加热干燥装置制造方法及图纸

提供加热干燥装置，对于搬送路径上的基板，也能够以抑制形成在基板上的涂布膜产生干燥不匀的方式进行干燥。该加热干燥装置在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬送路径上对基板进行加热干燥，其具有：加热器部，其对基板上的涂布膜进行加热；腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态；以及排气部，其对腔室部内进行排气，在腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动板上的基板接近而与基板整个面相对，排气部构成为一边通过从排气口对腔室部内进行排气而将腔室部内形成为减压状态，一边通过使加热器部进行加热而使基板上的涂布膜干燥。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及加热干燥装置，对于一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送路径上的基板，使形成在基板上的涂布膜干燥。
技术介绍
在液晶显示器或等离子显示器等平板面板显示器中，使用在基板上涂布有抗蚀液的基板(称为涂布基板)。该涂布基板是在借助涂布装置将抗蚀液均匀地涂布在基板上而形成涂布膜之后借助基板搬送装置而被搬送、并借助干燥装置将涂布膜干燥而生产的。通常，干燥装置与基板搬送装置分体地设置，通过利用机械手等将基板搬入干燥装置并保持规定的时间而将基板上的涂布膜干燥。该干燥装置通常使用减压干燥装置，使腔室内呈真空状态而使基板上的涂布膜干燥，由此能够以抑制在涂布膜上产生干燥不匀的方式进行干燥。近年来，为了提高生产节拍，研究在基板搬送路径上使涂布膜干燥的方案。具体而言，开发出如专利文献1所示、在利用超声波振动使基板上浮的基板搬送装置上使涂布膜干燥的装置(参照专利文献1)。这里，图15、图16是利用超声波振动使基板上浮的基板搬送装置的图，图15是从上侧观察的图，图16是从侧面侧观察的图。该基板搬送装置具有进行超声波振动的振动板100以及对基板W进行引导的基板引导件101，构成为把持着已超声波上浮的状态下的基板W的基板引导件101沿着振动板100行驶由此搬送基板W。即，通过使基板引导件101沿着轨道102行驶(通过使基板引导件101从实线移动到双点划线)，而在保持基板W上浮的状态下将其搬送到相邻的下一振动板100。并且，在基板搬送装置中设置有加热干燥装置，该加热干燥装置在一部分的振动板100的背面侧具有加热器部103，通过利用该加热器部103加热振动板100而使基板W上的涂布膜干燥。具体而言，借助加热干燥装置，当使基板W停止在设置有加热器部103的振动板100上时，通过使基板W的停止状态维持干燥所需要的规定的时间而使基板W上的涂布膜干燥。专利文献1：日本特开2014-022538号公报但是，在上述的加热干燥装置中，存在基板W上的涂布膜产生干燥不匀的情况这样的问题。即，在上述的加热干燥装置中，由于对停止在振动板100上的基板W进行加热干燥，因此有时因涂布膜附近的空气的微小的流动变化导致在涂布膜上产生沿着气流的流动的不匀(气流不匀)。并且，存在如下的问题：因涂布膜整体和与其接触的空气之间的关系导致涂布膜整体的干燥状态不均匀，当在该状态下进行干燥时，有时会在涂布膜上残留干燥不匀(明暗不匀)。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种加热干燥装置，对于搬送路径上的基板，也能够以抑制形成在基板上的涂布膜产生干燥不匀的方式进行干燥。为了解决上述课题，本专利技术的加热干燥装置在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬送路径上对基板进行加热干燥，其特征在于，该加热干燥装置具有：加热器部，其对形成在所搬送的基板上的涂布膜进行加热；腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态；以及排气部，其对所述腔室部内进行排气，在所述腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动板上的基板接近而与基板整个面相对，所述排气部在所述腔室盖部中的与所述顶板的中心位置相对的位置上具有排气口，一边通过从所述排气口对所述腔室部内进行排气而将所述腔室部内形成为减压状态，一边通过使所述加热器部进行加热而使基板上的涂布膜干燥。根据上述加热干燥装，通过使腔室盖部与振动板抵接而形成腔室部，当该腔室部内通过排气部而被排气时，腔室部内形成为比大气压稍小的减压状态，由此涂布膜附近被平稳地吸引。并且，由于设置于腔室盖部的顶板被设置为与基板整个面相对，因此顶板与基板上的涂布膜的距离在涂布膜整体上均匀，涂布膜附近的空气的流动实现均匀化。因此，形成在基板上的涂布膜被加热器部加热而产生溶剂，另一方面所产生的溶剂被平稳均匀地吸引并且进行干燥，由此能够抑制在涂布膜上产生气流不匀和明暗不匀。并且，也可以构成为在所述顶板中设置有对顶板进行加热的顶板加热器部。根据该结构，由于通过顶板加热器部加热顶板，因此能够使基板的正面背面成为
大致相同的温度。即，在顶板的温度较低的情况下，会产生如下的问题：所蒸发的溶剂的结露及溶剂附着于顶板且结露下落到涂布膜而导致涂布膜成为不良品的问题、或者因溶剂附着于顶板而导致排气部的溶剂的流动变得不均匀而产生气流不匀和明暗不匀的问题，通过设置顶板加热器部而能够避免这些问题。并且，优选采用如下的结构：该加热干燥装置具有定位销，该定位销与对在所述振动板上被搬送的基板进行支承的基板引导件不同，在所述腔室部内对基板进行定位而进行支承。根据该结构，由于能够在使基板定位于腔室部内的状态下进行加热干燥，因此能够抑制因在加热干燥中移动基板而导致的气流不匀的影响。并且，能够消除因在加热干燥中基板移动而导致的在腔室上升后基板向基板引导件的交接误差。并且，也可以构成为在所述腔室盖部中设置有位置限制销，其对加热干燥中的基板的位置进行限制。根据该结构，由于对基板的位置进行限制的位置限制销设置于腔室盖部，因此与在振动板中设置位置限制销的结构相比能够均匀地保持腔室部内的温度，能够抑制干燥不匀的产生。即，在振动板中设置有位置限制销的结构中，由于需要在振动板中设置供位置限制销插通的贯通孔，因此设置有该贯通孔的部分与其他的部分相比有可能因温度环境不同而产生温度不匀，但通过在腔室盖部中设置位置限制销而能够抑制该温度不匀的产生。根据本专利技术的加热干燥装置，对于搬送路径上的基板，也能够以抑制形成在基板上的涂布膜产生干燥不匀的方式进行干燥。附图说明图1是示出具有本专利技术的一实施方式的加热干燥装置的基板搬送装置的俯视图。图2是将具有上述加热干燥装置的基板搬送装置的1单元放大的俯视图。图3是具有上述加热干燥装置的基板搬送装置的1单元的侧视图。图4是具有上述加热干燥装置的基板搬送装置的1单元的主视图。图5是示出通过上述基板引导件将基板搬送到相邻的载台部的状态的俯视图。图6是示出上述基板引导件退让且定位销呈突出状态的状态的俯视图。图7是示出上述基板引导件复位到原来的位置的状态的俯视图。图8是上述基板引导件的俯视图。图9是图8的A-A剖视图。图10是上浮单元的放大剖视图。图11是示出气垫部55的图，(a)是从底面侧观察气垫部55的图，(b)是从侧面侧观察的剖视图。图12是示出本专利技术的加热干燥装置的图，(a)是示出腔室盖部处于上方位置的状态的图，(b)是示出腔室盖部与振动板抵接的状态的图。图13是示出另一实施方式的加热干燥装置的图，(a)是示出腔室盖部处于上方位置的状态的图，(b)是示出腔室盖部下降且通过位置限制销对基板进行位置限制的状态的图。图14是示出在上述其他的实施方式中腔室盖部与振动板抵接的状态的图。图15是具有以往的加热干燥装置的基板搬送装置的俯视图。图16是具有以往的加热干燥装置的基板搬送装置的侧视图。标号说明1：基板搬送装置；2：基板；12：振动板；14：定位销；15：加热器部；16：载台部；16C：带有加热干燥装置的载台部；30：基板引导件；91：腔室盖部；92：排气部；93：腔室部；95：顶板；96：位置限制销。具体实施方式使用附图对本专利技术的加热干燥装置的实施方式进行说明。图1是示出具有加热干燥装置的基板搬送装置的俯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热干燥装置，其在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬送路径上对基板进行加热干燥，其特征在于，该加热干燥装置具有：加热器部，其对形成在所搬送的基板上的涂布膜进行加热；腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态；以及排气部，其对所述腔室部内进行排气，在所述腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动板上的基板接近而与基板整个面相对，所述排气部在所述腔室盖部中的与所述顶板的中心位置相对的位置上具有排气口，一边通过从所述排气口对所述腔室部内进行排气而将所述腔室部内形成为减压状态，一边通过使所述加热器部进行加热而使基板上的涂布膜干燥。

【技术特征摘要】
2015.03.25 JP 2015-0619151.一种加热干燥装置，其在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬送路径上对基板进行加热干燥，其特征在于，该加热干燥装置具有：加热器部，其对形成在所搬送的基板上的涂布膜进行加热；腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态；以及排气部，其对所述腔室部内进行排气，在所述腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动板上的基板接近而与基板整个面相对，所述排气部在所述腔室盖部中的与所述顶板的中心位置相对的位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：滨川健史，奥田大辅，冈本贯志，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP