【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜设备的配件，尤其涉及一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置。
技术介绍
传统的真空镀膜设备可以根据其镀膜工艺的不同要求，在真空腔体内选择设置或不设置挡板，若没有挡板时，钛靶附近则易于沉积碳的涂层，随着镀膜时间的不断增加，其表面受到污染的可能性就越来越大，从而影响涂层的结合力。真空腔体越小，受到污染的机会就越大。
技术实现思路
本技术是为了解决上述不足，提供了一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置。本技术的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置，包括真空腔体，所述真空腔体内设有导轨和齿条，齿条通过滑轮组件连接在导轨上，所述导轨两端分别设有“开”位置止动器和“关”位置止动器；所述齿条固定有隔离挡板；所述隔离挡板分为上下两段，下段需定期喷砂处理，上下段通过3个不锈钢螺丝连接，便于拆卸与安装。所述真空腔体顶部设有马达，所述马达连接设置在真空腔体内部的传动齿轮，传动齿轮与齿条啮合；所述马达两侧分别设有“开”位置传感器和“关”位置传感器，“开”位置传感器和“关”位置传感器通过电线分别连接“开”指示灯和“关”指示灯，“开”指示灯和“关”指示灯设置在设备控制柜面板上。所述真空腔体为圆筒状，导轨和齿条均呈弧形。本技术与现有技术相比的优点是：本技术的真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置结构简单，易于维护，工作性能稳定，较大幅度提高了镀膜产品的质量。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术中真空腔体的内部结构示意图。图...
【技术保护点】
一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体内设有导轨和齿条，齿条通过滑轮组件连接在导轨上，所述导轨两端分别设有“开”位置止动器和“关”位置止动器；所述齿条固定有隔离挡板；所述隔离挡板分为上下两段，上下段通过3个不锈钢螺丝连接；所述真空腔体顶部设有马达，所述马达连接设置在真空腔体内部的传动齿轮，传动齿轮与齿条啮合；所述马达两侧分别设有“开”位置传感器和“关”位置传感器，“开”位置传感器和“关”位置传感器通过电线分别连接“开”指示灯和“关”指示灯，“开”指示灯和“关”指示灯设置在设备控制柜面板上。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体内设有导轨和齿条，齿条通过滑轮组件连接在导轨上，所述导轨两端分别设有“开”位置止动器和“关”位置止动器；所述齿条固定有隔离挡板；所述隔离挡板分为上下两段，上下段通过3个不锈钢螺丝连接；
所述真空腔体顶部设有马达，所述马达连接设置在真空腔体内部的传动齿轮，传动齿...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄裕祥，
申请(专利权)人：广东耐信镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。