一种真空镀膜设备拉爪专用夹具制造技术

技术编号:22635145 阅读:94 留言:0更新日期:2019-11-26 14:35
本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜设备拉爪专用夹具,包括夹具体和驱动系统,夹具体的下端与驱动系统连接;夹具体包括立柱和若干第一连杆,各个第一连杆的端部设有工件悬挂位,若干连杆围绕夹具体均匀分布成一圈工位,夹具体在不同高度均设置有工位;驱动系统包括行星齿轮系统,行星齿轮系统连接夹具体的下端,并带动夹具体自转以及公转。由于物件也能够自转和公转,所以该专用夹具能够让物件充分地接触离子束;同时若干个第一连杆分布在周向和不同高度,能充分提高专用夹具的装载量。此实用新型专利技术用于镀膜工艺领域。

A special clamp for drawing claw of vacuum coating equipment

The utility model discloses a special clamp for pulling claw of vacuum coating equipment, which comprises a clamp and a driving system, wherein the lower end of the clamp is connected with the driving system; the clamp specifically comprises a column and a number of first connecting rods, the end of each first connecting rod is provided with a workpiece suspension position, a number of connecting rod surrounding clamps are specifically evenly distributed into a circle of working positions, and the clamp is specifically provided with a working position at different heights; the driving The system includes a planetary gear system, which connects the specific lower end of the clamp and drives the clamp to rotate and rotate. Because the object can also rotate and rotate, the special fixture can make the object fully contact the ion beam; at the same time, several first connecting rods are distributed in the circumferential direction and different heights, which can fully improve the loading capacity of the special fixture. The utility model is used in the field of coating technology.

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备拉爪专用夹具
本技术涉及镀膜工艺领域,特别是涉及一种真空镀膜设备拉爪专用夹具。
技术介绍
真空镀膜技术初现于20世纪30年代,四五十年代开始出现工业应用,工业化大规模生产开始于20世纪80年代,在电子、宇航、包装、装潢、印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜是指在在真空环境下,将某种金属或金属化合物或非金属等以不同方式沉积到目标材料表面,以形成一种具有不同特性的保护涂层,满足不同行业的应用。本公司使用了过滤电弧真空镀膜技术(DCVA),是指在真空条件下,采用低电压大电流的电弧放电使靶材离化,产生出离子、电子和熔化颗粒。大颗粒的离子和电子会在过滤弯管的引导下被过滤出去,只需要小颗粒的离子附着到工件上。为了让拉爪能够均匀接受离子束,需要合理设置专用夹具,以便拉爪能够全方位地处于离子束的有效覆盖区内。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能充分引导拉爪均匀暴露在离子束的有效覆盖区内且装载量大的真空镀膜设备拉爪专用夹具。本技术所采取的技术方案是:一种真空镀膜设备拉爪专用夹具,包括夹具体和驱动系统,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备拉爪专用夹具,其特征在于:包括夹具体和驱动系统,夹具体的下端与驱动系统连接;/n夹具体包括立柱和若干第一连杆,各个第一连杆的端部设有工件悬挂位,若干连杆围绕夹具体均匀分布成一圈工位,夹具体在不同高度均设置有工位;/n驱动系统上设有行星齿轮系统,行星齿轮系统连接夹具体的下端,并带动夹具体自转以及公转。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备拉爪专用夹具,其特征在于:包括夹具体和驱动系统,夹具体的下端与驱动系统连接;
夹具体包括立柱和若干第一连杆,各个第一连杆的端部设有工件悬挂位,若干连杆围绕夹具体均匀分布成一圈工位,夹具体在不同高度均设置有工位;
驱动系统上设有行星齿轮系统,行星齿轮系统连接夹具体的下端,并带动夹具体自转以及公转。


2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备拉爪专用夹具,其特征在于:工件悬挂位包括与第一连杆连接的第二连杆,第二连杆的尺寸小于第一连杆的尺寸。


3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备拉爪专用夹具,其特征在于:第一连杆和第二连杆均为圆柱体,第二连杆与第一连杆的过渡位置为斜坡。


4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备拉爪专用夹具,其特征在于:立柱与行星齿轮系统之间采用孔轴连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:李标章黄裕祥
申请(专利权)人:广东耐信镀膜科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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