【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种耐碱性超高纯硅溶胶的制备方法，包括下列步骤：步骤一：以可以精馏提纯的有机硅烷作为原料，将其溶解于无机酸或有机酸制得酸性硅酸溶液；步骤二：将可以精馏提纯的有机硅烷溶解在无机碱或有机碱水溶液中制得碱性含硅溶液，或者将无机碱或 有机碱水溶液直接稀释制得碱性不含硅溶液；步骤三：将酸性硅酸溶液与碱性的含硅或不含硅溶液在１０５度以下的温度反应，制备成硅溶胶；步骤四：将硅溶胶在常压下或减压下加热至沸腾排除甲醇乙醇等副产品及一部分的水，得到浓度在２０％以上的 硅溶胶。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王宇湖，张宁，
申请(专利权)人：苏州纳迪微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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