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一种扩散插片装置制造方法及图纸
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文档序号:13555149
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本实用新型公开了一种扩散插片装置,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。本实用新型比...
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