【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微波毫米波芯片的小尺寸栅制备方法,所述微波毫米波芯片的衬底上生长有外延材料,所述外延材料上生长有介质,所述介质包括衬底层、外延沟道及势垒层、自停止层、盖帽层和介质层,其特征在于:所述微波毫米波芯片的小尺寸栅制备方法包括以下步骤:1)、在介质层上涂一层耐刻蚀的电子束胶,利用电子束直写设备直写栅脚图形,在直写完的栅脚图形上涂深紫外光刻胶;2)、利用电子束直写设备直写栅帽图形,对直写完的栅帽进行烘焙,并利用碱性显影液对直写完的栅帽进行显影,一次性得到栅脚和栅帽的胶型;3)、采用烘烤工艺改变栅脚胶型;4)、两步刻蚀介质层;5)、利用自停止层对外延材料的盖帽层进行过挖槽或者过刻蚀;6)、对栅金属进行蒸发和剥离后的钝化得到栅型以及钝化层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴少兵,高建峰,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第五十五研究所,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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