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本发明公开了晶圆搬运装置及使用方法，该装置包括基板，水平设置在基板上的横轴，竖直设置在横轴上的纵轴，以及设置在纵轴上的气爪和设置在气爪上的拾取臂；所述横轴为设置在基板上的清洗横轴、刷洗横轴及甩干横轴；所述纵轴为设置在清洗横轴上的沿清洗横轴水...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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