辐射探测器和闪烁体板、以及其制造方法技术

根据实施例，辐射探测器包含光电转换衬底和闪烁体层。该光电转换衬底将光转换为电信号。该闪烁体层接触该光电转换衬底并且将从外部入射的辐射转换为光。该闪烁体层是含有Tl作为活化剂的CsI的荧光剂。该CsI是卤化物。该活化剂在该荧光剂内的浓度是1.6质量％±0.4质量％。该活化剂在该荧光剂内的浓度在该闪烁体层的面内方向上具有中央部分>周边部分的关系。该中央部分是该闪烁体层的形成区域的中央区域。该周边部分是该闪烁体层的该形成区域的外周区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480062676

【技术保护点】
一种辐射探测器，包含：光电转换衬底，该光电转换衬底将光转换为电信号；以及闪烁体层，该闪烁体层接触该光电转换衬底并且将从外部入射的辐射转换为光，该闪烁体层是含有Tl作为活化剂的CsI的荧光剂，该CsI是卤化物，该活化剂在该荧光剂内的浓度是1.6质量％±0.4质量％，该活化剂在该荧光剂内的浓度在该闪烁体层的面内方向上具有中央部分>周边部分的关系，其中中央部分是该闪烁体层的形成区域的中央区域，并且周边部分是该闪烁体层的该形成区域的外周区域。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.15 JP 2013-236666;2013.11.15 JP 2013-236661.一种辐射探测器，包含：光电转换衬底，该光电转换衬底将光转换为电信号；以及闪烁体层，该闪烁体层接触该光电转换衬底并且将从外部入射的辐射转换为光，该闪烁体层是含有Tl作为活化剂的CsI的荧光剂，该CsI是卤化物，该活化剂在该荧光剂内的浓度是1.6质量％±0.4质量％，该活化剂在该荧光剂内的浓度在该闪烁体层的面内方向上具有中央部分>周边部分的关系，其中中央部分是该闪烁体层的形成区域的中央区域，并且周边部分是该闪烁体层的该形成区域的外周区域。2.根据权利要求1所述的探测器，其特征在于，该闪烁体层的中央部分占该闪烁体层的形成区域的50％或更多。3.根据权利要求1所述的探测器，其中在该闪烁体层的中央部分和周边部分的各个区域内部的该闪烁体层中，该活化剂的浓度分布是在该荧光剂内在该闪烁体层的膜厚度方向和面内方向上±15％或更小，并且在具有200nm或更小的单位膜厚度的区域中该活化剂的浓度分布是在该荧光剂内在该闪烁体层的膜厚度方向和面内方向上±15％或更小。4.根据权利要求1所述的探测器，其特征在于，该闪烁体层具有柱状晶体结构。5.一种用于制造辐射探测器的方法，该辐射探测器包含光电转换衬底和闪烁体层，该光电转换衬底将光转换为电信号，该闪烁体层接触该光电转换衬底并且将从外部入射的辐射转
\t换为光，该闪烁体层是含有Tl作为活化剂的CsI的荧光剂，该CsI是卤化物，该方法包括：通过气相沉积法使用CsI和Tl作为材料源来形成该闪烁体层，以使该活化剂在该荧光剂内的浓度是1.6质量％±0.4质量％，并且使该活化剂在该荧光剂内的浓度在该闪烁体层的面内方向上具有中央部分>周边部分的关系，其中中央部分是该闪烁体层的...

【专利技术属性】
技术研发人员：堀内弘，会田博之，吉田笃也，
申请(专利权)人：东芝电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP