基于散射光检测激光头保护镜片污染监控装置及工作方法制造方法及图纸

技术编号:13379630 阅读:74 留言:0更新日期:2016-07-21 10:19
本发明专利技术公开了一种基于散射光检测的激光头保护镜片污染监控装置,包括:激光透镜组、工件、保护镜片、支架以及光强传感器,所述的激光透镜组设于支架上方,且,其上方设有激光光束,所述的工件设于支架下方,所述的保护镜片设于两支架之间,所述的光强传感器安装在与保护镜片相连的光路上。本发明专利技术中基于散射光检测的激光头保护镜片污染监控装置,其在与保护镜片相连的光路上设置有光强传感器来检测加工过程中保护镜片上的灰尘污染粒子形成的散射光,通过其测量值来反映保护镜片的污染,从而实现了通过散射光光强监控保护镜片的污染情况,提高其监控的准确性,且,其结构简单、操作方便,从而让其更好的满足使用者的需求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于散射光检测的激光头保护镜片污染监控装置,其特征在于:包括:激光透镜组(1)、工件(2)、保护镜片(3)、支架(4)以及用于检测污染粒子形成散射光的光强传感器(5),所述的激光透镜组(1)设于支架(4)上方,且,其上方设有激光光束(6),所述的工件(2)设于支架(4)下方,所述的保护镜片(3)设于两支架(4)之间,且,所述的保护镜片(3)上有积累形成的灰尘污染粒子(7),所述的光强传感器(5)安装在与保护镜片(3)相连的光路上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:汤旭东
申请(专利权)人:同高先进制造科技太仓有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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