一种立体结构的杂质吸收器件制造技术

本发明专利技术提供一种立体结构的杂质吸收器件，包括多个支撑桥面，所述多个支撑桥面通过桥墩逐层搭建在基底上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔，在每个功能吸附腔的上表面和/或下表面上设置有吸气材料层，所述功能吸附腔中还具有用于吸附固体杂质的静电吸附装置，所述桥墩的形状构成静电吸附装置的反锁机构。本发明专利技术不仅可以显著提高吸气效果，还能够进一步吸附固体杂质，同时，由于桥墩的反锁机构作用可以防止固体杂质溢出，满足智能传感器对杂质吸收器件提出的高性能需求，进一步延长智能传感器使用寿命。

【技术实现步骤摘要】


本专利技术涉及一种杂质吸收器件，具体涉及一种立体结构的杂质吸收器件。

技术介绍

采用MEMS工艺制造的智能传感器，如：加速度、陀螺仪、谐振压力、光电图像等，这些智能传感器需要工作在高真空、高洁净的环境下，才能保障其指标Q值和寿命。为了满足智能传感器工作环境需求，通常将智能传感器封装于密闭腔体内并在密闭腔体内设置杂质吸附器件，例如吸气材料，用来吸收封装腔体内部缓慢释放的气体、水分等污染物，维持内部高真空环境。
传统吸气材料普遍采用薄膜、柱状、片状等形态，吸附能力有限并且无法吸附固体杂质，例如粉尘颗粒等，影响智能传感器的使用寿命，亟待出现能够满足智能传感器需求的高性能杂质吸收器件。

技术实现思路

为了解决上述问题，本专利技术的目的在于提供一种新型立体结构的杂质吸收器件，对传统吸气材料的结构及功能进行了突破性的改进，显著提高吸附效果。
本专利技术采用的技术方案为：一种立体结构的杂质吸收器件，包括多个支撑桥面，所述多个支撑桥面通过桥墩逐层搭建在基底上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔，在每个功能吸附腔的上表面和/或下表面上设置有吸气材料层。
优选地，所述功能吸附腔中还设置有用于吸附固体杂质的静电吸附装置，所述桥墩的形状构成静电吸附装置的反锁机构。
优选地，所述静电吸附装置是导电极板，设置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上，所述支撑桥面和桥墩采用绝缘材料制成，在导电极板所在功能吸附腔中至少有一个桥墩内部具有金属导线，所述金属导线延伸至导电极板上，形成导电极板的供电通路。
优选地，所述桥墩的形状是内扣的支架形或者圆弧形。
优选地，所述支撑桥面的形状为方形、多边形或圆形。
优选地，所述吸气材料层是合金或者石墨烯。
优选地，在最上层支撑桥面的上表面上设置吸气材料层。
与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：
1）本专利技术提供一种立体结构的杂质吸收器件，将多个支撑桥面和桥墩逐层搭建，形成多个立体结构的功能吸附腔，在每个立体结构的功能吸附腔中均设置有吸气材料层，能够在有限的空间内显著增大吸气材料接触面积，提高吸气效果，延长智能传感器使用寿命；
2）本专利技术提供的一种立体结构的杂质吸收器件，将多个支撑桥面和桥墩逐层搭建，形成多个立体结构的功能吸附腔，在多个立体结构的功能吸附腔中设置有吸气材料层和静电吸附装置，不仅可以显著提高吸气效果，还能够进一步吸附固体杂质，同时，由于桥墩的反锁机构作用可以防止固体杂质溢出，满足智能传感器对杂质吸附器件提出的高性能需求，进一步延长智能传感器使用寿命。
本专利技术的另一目的是提供一种新型立体结构的杂质吸收器件，能够吸附固体杂质，防止杂质溢出。
本专利技术采用的技术方案是：一种立体结构的杂质吸收器件，包括多个支撑桥面，所述多个支撑桥面通过桥墩逐层搭建在基底上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔，在每个功能吸附腔中均设置有用于吸附固体杂质的静电吸附装置，所述桥墩的形状构成静电吸附装置的反锁机构。
优选地，所述静电吸附装置是导电极板，设置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上，所述支撑桥面和桥墩采用绝缘材料制成，在每个功能吸附腔中至少一个桥墩内部具有金属导线，所述金属导线延伸至导电极板上，形成导电极板的供电通路。
优选地，所述桥墩的形状是内扣的支架或者圆弧形。
与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：
本专利技术提供的一种立体结构的杂质吸收器件，将多个支撑桥面和桥墩逐层搭建，形成多个立体结构的功能吸附腔，在每个立体结构的功能吸附腔中均设置有静电吸附装置，能有效吸附固体杂质，同时，由于桥墩的反锁机构作用可以防止固体杂质溢出，延长智能传感器使用寿命。
附图说明
图1是本专利技术杂质吸收器件的立体结构示意图；
图2（a）是实施例1中提供的杂质吸收器件侧视图1；
图2（b）是实施例1中提供的杂质吸收器件侧视图2；
图2（c）是实施例1中提供的杂质吸收器件侧视图3；
图3（a）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图4；
图3（b）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图5；
图3（c）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图6；
图3（d）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图7；
图3（e）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图8；
图4（a）是实施例2提供的静电吸附装置俯视图1；
图4（b）是实施例2提供的静电吸附装置俯视图2；
图4（c）是实施例2提供的静电吸附装置俯视图3；
图4（d）是实施例2提供的静电吸附装置俯视图4；
图4（e）是实施例2提供的静电吸附装置俯视图5；
图5（a）是实施例3中提供的杂质吸收器件侧视图9；
图5（b）是实施例3中提供的杂质吸收器件侧视图10；
图5（c）是实施例3中提供的杂质吸收器件侧视图11。
具体实施方式
以下结合附图对本专利技术作进一步描述。
本专利技术所有附图是上述立体结构杂质吸收器件的简略示意图，只为清楚描述本方案体现了与专利技术点相关的结构，对于其他的与专利技术点无关的结构是现有结构，在附图中并未体现或只体现部分。
实施例1：参见图1，一种立体结构的杂质吸收器件，包括多个支撑桥面20，所述多个支撑桥面20通过桥墩30逐层搭建在基底10上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔，在每个功能吸附腔的上表面和/或下表面上均设置有吸气材料层40，用于吸附气体及水分等污染物。作为优选的方案，在最上层支撑桥面的上表面上同样设置吸气材料，以便增强吸气效果。具体地，所述吸气材料层40可以设置在功能吸附腔的下表面，如图2（a）所示；或者是设置在功能吸附腔的上表面，如图2（b）所示；又或者同时设置在上表面和下表面，如图2（c）所示。
在本专利技术中，所述支撑桥面的个数决定立体结构的层数，可以根据需要进行设定。在本实施例中，所述支撑桥面的个数为3，与基底共形成3个功能吸附腔，很明显地，多个立体结构的功能吸附腔为吸气材料提供更多安置空间，能够在有限的空间内显著增大吸气材料接触面积，提高吸气效果，延长智能传感器使用寿命。
具体地，所述吸气材料可以选用市场上通用的吸气材料，例如锆、钒、铁、铝、铼或钛中的两种或两种以上元素形成的合金，采用化学沉积CVD或蒸镀法沉积在支撑桥面上；又或者可以是石墨烯材料，采用纳米工艺制作而成；所述基底可以但不限于硅基、锗基、玻璃、金属或陶瓷等材料。
实施例2：参见图3，在实施例1的基础上，进一步地，在所述功能吸附腔中还设置有静电吸附装置50，用于吸附固体杂质，所述桥墩10的形状构成静电吸附装置50的反锁机构。具体地，所述静电吸附装置是导电极板50，设置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上。示例的，所述吸气材料层40和导电极板50可以分别设置在功能吸附腔的下表面和上表面，如图3（a）所示；或者是分别设置在功能吸附腔的上表面和下表面，如图3（b）所示；又或者同时设置在功能吸附腔的上表面和下表面上，如图3（c）、3（d）、3（e）所示。
在本实施例中，以方形支撑桥面为例对静电吸附装置进行说明。参见图4（a），所述支撑桥面20为方形，在方形桥面的四个顶点位置设置桥墩10，为了尽量增大吸附面积，所述导电极板50也为方形，设置在支撑桥面20的中央位置上。所述支撑桥面和四个桥墩整体采用绝缘材料制成，但其中至少一个桥墩内部具有金属导本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种立体结构的杂质吸收器件，其特征在于：包括多个支撑桥面，所述多个支撑桥面通过桥墩逐层搭建在基底上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔，在每个功能吸附腔的上表面和/或下表面上设置有吸气材料层。

【技术特征摘要】
1.一种立体结构的杂质吸收器件，其特征在于：包括多个支撑桥面，所述多个支撑桥面通过桥墩逐层搭建在基底上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔，在每个功能吸附腔的上表面和/或下表面上设置有吸气材料层。
2.根据权利要求1所述的一种立体结构的杂质吸收器件，其特征在于：在所述功能吸附腔中还设置用于吸附固体杂质的静电吸附装置，所述桥墩的形状构成静电吸附装置的反锁机构。
3.根据权利要求2所述的一种立体结构的杂质吸收器件，其特征在于：所述静电吸附装置是导电极板，设置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上，所述支撑桥面和桥墩采用绝缘材料制成，在导电极板所在的功能吸附腔中至少有一个桥墩内部具有金属导线，所述金属导线延伸至导电极板上，形成导电极板的供电通路。
4.根据权利要求2所述的一种立体结构的杂质吸收器件，其特征在于：所述桥墩的形状是内扣的支架形或者圆弧形。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的一种立体结构的杂质吸收器件，其特征在于：所述支撑桥面的形状为方形、多边形或圆形。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵照，
申请(专利权)人：合肥芯福传感器技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34