晶圆搬运装置及使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了晶圆搬运装置及使用方法，该装置包括基板，水平设置在基板上的横轴，竖直设置在横轴上的纵轴，以及设置在纵轴上的气爪和设置在气爪上的拾取臂；所述横轴为设置在基板上的清洗横轴、刷洗横轴及甩干横轴；所述纵轴为设置在清洗横轴上的沿清洗横轴水平移动的清洗纵轴、设置在刷洗横轴上的沿刷洗横轴水平移动的刷洗纵轴以及设置在甩干横轴上的沿甩干横轴水平移动的甩干纵轴；所述气爪设置在纵轴上并且沿纵轴竖向移动。本发明专利技术提供的晶圆搬运装置应用于晶圆清洗工位之间的转移，其结构紧凑，工艺布局灵活，晶圆清洗设备占地面积少，搬运效率高，有效避免搬运过程中的交叉污染问题，保证晶圆的清洗效果。

【技术实现步骤摘要】
201610287822

【技术保护点】
一种晶圆搬运装置，其特征在于：包括基板（1），水平设置在基板（1）上的横轴，竖直设置在横轴上的纵轴，以及设置在纵轴上的气爪（5）和设置在气爪（5）上的拾取臂（6）；所述横轴为设置在基板（1）上的清洗横轴（2）、刷洗横轴（14）及甩干横轴（15）；所述纵轴为设置在清洗横轴（2）上的沿清洗横轴（2）水平移动的清洗纵轴（3）、设置在刷洗横轴（14）上的沿刷洗横轴（14）水平移动的刷洗纵轴（16）以及设置在甩干横轴（15）上的沿甩干横轴（15）水平移动的甩干纵轴（17）；所述气爪（5）设置在纵轴上并且沿纵轴竖向移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：费玖海，张志军，刘丹，史霄，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11