一种用于碳化硅单晶取锭的水平式外圆锯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于碳化硅单晶取锭的水平式外圆锯装置,包括:操作平台,操作平台的上表面水平,带有待取碳化硅单晶锭的石墨托自由放置在操作平台的上表面,操作平台上方设置有水平切割的电圆锯,电圆锯的驱动轴穿过操作平台与动力装置连接,操作平台高度可调地固定在驱动轴外的轴套上。本实用新型专利技术利用机械传动的方式对碳化硅晶锭进行切割，保证了晶锭处于水平面上，避免了人工竖立晶锭时不能保证垂直而使晶锭受力不均裂开的风险；由于生长出的单晶锭应力较大，使用固定装置容易使晶锭裂开，故操作平台上不设置固定晶锭装置。

【技术实现步骤摘要】
201620103700

【技术保护点】
一种用于碳化硅单晶取锭的水平式外圆锯装置,其特征在于，包括:操作平台,所述操作平台的上表面水平,带有待取碳化硅单晶锭的石墨托自由放置在操作平台的上表面,操作平台上方设置有水平切割的电圆锯,所述电圆锯的驱动轴穿过操作平台与动力装置连接,操作平台高度可调地固定在所述驱动轴外的轴套上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：靳丽婕，韩金波，张云伟，李龙远，马晓亮，张雪，
申请(专利权)人：北京华进创威电子有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11