一种偏压电源结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种偏压电源结构，涉及真空离子镀技术领域，包括箱体、断路器、逆变器、电容器、控制板和散热风扇，所述逆变器、电容器、控制板从上到下依次安装于箱体上且依次连接，所述断路器设于逆变器和箱体的顶部之间，所述散热风扇安装于箱体的侧面，所述散热风扇有2个并分别正对着逆变器和控制板，所述控制板包括控制板A和控制板B且并排设置，本实用新型专利技术通过对原来的结构进行优化调整，使其布局合理，简单明了，维护方便，拆卸简单，冷却效果好，稳定性好，从而更好地为生产服务，提高了工作效率，降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空离子镀
，具体涉及一种偏压电源结构。
技术介绍
偏压电源(Bias power supply)是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压。偏压电源在现代工业中所起到的作用主要有：1)提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力；2)提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力；3)靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色；4)克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件。现有技术中提供了一种偏压电源结构，如图1和图2所示，包括断路器(1)、接触器(2)、电阻器(3)、电抗器(4)、散热风扇(5)、启动板(6)、逆变器(7)、电容器(8)、控制板A(9)和控制板B(10)，但是可以看出，上述偏压电源结构布局不合理，杂乱无章，维护不方便，拆卸困难，冷却效果不好，稳定性差，因此，需要对其内部结构进行重新排列组合，使其更加简化、安全和稳定，方便维护。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种偏压电源结构，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。一种偏压电源结构，包括箱体、断路器、逆变器、电容器、控制板和散热风扇，所述逆变器、电容器、控制板从上到下依次安装于箱体上且依次连接，所述断路器设于逆变器和箱体的顶部之间，所述散热风扇安装于箱体的侧面，所述散热风扇有2个并分别正对着逆变器和控制板，所述控制板包括控制板A和控制板B且并排设置。优选的，所述逆变器的顶部设有减震橡胶垫和滚轮，所述减震橡胶垫通过安装在滚轮上的螺栓固定在箱体上。优选的，所述箱体的底部设有两个提手。优选的，所述箱体内部的底部还设有温度传感器，所述温度传感器位于控制板A和控制板B之间并连接于报警器，所述报警器安装在箱体的底部。优选的，所述报警器连接于信号发射装置。本技术的优点在于：该种偏压电源结构通过对原来的结构进行优化调整，使其布局合理，简单明了，维护方便，拆卸简单，冷却效果好，稳定性好，从而更好地为生产服务，提高了工作效率，降低了生产成本。附图说明图1为现有技术中的一种偏压电源结构的内部结构分布示意图。图2为现有技术中的一种偏压电源结构的整体结构示意图。图3为本技术中实施例1的内部结构分布示意图。图4为本技术中实施例1的整体结构示意图。图5为本技术中实施例1的底部示意图。图6为本技术中实施例2的内部结构分布示意图。其中：1—断路器，2—逆变器，3—电容器，4—控制板A，5—控制板B，6—散热风扇，7—滚轮，8—提手，9—温度传感器，10—报警器，11—信号发射装置，12—减震橡胶垫，13—箱体。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。实施例1如图3、图4和图5所示，一种偏压电源结构，包括箱体13、断路器1、逆变器2、电容器3、控制板和散热风扇6，所述逆变器2、电容器3、控制板从上到下依次安装于箱体13上且依次连接，所述断路器1设于逆变器2和箱体13的顶部之间，所述散热风扇安装于箱体13的侧面，所述散热风扇6有2个并分
别正对着逆变器2和控制板，所述控制板包括控制板A 4和控制板B 5且并排设置。上述结构的偏压电源结构通过对原来的结构进行优化调整，使其布局合理，简单明了，维护方便，拆卸简单，冷却效果好，稳定性好，从而更好地为生产服务，提高了工作效率，降低了生产成本。实施例2如图5所示，在实施例1的基础上，对其结构进行进一步改进，所述逆变器2的顶部设有减震橡胶垫12和滚轮7，所述减震橡胶垫12通过安装在滚轮7上的螺栓固定在箱体13上，减震橡胶垫12可起到很好的减震作用，所示滚轮7可方便移动该装置，且滚轮7和减震橡胶垫12均通过同一个螺栓固定，拆装方便，省去了在箱体13上再打安装孔，所述箱体13的底部设有两个提手8，方便人们将其抬起，所述箱体13内部的底部还设有温度传感器9，所述温度传感器9位于控制板A 4和控制板B 5之间并连接于报警器10，所述报警器10安装在箱体13的底部，所述报警器10连接于信号发射装置11，当箱体13内特别是控制板处的温度超过设定温度时，可激发报警器10发出报警信息并通过信号发射装置11发送到电脑或手机上，便于人们及时发现问题。由技术常识可知，本技术可以通过其它的不脱离其精神实质或必要特征的实施方案来实现。因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本技术范围内或在等同于本技术的范围内的改变均被本技术包含。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种偏压电源结构，包括箱体、断路器、逆变器、电容器、控制板和散热风扇，其特征在于，所述逆变器、电容器、控制板从上到下依次安装于箱体上且依次连接，所述断路器设于逆变器和箱体的顶部之间，所述散热风扇安装于箱体的侧面，所述散热风扇有2个并分别正对着逆变器和控制板，所述控制板包括控制板A和控制板B且并排设置。

【技术特征摘要】
1.一种偏压电源结构，包括箱体、断路器、逆变器、电容器、控制板和散热风扇，其特征在于，所述逆变器、电容器、控制板从上到下依次安装于箱体上且依次连接，所述断路器设于逆变器和箱体的顶部之间，所述散热风扇安装于箱体的侧面，所述散热风扇有2个并分别正对着逆变器和控制板，所述控制板包括控制板A和控制板B且并排设置。2.根据权利要求1所述的一种偏压电源结构，其特征在于：所述逆变器的顶部设有减震橡胶垫和滚...

【专利技术属性】
技术研发人员：武文全，
申请(专利权)人：佛山市佛欣真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44