微型机械及其制造方法技术

本发明专利技术提供了一种用于具有高Ｑ值和更高频带的高频过滤器的微型机械。该微型机械（２０）包括：设置在衬底（１）上的输出电极（７）；包括第一绝缘薄膜（９）和第二绝缘薄膜（１１）的夹层绝缘薄膜，所述第一和第二绝缘薄膜设置在衬底上以覆盖所述输出电极（７）；孔图案（１１ａ），设置在所述第二绝缘薄膜（１１）中以到达所述输出电极（７）；以及带状振动器电极（１５），设置在所述第二绝缘薄膜（１１）上，从而横过由所述孔图案（１１ａ）内部构成的间隔部分（Ａ）的上侧。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，尤其涉及一种包括横过输出电极的振动器电极的微型机械，以及制造该微型机械的方法，其中在振动器电极和输出电极之间带有间隔部分。
技术介绍
随着在衬底上进行微处理的技术的发展，人们已经给予微型机械技术以关注，在微型机械技术中，将微型结构及电极、用于控制该微型结构的驱动的半导体集成电路等装置设置在一个诸如硅衬底、玻璃衬底等的衬底上。在这样的微型机械中，推荐使用一种微型振动器作为射频通讯的高频滤波器。如图8所示，微型振动器100包括位于设置在衬底101上的输出电极102a上方的振动器电极103，在该输出电极与振动器电极之间留有间隔部分A。振动器电极103的一端部连接到输入电极102b，该输入电极102b与输出电极102a由同一导电层构成。当将特定频率电压施加在输入电极102b上时，其间带有间隙地设置在输入电极102a上方的振动器电极103在固有振动频率下振动，因此由输出电极102a与梁(beam)(振动部分)103a之间的间隔部分构成的电容发生变化，并且电容的变化从输出电极102a输出。与应用表面弹性波(SAW)或薄膜弹性波(FBAR)的高频滤波器相比，具有这样的结构的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型机械，包括：　　　　设置在衬底上的输出电极；　　　　夹层绝缘薄膜，在覆盖所述输出电极的状态下设置在所述衬底上；　　　　孔图案，在到达所述输出电极的状态下设置在所述夹层绝缘薄膜中；以及　　　　带状振动器电极，设置在所述夹层绝缘薄膜上，从而横过由所述孔图案内部构成的间隔部分的上侧。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：多田正裕，木下隆，谷口武士，池田浩一，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]