一种低粘度高热导率碳化硅切割液的循环回收使用方法技术

技术编号:13003466 阅读:119 留言:0更新日期:2016-03-10 15:02
本发明专利技术公开了一种低粘度高热导率碳化硅切割液的循环回收使用方法,包括以下步骤:(1)切割液收集并作为一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物质,上层清液送至切割液缓冲罐;(2)液实时测量其比重的同时,定其PH值,当比重超过0.86~0.88范围或PH值超过5~7范围;(3)乙二醇的每补充100ml,还需补充2~5份的甘油和2~5份的邻苯二甲酸胺二乙酯;调节好的切割液再次送回喷淋;(4)当切割液缓冲罐中切割液的粘度超过60mPa·s时,切割液报废,重新更换。本发明专利技术的切割液维护及回收方法简单,实现切割液的初步回收再利用,回收装置简单成本低,且对于分离而成的沉降物质也可回收再利用。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】
本专利技术属于化学化工
,尤其涉及用于单晶硅和碳化硅切片的金属丝切割液的回收。
技术介绍
在硅片切割生产过程中,作为金属丝切割的负责耗材,硅片切割液并不可少。切割液在悬浮能力、冷却性能、润滑性能和砂浆分散性能的好坏,很大程度上决定了硅片切割的精度和效率。目前市场上普通的硅片切割液在散热冷却性能还有所欠缺,尤其是在高频率切割下难以达到尤其。而且随着切割的进行,金属丝如果磨损到一定程度后,且润滑性能会降低,导致切割精度下降,有的抗杂质能力较差,当切割硅、铁、极氧化合物等杂质的产生,还会导致切割液性能明显下降。另外,切割液作为硅片切割的三大耗材之一,对硅片加工的成本起到很大作用,因此如何降低切割液的使用量是降低硅片加工成本手段之一。目前的切割液回收基本都是对聚乙二醇进行回收。
技术实现思路
专利技术目的:针对上述现有存在的问题和不足,本专利技术的目的是提供。技术方案:为实现上述专利技术目的,本专利技术采用以下技术方案:,所述切割液包括聚乙二醇、甘油、硅酸盐、邻苯二甲酸胺二乙酯和环氧大豆油,所述循环回收使用方法包括以下步骤: (1)在切割液对刀具喷淋的下方设置收集装置,并在收集装置后连接切割液缓冲罐,收集装置作为一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物质,并将上层清液送至切割液缓冲罐; (2)对切割液缓冲罐中的切割液实时测量其比重的同时,还需要测定其PH值,当比重超过0.86?0.88范围或PH值超过5?7范围,则用纯水或乙二醇进行补充调节去报比重在1.20?1.32,同时用碳酸氢钠调节Ph在5?7之间; (3)乙二醇的每补充100ml,还需补充2?5份的甘油和2?5份的邻苯二甲酸胺二乙酯;调节好的切割液再次送回喷淋; (4)当切割液缓冲罐中切割液的粘度超过60mPa.s时,切割液报废,重新更换。作为优选,所述切割液各组分含量如下:去离子水100份;聚乙二醇100份;甘油12份;表面活性剂2份;娃酸盐0.8份;邻苯二甲酸胺二乙酯10份;环氧大豆油12份。进一步的,所述切割液缓冲罐中还设有用于搅拌切割液的搅拌装置。有益效果:与现有技术相比,本专利技术的切割液维护及回收方法简单,实现切割液的初步回收再利用,回收装置简单成本低,且对于分离而成的沉降物质也可回收再利用。【具体实施方式】下面结合具体实施例,进一步阐明本专利技术,应理解这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围,在阅读了本专利技术之后,本领域技术人员对本专利技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。—种低粘度高热导率碳化硅切割液的循环回收使用方法,本专利技术主要针对的切割液包括聚乙二醇、甘油、硅酸盐、邻苯二甲酸胺二乙酯和环氧大豆油。其中,主要回收成分为聚乙二醇和甘油,具体的后手方法如下: (1)在切割液对刀具喷淋的下方设置收集装置,并在收集装置后连接切割液缓冲罐,收集装置作为一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物质,并将上层清液送至切割液缓冲罐; (2)对切割液缓冲罐中的切割液实时测量其比重的同时,还需要测定其PH值,当比重超过0.86?0.88范围或PH值超过5?7范围,则用纯水或乙二醇进行补充调节去报比重在1.20?1.32,同时用碳酸氢钠调节Ph在5?7之间; (3)乙二醇的每补充100ml,还需补充2?5份的甘油和2?5份的邻苯二甲酸胺二乙酯;调节好的切割液再次送回喷淋; (4)当切割液缓冲罐中切割液的粘度超过60mPa.s时,切割液报废,重新更换。【主权项】1.,其特征在于:所述切割液包括聚乙二醇、甘油、硅酸盐、邻苯二甲酸胺二乙酯和环氧大豆油,所述循环回收使用方法包括以下步骤: (1)在切割液对刀具喷淋的下方设置收集装置,并在收集装置后连接切割液缓冲罐,收集装置作为一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物质,并将上层清液送至切割液缓冲罐; (2)对切割液缓冲罐中的切割液实时测量其比重的同时,还需要测定其PH值,当比重超过0.86?0.88范围或PH值超过5?7范围,则用纯水或乙二醇进行补充调节去报比重在1.20?1.32,同时用碳酸氢钠调节Ph在5?7之间; (3)乙二醇的每补充100ml,还需补充2?5份的甘油和2?5份的邻苯二甲酸胺二乙酯;调节好的切割液再次送回喷淋; (4)当切割液缓冲罐中切割液的粘度超过60mPa.s时,切割液报废,重新更换。2.根据权利要求1所述低粘度高热导率碳化硅切割液的循环回收使用方法,其特征在于:所述切割液各组分含量如下:去离子水100份;聚乙二醇100份;甘油12份;表面活性剂2份;硅酸盐0.8份;邻苯二甲酸胺二乙酯10份;环氧大豆油12份。3.根据权利要求1所述低粘度高热导率碳化硅切割液的循环回收使用方法,其特征在于:所述切割液缓冲罐中还设有用于搅拌切割液的搅拌装置。【专利摘要】本专利技术公开了,包括以下步骤:(1)切割液收集并作为一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物质,上层清液送至切割液缓冲罐;(2)液实时测量其比重的同时,定其PH值,当比重超过0.86~0.88范围或PH值超过5~7范围;(3)乙二醇的每补充100ml,还需补充2~5份的甘油和2~5份的邻苯二甲酸胺二乙酯;调节好的切割液再次送回喷淋;(4)当切割液缓冲罐中切割液的粘度超过60mPa·s时,切割液报废,重新更换。本专利技术的切割液维护及回收方法简单,实现切割液的初步回收再利用,回收装置简单成本低,且对于分离而成的沉降物质也可回收再利用。【IPC分类】C10M175/00【公开号】CN105385496【申请号】CN201510788012【专利技术人】陈斌 【申请人】江苏金晖光伏有限公司【公开日】2016年3月9日【申请日】2015年11月17日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低粘度高热导率碳化硅切割液的循环回收使用方法,其特征在于:所述切割液包括聚乙二醇、甘油、硅酸盐、邻苯二甲酸胺二乙酯和环氧大豆油,所述循环回收使用方法包括以下步骤:(1)在切割液对刀具喷淋的下方设置收集装置,并在收集装置后连接切割液缓冲罐,收集装置作为一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物质,并将上层清液送至切割液缓冲罐;(2)对切割液缓冲罐中的切割液实时测量其比重的同时,还需要测定其PH值,当比重超过0.86~0.88范围或PH值超过5~7范围,则用纯水或乙二醇进行补充调节去报比重在1.20~1.32,同时用碳酸氢钠调节Ph在5~7之间;(3)乙二醇的每补充100ml,还需补充2~5份的甘油和2~5份的邻苯二甲酸胺二乙酯;调节好的切割液再次送回喷淋;(4)当切割液缓冲罐中切割液的粘度超过60mPa·s时,切割液报废,重新更换。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈斌
申请(专利权)人:江苏金晖光伏有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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