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本发明提供了一种用于具有高Ｑ值和更高频带的高频过滤器的微型机械。该微型机械（２０）包括：设置在衬底（１）上的输出电极（７）；包括第一绝缘薄膜（９）和第二绝缘薄膜（１１）的夹层绝缘薄膜，所述第一和第二绝缘薄膜设置在衬底上以覆盖所述输出电极（７...
该专利属于索尼株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过索尼株式会社授权不得商用。

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