【技术实现步骤摘要】
201610073025
【技术保护点】
一种半导体器件的制造方法,包括以下步骤:(a)在衬底上方形成第一氮化物半导体层;(b)在所述第一氮化物半导体层上方形成第二氮化物半导体层,所述第二氮化物半导体层的电子亲和能小于所述第一氮化物半导体层的电子亲和能;(c)在所述第二氮化物半导体层上方形成绝缘膜;(d)通过蚀刻所述绝缘膜、所述第二氮化物半导体层和所述第一氮化物半导体层,形成贯穿所述绝缘膜和所述第二氮化物半导体层并且到达所述第一氮化物半导体层的内部的沟槽;(e)通过使用外延生长法,在所述沟槽的侧表面和底表面上方形成第三氮化物半导体层;(f)在所述第三氮化物半导体层上方形成栅绝缘膜;以及(g)在所述栅绝缘膜上方形成栅电极。
【技术特征摘要】
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