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本发明公开了一种耐碱性超高纯硅溶胶的制备方法，包括下列步骤：一、以可以精馏提纯的有机硅烷作为原料，将其溶解于无机酸或有机酸制得酸性硅酸溶液；二、将可以精馏提纯的有机硅烷溶解在无机碱或有机碱水溶液中制得碱性含硅溶液，或者将无机碱或有机碱水溶液...
该专利属于苏州纳迪微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳迪微电子有限公司授权不得商用。

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