【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于化学化工
,尤其涉及用于单晶硅和碳化硅切片的金属丝切割液。
技术介绍
在硅片切割生产过程中,作为金属丝切割的负责耗材,硅片切割液并不可少。切割液在悬浮能力、冷却性能、润滑性能和砂浆分散性能的好坏,很大程度上决定了硅片切割的精度和效率。目前市场上普通的硅片切割液在散热冷却性能还有所欠缺,尤其是在高频率切割下难以达到尤其。而且随着切割的进行,金属丝如果磨损到一定程度后,且润滑性能会降低,导致切割精度下降,有的抗杂质能力较差,当切割硅、铁、极氧化合物等杂质的产生,还会导致切割液性能明显下降。
技术实现思路
专利技术目的:针对上述现有存在的问题和不足,本专利技术的目的是提供一种低粘度高热导率碳化硅切割液,具有更优秀的润滑性能,能提高硅片的切割精度,并降低切割液的使用成本。技术方案:为实现上述专利技术目的,本专利技术采用以下技术方案:一种低粘度高热导率碳化硅切割液,按质量份数计包括以下组份:去离子水100份;聚乙二醇70~120份;甘油2~20份;表面活性剂1~5份;硅酸盐0.5~2份;邻苯二甲酸胺二乙酯5~20份;环氧大豆油5~40份。作为优选,所述聚乙二醇的聚合度为600~800。作为优选,所述表面活性剂为环烷酸锌盐、十二烷基磺酸钠、烷基酚聚氧乙烯醚或十二烷基硬脂酸盐。作为优选,所述各组分质量分数如下:去离子水100份;聚乙二醇100份;甘油12份;表面活性剂2份;硅酸盐0.8份 ...
【技术保护点】
一种低粘度高热导率碳化硅切割液,其特征在于,按质量份数计包括以下组份:去离子水 100份;聚乙二醇 70~120份;甘油 2~20份;表面活性剂 1~5份;硅酸盐 0.5~2份;邻苯二甲酸胺二乙酯 5~20份;环氧大豆油 5~40份。
【技术特征摘要】
1.一种低粘度高热导率碳化硅切割液,其特征在于,按质量份数计包括以下组份:
去离子水100份;
聚乙二醇70~120份;
甘油2~20份;
表面活性剂1~5份;
硅酸盐0.5~2份;
邻苯二甲酸胺二乙酯5~20份;
环氧大豆油5~40份。
2.根据权利要求1所述低粘度高热导率碳化硅切割液,其特征在于:所述聚乙二醇的聚合度为600~800。
3.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈斌,
申请(专利权)人:江苏金晖光伏有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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