【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉装置
,特别是一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置。
技术介绍
冶金行业单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料,单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料;单晶炉在硅单晶拉制完成后,使用二次加料装置可向石英坩埚内再次投入颗粒状硅料,实现石英坩埚的再利用,降低第二根硅棒的拉制时间;一般的单晶炉二次加料装置,都是采用紧固的方式来实现的,晶棒拉制过程中装料少、坩埚利用率低,其结构不灵活,没有调节功能,容易造成投料时拉杆卡住等现象。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是通过圆台型挡板和旋转升降机构使物料更加分散的掉落进坩埚内,提高了坩埚内部空间的利用率;提供一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置。为解决上述的技术问题,本技术的结构包括单晶炉炉体、端盖、漏斗、坩埚、拉杆、挡板和旋转升降机构,所述的漏斗和坩埚位于单晶炉炉体内,所述的端盖连接在单晶炉炉体的上方,所述的拉杆竖直穿过漏斗,所述拉杆的下端与挡板相连,所述拉杆的上端与旋转升降机构相连,所述的漏斗通过法兰固
定连接在单晶炉炉体内,所述的坩埚通过电动杠固定连接在单晶炉炉体内的底部。进一步:所述的旋转升降机构包括电机、气缸和联轴器,所述的电机通过联轴器与拉杆相连,所述的气缸连接在电机的上方。又进一步:所述的挡板为圆台型挡板,所述圆台型挡板上端的尺寸与漏斗出料口的尺寸相匹配。采用上述结构后,本技术通过圆台型挡板和旋转升降机构使物 ...
【技术保护点】
一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,其特征在于:包括单晶炉炉体(1)、端盖(2)、漏斗(3)、坩埚(5)、拉杆(6)、挡板(7)和旋转升降机构,所述的漏斗(3)和坩埚(5)位于单晶炉炉体(1)内,所述的端盖(2)连接在单晶炉炉体(1)的上方,所述的拉杆(6)竖直穿过漏斗(3),所述拉杆(6)的下端与挡板(7)相连,所述拉杆(6)的上端与旋转升降机构相连,所述的漏斗(3)通过法兰(4)固定连接在单晶炉炉体(1)内,所述的坩埚(5)通过电动杠(8)固定连接在单晶炉炉体(1)内的底部。
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,其特征在于:包括单晶炉炉体(1)、端盖(2)、漏斗(3)、坩埚(5)、拉杆(6)、挡板(7)和旋转升降机构,所述的漏斗(3)和坩埚(5)位于单晶炉炉体(1)内,所述的端盖(2)连接在单晶炉炉体(1)的上方,所述的拉杆(6)竖直穿过漏斗(3),所述拉杆(6)的下端与挡板(7)相连,所述拉杆(6)的上端与旋转升降机构相连,所述的漏斗(3)通过法兰(4)固定连接在单晶炉炉体(1)内,所述的坩埚(5)通...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘清跃,王平,
申请(专利权)人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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