一种扩散插片装置制造方法及图纸

技术编号:13555149 阅读:35 留言:0更新日期:2016-08-18 23:02
本实用新型专利技术公开了一种扩散插片装置,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。本实用新型专利技术比现有技术提高了5倍的时间,大大提高了生产效率,节约了人力,节约了成本。

【技术实现步骤摘要】
201521119572

【技术保护点】
一种扩散插片装置,其特征在于,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋建宝李科伟
申请(专利权)人:无锡赛晶太阳能有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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