一种工件装夹夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种工件装夹夹具，包括位于溅镀室的腔室底部的底座、底座上的固定轴、处于相邻两个固定轴之间的工件装夹板、工件装夹板上设置的工件装夹孔、位于所述底座和所述溅镀室的腔室底部之间的传动轴；由于每个工件装夹板上的工件装夹孔可同时装夹至少两种不同类型的工件，因此能够同时溅镀不同类型的工件，提高溅镀的效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及磁控溅射镀膜
，尤其涉及一种工件装夹夹具。
技术介绍
随着人们生活水平的不断提高,越来越多的镀膜产品被广泛的应用，而与之相应的真空镀膜设备的制造也在镀膜技术的提升中变得愈加的重要。磁控溅射镀膜就是其中一种被广泛应用的镀膜技术，其原理是利用电子在电场的作用下加速飞向基材的过程中与溅射气体氩气碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基材薄膜，在此过程中不断地与氩原子碰撞，产生更多的氩原子和电子；氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子(或分子)沉积在基材表面的镀膜技术。磁控溅射镀膜是当前广泛应用的镀膜技术方法，被普遍应用于光学、微电子、耐磨、耐蚀、装饰等产业领域，用以提供可靠而稳定的薄膜镀层。如装饰用彩色镀膜，手机壳镀膜，建筑玻璃low-E镀膜，透明导电玻璃镀膜等。被镀膜的基片或工件，通常是玻璃，金属壳，亚克立，PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂，poly(ethylene terephthalate))膜等，被放置在夹具上，再安放在可移动的基片架上，由基片架自动带入磁控溅射镀膜室内进行镀膜。由于真空成膜技术特点，复杂工件表面溅射成膜工艺在膜厚的控制，均匀性和与工件的结合力表现得比较困难和复杂。随着机械制造业的快速发展，工件表面镀膜技术的应用范围，由刀具扩大到精密冲压模具、航天航空部件及电子配件插件。新的高性能膜层不断出现，如TiAlCN(氰化铝钛)、AlCrN(氮化铬铝)、TiSiN(氮化硅钛)、类金刚石等，提高了工模具的使用寿命和加工效率。对复杂工件表面磁控溅射镀膜技术的研究显得尤为重要目前，使用磁控溅射在 平面基材或工件表面镀膜的技术和工艺已经相当广泛和成熟了。对于磁控溅射镀膜，平面基材装夹方式一般可分为立式、卧式、圆桶式等几种方法。并且对平面基材的装夹方式的研究也十分广泛。例如磁控溅射立式镀膜夹具，提高了镀膜夹具的通用性，可以用在不同尺寸大小基片的镀膜中，在一定程度上减少了专用夹具制作费用。再例如某种固定夹具，在一定程度上也实现靶基距的距离的变化，实现调节靶基距的目的，提高了镀膜效率。现有技术中也有对异形工件装夹方式的研究，但也通常只能装夹单个的异形工件。例如一种基于磁控溅射技术的钢球镀膜夹具装置。该装置可以在一定程度上解决钢球镀膜时表面镀膜不均衡的问题，从而提高钢球的机械性能和表面均匀性。但是，该装置的适用性较低，对于其它类型的异形工件可能不适用。因此，设计一种适用性强并且可同时装夹不同工件的磁控溅射异形工件镀膜的装夹夹具，对提高磁控溅射异形工件镀膜的效率、较低成本具有十分重要的意义。
技术实现思路
本技术了提供了一种工件装夹夹具，以解决现有技术不能同时装夹不同类型的工件的技术问题。为解决上述技术问题，本技术提供了一种工件装夹夹具，包括：底座，位于溅镀室的腔室底部，所述溅镀室的侧壁设置靶材；所述底座上设置了N个第一固定孔；每个第一固定孔和所述底座的中心的距离相等；N≥2且为正整数；N个固定轴，和所述N个第一固定孔对应，每个固定轴通过各自的第一固定孔连接所述底座；M个工件装夹板，位于相邻两个固定轴之间，每个工件装夹板上设置有P个工件装夹孔，所述P个工件装夹孔安装至少两种不同类型的工件；其中，M为正整数，P≥2且为正整数；传动轴，位于所述底座和所述溅镀室的腔室底部之间；所述传动轴固定连接所述底座，所述传动轴由驱动电机驱动运转，进而带动所述底座旋转。优选的，所述工件装夹夹具还包括：顶盖，和所述底座对应；所述顶盖上设置了N个第二固定孔，每个第二固定孔和各自对应的第一固定孔配合，将各自的固定轴固定在所述顶盖和所述底座之间。优选的，所述第一固定孔和所述第二固定孔都为螺纹孔；每个固定轴的两端都设置有和所述螺纹孔对应的螺纹。优选的，每个工件装夹板上设置有销子，每个固定轴上设置有对应的销孔；通过所述销子和所述销孔的配合，使得每个工件装夹板处于相邻两个固定轴之间。优选的，相邻两个固定轴的距离和所述靶材的宽度相等。优选的，每个工件装夹孔内设置有夹紧装置。优选的，所述夹紧装置包括：弹珠和弹簧；所述弹珠处于对应的工件装夹孔的孔内侧壁上开设的孔道内，所述孔道的开口处的直径小于所述弹珠的直径；所述弹簧的一端和所述弹珠连接，所述弹簧的另一端固定在所述工件装夹孔内的侧壁上的孔道底部。优选的，所述顶盖为圆形顶盖；所述底座为圆形底座。优选的，在所述M个工件装夹板中，每个工件装夹板的尺寸、形状可以相同也可以不同。通过本技术的一个或者多个技术方案，本技术具有以下有益效果或者优点：本技术公开了一种工件装夹夹具，包括位于溅镀室的腔室底部的底座、底座上的固定轴、处于相邻两个固定轴之间的工件装夹板、工件装夹板上设置 的工件装夹孔、位于所述底座和所述溅镀室的腔室底部之间的传动轴；由于每个工件装夹板上的工件装夹孔可同时装夹至少两种不同类型的工件，因此能够同时溅镀不同类型的工件，提高溅镀的效率。附图说明图1为本技术实施例中工件装夹夹具的正视图；图2为本技术实施例中工件装夹夹具的俯视图；图3为本技术实施例中底座的结构示意图；图4为本技术实施例中工件装夹板的结构示意图。附图标记说明：溅镀室1、靶材2、底座3、固定轴4、顶盖5、工件装夹板6、工件装夹孔7、传动轴8、第一固定孔9。具体实施方式为了使本申请所属
中的技术人员更清楚地理解本申请，下面结合附图，通过具体实施例对本申请技术方案作详细描述。在本技术实施例中，公开了一种工件装夹夹具，主要用来装夹工件，例如待镀膜基片。当然，工件也可为异形工件，异形工件就是指形状不规则的工件，例如半球形的待镀膜基片。下面请参看图1-图2，是本技术的工件装夹夹具的结构示意图。在溅镀室1的侧壁上设置有靶材2，而工件装夹夹具位于溅镀室1的腔体中心，并且工件装夹夹具和侧壁上的每个靶材2的距离一致，如此设计可保证溅镀的均匀性和溅镀质量。在本技术的实施例中，工件装夹夹具包括：底座3、顶盖5、处于顶盖5和底座3之间的固定轴4、处于相邻两个固定轴4之间的工件装夹板6、工件装夹板6上设置的工件装夹孔7。下面具体介绍各个部件。底座3，位于溅镀室1的腔室底部。底座3的形状可以是圆形，参看图3，而尺寸大小可根据需要定制，选择不同尺寸的底座3就可以实现靶基距(靶材2到待镀膜基片(即：工件)的距离)的调整，从而提高镀膜效率和镀膜质量。另外，和底座3对应的是顶盖5，即：底座3的尺寸形状和顶盖5的尺寸形状一致。若顶盖5为圆形顶盖，那么所述底座3为圆形底座。在底座3上设置了N个第一固定孔9；每个第一固定孔9和所述底座3的中心的距离相等。每个第一固定孔9可以稳固安装一根固定轴4。由于固定一个工件装夹板6需要两个固定轴4，因此第一固定孔9的数量最少为2个，最大数目不限制。即：N≥2且为正整数。若固定轴4的数量为至少3根，则对应的第一固定孔9可沿底座3呈圆周分布。如图1所示，固定轴4在底座3形成的是八边形。若固定轴4的数量越多，则对应的第一固定孔9排布越接近圆形。在顶盖5上设置了N个第二固定孔，每个第二固定孔和各自对应的第一固定孔9配合，将各自的固定轴4固定在所述顶盖5和所述底座3之间。因此，第二固定孔的数目和第一固定孔9的数目一致。另外，底座3可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件装夹夹具，其特征在于，包括：底座，位于溅镀室的腔室底部，所述溅镀室的侧壁设置靶材；所述底座上设置了N个第一固定孔；每个第一固定孔和所述底座的中心的距离相等；N≥2且为正整数；N个固定轴，和所述N个第一固定孔对应，每个固定轴通过各自的第一固定孔连接所述底座；M个工件装夹板，位于相邻两个固定轴之间，每个工件装夹板上设置有P个工件装夹孔，所述P个工件装夹孔安装至少两种不同类型的工件；其中，M为正整数，P≥2且为正整数；传动轴，位于所述底座和所述溅镀室的腔室底部之间；所述传动轴固定连接所述底座，所述传动轴由驱动电机驱动运转，进而带动所述底座旋转。

【技术特征摘要】
1.一种工件装夹夹具，其特征在于，包括：底座，位于溅镀室的腔室底部，所述溅镀室的侧壁设置靶材；所述底座上设置了N个第一固定孔；每个第一固定孔和所述底座的中心的距离相等；N≥2且为正整数；N个固定轴，和所述N个第一固定孔对应，每个固定轴通过各自的第一固定孔连接所述底座；M个工件装夹板，位于相邻两个固定轴之间，每个工件装夹板上设置有P个工件装夹孔，所述P个工件装夹孔安装至少两种不同类型的工件；其中，M为正整数，P≥2且为正整数；传动轴，位于所述底座和所述溅镀室的腔室底部之间；所述传动轴固定连接所述底座，所述传动轴由驱动电机驱动运转，进而带动所述底座旋转。2.如权利要求1所述的一种工件装夹夹具，其特征在于，所述工件装夹夹具还包括：顶盖，和所述底座对应；所述顶盖上设置了N个第二固定孔，每个第二固定孔和各自对应的第一固定孔配合，将各自的固定轴固定在所述顶盖和所述底座之间。3.如权利要求2所述的一种工件装夹夹具，其特征在于，所述第一固定孔和所述第二固定孔都为螺纹孔；每个固定轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐子明，傅绍英，向勇，胡杨，
申请(专利权)人：成都西沃克真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51