)封盖所述下夹片(2)使得所述凹陷部形成为所述备用液体存储腔(27)。4.根据权利要求3所述的样品台组件，其特征在于，所述上封装片(3)形成有贯通的多个第一参照孔(34)，所述下封装片(4)形成有贯通的多个第二参照孔(44)，多个所述第一参照孔(34)和多个所述第二参照孔(44)彼此分别对齐。5.根据权利要求3所述的样品台组件，其特征在于，所述上夹片(1)形成有第一通孔(13)并且所述下夹片(2)形成有第二通孔(23)，所述第二通孔(23)贯通所述存放凹槽(24)，所述第一通孔(13)对齐于所述第一观察窗并且所述第二通孔(23)对齐于所述第二观察窗。6.根据权利要求5所述的样品台组件，其特征在于，所述上夹片(1)的下表面形成有围绕所述第一通孔(13)的第一环形凹槽(11)，该第一环...
【专利技术属性】
技术研发人员：关波，李祥，岳纪玲，梁丽荣，尚海平，
申请(专利权)人：中国科学院化学研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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