阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺,在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；薄膜连续溅射沉淀过程精确高效节能，不同膜系匹配和薄膜厚度相互组合，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积，制得玻璃膜层体系完善耐磨牢固整体厚度有限，耐候性、膜层致密性和稳定性好，可见光透过率高，可见光的视觉舒适度显著提高，工艺简单，节能环保，适于大型平板玻璃镀膜生产。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及C03C玻璃与玻璃或与其他材料的接合技术，属于车、船等各种交通工具的节能窗用领域，尤其是阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺。
技术介绍
目前，每年新增建筑约20亿平方米，只有5％达到节能建筑要求，其中大部分仍为高能耗建筑。在建筑能耗之中，采暖和空调能耗占比最大，约占60％～70％，采暖和空调能耗主要通过建筑外围结构与室外环境的热交换消耗。我国北方寒冷地区冬季采暖需用大量煤炭，夏季炎热的南方地区及夏季全国的空调制冷需用大量电能。而据统计，窗户能耗量占建筑外围结构能耗的50％，而在传热损耗中,窗框占15％，玻璃占约85％。由此可见，玻璃节能性能的高低，直接影响建筑能耗。传统的Low-E玻璃为了达到其主要的节能低辐射的功能，在薄膜结构上不得不需要沉积贵重金属银及其他种类的金属的薄膜，相应的增加了整个节能膜系的生产成本，同时，贵重金属银及其他种类的金属的薄膜在紫外线及空气中的酸气和水气等的作用下，极易发生氧化或硫化现象，从而其原有的低辐射节能受到抑制甚至丧失，长期使用效率显著降低。贵重金属银及其他种类的金属的薄膜在可见光谱区域内存在一定的反射率和吸收率，而过厚的贵重金属银及其他种类的金属的薄膜会造成可见光光谱区域内的频谱特性发生变化，降低可见光的视觉舒适度，会形成由于贵重金属银及其他种类的金属的薄膜在可见光谱区域内的色差，导致城市中的光污染。另一方面，传统的Low-E玻璃包含贵重金属银及其他种类的金属的薄膜，由于对太阳光不具有进行选择性的过滤透过的功能，而无法满足不同的地区纬度和气候条件下适应室内温度人体舒适度的要求，这样只能主要用于高纬度的寒冷地区，且只是在冬季，其低辐射的性能才能得到发挥；在炎热的夏季全国及南方地区，其不能对阳光进行可选择性的透过，并且由于较低的透过率的原因，不仅不能降低能耗，使得建筑室内和交通工具内的热量过多的聚集，反而更加加大了空调制冷需用的大量电能，同时，Low-E玻璃过厚的金属膜层在可见光光谱范围内的整体透过性不高，增加了可见光的反射，容易造成光污染，且室外反射颜色不满足建筑设计外观的设计要求。中国专利申请201510627043.7公开了一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，在玻璃的表面依次沉积阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透
过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系。即使少量上述改进技术方案也仍未能根本的，至少是较好的解决前述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺，实现整个膜系的常温气相沉积，制得玻璃膜层体系完善耐磨牢固整体厚度有限，可见光透过率高，耐候性、舒适度和稳定性良好。本专利技术的目的将通过以下技术措施来实现：在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和沉积厚度要求，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置相应的靶材，进行工业化连续生产；在薄膜正常生产溅射过程中，可调节玻璃的传送速度为5～10m/min；每对阴极上所施加的功率为40～75kw，施加在靶材上的电流在100～150A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～15％。尤其是，每一种不同的功能膜系都由不同的光学介质材料根据总体的功能要求匹配组合而成。尤其是，表面覆盖膜系是由高硬度的各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；色彩调制膜系是由各种氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；红外透过选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；可见光透过减反膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；功能连接转换膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；紫外阳光选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物或二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；可见光透过扩展膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄
膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成。尤其是，在沉积可见光透过扩展膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流可以在100～120A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～8％。在沉积紫外阳光选择滤过膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～110A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～10％。在沉积功能连接转换膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～75kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在110～150A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～15％。在沉积可见光透过减反膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～110A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～10％。在沉积红外透过选择滤过膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～60kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在110～120A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～12％。在沉积色彩调制膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～110A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～8％。在沉积表面覆盖膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～75kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在110～150A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～15％之间变化。本专利技术的优点和效果：薄膜连续溅射沉淀过程精确高效节能，不同膜系匹配和薄膜
厚度相互组合，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积，制得本文档来自技高网...
【技术保护点】
阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺,其特征在于，在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和沉积厚度要求，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置相应的靶材，进行工业化连续生产；在薄膜正常生产溅射过程中，可调节玻璃的传送速度为5～10m/min；每对阴极上所施加的功率为40～75kw，施加在靶材上的电流在100～150A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～15％。
【技术特征摘要】
1.阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺,其特征在于，在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和沉积厚度要求，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置相应的靶材，进行工业化连续生产；在薄膜正常生产溅射过程中，可调节玻璃的传送速度为5～10m/min；每对阴极上所施加的功率为40～75kw，施加在靶材上的电流在100～150A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～15％。2.如权利要求1所述的阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺，其特征在于，每一种不同的功能膜系都由不同的光学介质材料根据总体的功能要求匹配组合而成。3.如权利要求1所述的阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺，其特征在于，表面覆盖膜系是由高硬度的各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；色彩调制膜系是由各种氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；红外透过选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；可见光透过减反膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；功能连接转换膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；紫外阳光选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物或二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；可见光透过扩展膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成。4.如权利要求1所述的阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺，其特征在于，在沉积可见光透过扩展膜系时，每对阴极上所施加的功率为40...
【专利技术属性】
技术研发人员：庄志杰，周钧，
申请(专利权)人：赛柏利安工业技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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