升降装置及薄膜晶体管阵列检测设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种升降装置及薄膜晶体管阵列检测设备，属于机械领域。所述升降装置包括：升降台、驱动组件、检测组件和调节组件，驱动组件与升降台相连接，驱动组件用于驱动升降台沿重力方向上下运动；检测组件用于检测升降台的承载面的状态参数，并将状态参数发送至调节组件；调节组件用于根据状态参数确定承载面是否平行于水平面，在承载面不平行于水平面时，对升降台进行调节，使得承载面平行于水平面。本发明专利技术解决了位于升降台上的阵列基板容易从升降台上坠落，导致阵列基板受到损伤的问题，实现了防止该承载面上的阵列基板从升降台上坠落，进而防止阵列基板受到损伤的效果，本发明专利技术用于阵列基板的检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械领域，特别涉及一种升降装置及薄膜晶体管阵列检测设备。
技术介绍
在完成阵列基板的制造后，通常需要使用薄膜晶体管阵列检测设备(英文:ThinFilmTransistorArray Test；简称:TFTArray Test)对阵列基板上的薄膜晶体管的特性进行检测，判断制造出来的阵列基板是否符合要求。示例的，薄膜晶体管阵列检测设备包括相互连通的缓冲腔(英文：Load Lock)和真空腔，真空腔设置在高于缓冲腔的位置，缓冲腔内设置有升降装置(英文：Elevator)，真空腔内设置有传送手臂和检测台。相关技术中，升降装置可以包括升降台、发动机和连接杆，升降台与发动机相连接，且升降台的承载面平行于水平面，发动机能够驱动升降台沿重力方向上下运动。在制造完阵列基板后，可以将阵列基板置于升降台的承载面上，并控制发动机驱动升降台沿重力方向的反方向运动，直至与真空腔内的检测台平齐，然后，控制真空腔内的传送手臂将该升降台上的阵列基板夹持至检测台上，对阵列基板中的薄膜晶体管进行检测。若在使用升降装置过程中升降台产生倾斜，使得承载面不平行于水平面，此时位于升降台上的阵列基板容易从升降台上坠落，导致阵列基板受到损伤。
技术实现思路
为了解决位于升降台上的阵列基板容易从升降台上坠落，导致阵列基板受到损伤的问题，本专利技术提供了一种升降装置及薄膜晶体管阵列检测设备。所述技术方案如下:第一方面，提供了一种升降装置，所述升降装置包括:升降台、驱动组件、检测组件和调节组件，所述驱动组件与所述升降台相连接，所述驱动组件用于驱动所述升降台沿重力方向上下运动；所述检测组件用于检测所述升降台的承载面的状态参数，并将所述状态参数发送至所述调节组件；所述调节组件用于根据所述状态参数确定所述承载面是否平行于水平面，在所述承载面不平行于水平面时，对所述升降台进行调节，使得所述承载面平行于水平面。可选的，所述检测组件包括：水平传感器，所述升降台的底面平行于所述承载面，所述水平传感器设置在所述升降台的底面上，所述水平传感器用于检测所述升降台的底面与水平面的夹角，所述状态参数包括：所述夹角；所述调节组件还用于：在所述夹角为零时，确定所述承载面平行于水平面，在所述夹角不为零时，确定所述承载面不平行于水平面。可选的，所述检测组件包括：n个距离传感器，所述n为大于或等于2的整数，所述升降台的底面平行于所述承载面，所述n个距离传感器均设置在所述升降台的底面上，所述n个距离传感器中的每个距离传感器用于：检测所述距离传感器在所述升降台的底面上的位置与预设平面的距离，所述状态参数包括：n个距离传感器检测到的n个距离值，所述预设平面平行于水平面；所述调节组件还用于：在所述n个距离值均等于预设距离值时，确定所述承载面与水平面平行，在所述n个距离值中存在至少一个距离值不等于所述预设距离值时，确定所述承载面与水平面不平行。可选的，所述升降台的底面呈矩形，所述检测组件包括：4个距离传感器，所述4个距离传感器分别位于所述矩形的4个顶角处。可选的，所述调节组件包括：控制器、调节件和支撑件，所述控制器与所述调节件相连接，所述支撑件的一端用于支撑所述升降台，另一端与所述调节件相接触；所述控制器用于：根据所述状态参数确定所述承载面是否平行于水平面，在所述承载面不平行于水平面时，通过控制所述调节件，使得所述支撑件的一端在同一水平面内滑动，对所述升降台进行调节。可选的，所述调节件包括：第一传动件和第二传动件，所述控制器还用于：通过控制所述第一传动件，使得所述支撑件向第一方向滑动，通过控制所述第二传动件，使得所述支撑件向第二方向滑动，所述第一方向垂直于所述第二方向。可选的，所述升降台的底面上设置有导轨组件，所述导轨组件包括设置在所述升降台的底面上的基座，所述基座远离所述升降台的底面的一侧设置有导轨，所述支撑件的一端能够在所述导轨上滑动。可选的，所述导轨呈锯齿状。第二方面，提供了一种薄膜晶体管阵列检测设备，所述薄膜晶体管阵列检测设备包括第一方面所述的升降装置。综上所述，本专利技术提供了一种升降装置及薄膜晶体管阵列检测设备，该升降装置包括检测组件和调节组件，且检测组件能够将检测到的升降台的承载面的状态参数发送至调节组件，使得调节组件能够根据该状态参数确定承载面是否平行于水平面，若该承载面不平行于水平面，则可以确定该升降台发生了倾斜，此时调节组件可以对该升降台进行调节，使得该升降台的承载面平行于水平面，防止该承载面上的阵列基板从升降台上坠落，进而防止了阵列基板受到损伤。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种升降装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的另一种升降装置的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的一种升降台的仰视图；图4为本专利技术实施例提供的一种升降装置的局部结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种导轨组件的结构示意图。通行上述附图，已示出本专利技术明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通行任何方式限制本专利技术构思的范围，而是通行参考特定实施例为本领域技术人员说明本专利技术的概念。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施方式作进一步地详细描述。如图1所示，本专利技术实施例提供了一种升降装置0，该升降装置0可以包括：升降台01、驱动组件02、检测组件03和调节组件04。驱动组件02与升降台01相连接，驱动组件02用于驱动升降台01沿重力方向上下运动；检测组件03用于检测升降台01的承载面A的状态参数，并将状态参数发送至调节组件04；调节组件04用于根据状态参数确定承载面A是否平行于水平面X，在承载面A不平行于水平面X时，对升降台01进行调节，使得承载面A平行于水平面X。综上所述，由于本专利技术实施例提供的升降装置包括检测组件和调节组件，且检测组件能够将检测到的升降台的承载面的状态参数发送至调节组件，使得调节组件能够根据该状态参数确定承载面是否平行于水平面，若该承载面不平行于水平面，则可以确定该升降台发生了倾斜，此时调节组件可以对该升降台进行调节，使得该升降台的承载面平行于水平面，防止该承载面上的阵列基板从升降台上坠落，进而防止了阵列基板受到损伤。示例的，图1中的检测组件03可以包括：水平传感器(图1中未示出)，升降台01的底面B可以平行于承载面A，水平传感器可以设置在底面B上(如使用胶粘贴在底面B上)，水平传感器可以用于检测底面B与水平面X的夹角，所以，该检测组件检测到的状态参数可以包括：水平传感器检测到的底面B与水平面X的夹角；该调节组件04还可以用于；在底面B与水平面X的夹角为零度时，确定承载面A平行于水平面X，在底面B与水平面X的夹角不为零时，确定承载面A不平行于水平面X。由于升降台01的底面B平行于承载面A，且水平传感器能够检测底面B与水平面X的夹角，因此，可以认为水平传感器检测到的底面B与水平面X的夹角等于承载面A本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种升降装置，其特征在于，所述升降装置包括：升降台、驱动组件、检测组件和调节组件，所述驱动组件与所述升降台相连接，所述驱动组件用于驱动所述升降台沿重力方向上下运动；所述检测组件用于检测所述升降台的承载面的状态参数，并将所述状态参数发送至所述调节组件；所述调节组件用于根据所述状态参数确定所述承载面是否平行于水平面，在所述承载面不平行于水平面时，对所述升降台进行调节，使得所述承载面平行于水平面。

【技术特征摘要】
1.一种升降装置，其特征在于，所述升降装置包括：升降台、驱动组件、检测组件和调节组件，所述驱动组件与所述升降台相连接，所述驱动组件用于驱动所述升降台沿重力方向上下运动；所述检测组件用于检测所述升降台的承载面的状态参数，并将所述状态参数发送至所述调节组件；所述调节组件用于根据所述状态参数确定所述承载面是否平行于水平面，在所述承载面不平行于水平面时，对所述升降台进行调节，使得所述承载面平行于水平面。2.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述检测组件包括：水平传感器，所述升降台的底面平行于所述承载面，所述水平传感器设置在所述升降台的底面上，所述水平传感器用于检测所述升降台的底面与水平面的夹角，所述状态参数包括：所述夹角；所述调节组件还用于：在所述夹角为零时，确定所述承载面平行于水平面，在所述夹角不为零时，确定所述承载面不平行于水平面。3.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述检测组件包括：n个距离传感器，所述n为大于或等于2的整数，所述升降台的底面平行于所述承载面，所述n个距离传感器均设置在所述升降台的底面上，所述n个距离传感器中的每个距离传感器用于：检测所述距离传感器在所述升降台的底面上的位置与预设平面的距离，所述状态参数包括：n个距离传感器检测到的n个距离值，所述预设平面平行于水平面；所述调节组件还用于：在所述n个距离值均等于预设距离值时，确定所述承载面与水平面平行，在所述n个距离值...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞健阳，魏振，郭世波，徐敏，陈庆友，程磊，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11