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本发明提供一种立体结构的杂质吸收器件,包括多个支撑桥面,所述多个支撑桥面通过桥墩逐层搭建在基底上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔,在每个功能吸附腔的上表面和/或下表面上设置有吸气材料层,所述功能吸附腔中还具有用于吸附固体杂质的静电吸附装置,...该专利属于合肥芯福传感器技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥芯福传感器技术有限公司授权不得商用。
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