【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于散射光检测的激光头保护镜片污染监控装置,其特征在于:包括:激光透镜组(1)、工件(2)、保护镜片(3)、支架(4)以及用于检测污染粒子形成散射光的光强传感器(5),所述的激光透镜组(1)设于支架(4)上方,且,其上方设有激光光束(6),所述的工件(2)设于支架(4)下方,所述的保护镜片(3)设于两支架(4)之间,且,所述的保护镜片(3)上有积累形成的灰尘污染粒子(7),所述的光强传感器(5)安装在与保护镜片(3)相连的光路上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:汤旭东,
申请(专利权)人:同高先进制造科技太仓有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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