本发明专利技术涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。其中，电子部件搬运装置具备：构成装置的部件；对上述部件进行加热的加热部；检测湿度的湿度检测部；以及检测温度的温度检测部，在通过上述温度检测部检测到的温度为露点温度的2倍以下的情况下，对上述部件进行加热。另外，与上述部件接触的空气的湿度优选比与上述湿度检测部接触的空气的湿度低。另外，上述温度检测部优选配置于上述部件。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。
技术介绍
以往，公知有检查例如1C器件等电子部件的电特性的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置设置有用于将1C器件搬运至检查部的保持部的电子部件搬运装置。在检查1C器件时，1C器件被配置于保持部，使设置于保持部的多个探针与1C器件的各端子接触。这样的1C器件的检查中有将1C器件冷却至规定温度进行的情况。在该情况下，对配置有1C器件的配置部件进行冷却从而冷却1C器件，并且为了不产生结露、结冰(积冰)，而使上述配置部件的周围的气氛的湿度(装置内的湿度)降低。然而，在电子部件搬运装置的内部产生结露，在该情况下，作业者确认结露，通过作业者的操作，来进行用于除去该结露的加热。由此，能够除去上述结露。另外，在专利文献1记载有一种部件试验装置(电子部件搬运装置)，其构成为:具备腔室，该腔室在内部具有用于将部件冷却至低温而进行试验的测试工作台，在室内产生温度异常的情况下，停止冷却，并对室内进行加热返回常温。在该专利文献1中，通过对室内进行加热返回常温，来抑制在室内产生结露。专利文献1:日本特开2000-9793号公报然而，在电子部件搬运装置的内部产生结露的情况下，对于根据作业者的操作来进行用于除去该结露的加热的情况而言，若作业者未能发现结露，判断错误，则以产生有结露的状态进行1C器件的搬运。由此，有在1C器件附着有水，短路而不能检查，或者1C器件损坏的可能性。另外，若以产生了结露的状态冷却，则结冰。另外，在上述专利文献1记载的部件试验装置中，在室内产生温度异常的情况下，因为一律停止冷却，并对室内进行加热返回常温，所以即使是本来不需要使室内返回常温的情况下，即，即使是没有产生结露的情况也返回常温。因此，有到再次开始工作需要长时间这一问题。另外，在专利文献1记载的部件试验装置中，在室内产生温度异常的情况下，因为使室内返回常温，所以在由于其他原因在室内产生结露的情况下，不能除去该结露。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够自动地避免结露或者结冰，另外在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。本专利技术是为了解决上述的课题的至少一部分而产生的，能够作为以下方式或者应用例实现。应用例1本专利技术的电子部件搬运装置的特征在于具备:部件，其构成装置；加热部，其对上述部件进行加热；湿度检测部，其检测湿度；以及温度检测部，其检测温度，在通过上述温度检测部检测到的温度为露点温度的2倍以下的情况下，对上述部件进行加热。由此，能够自动地未然避免在构成电子部件搬运装置的部件产生结露或者结冰，并且在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例2在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，在通过上述温度检测部检测到的温度为露点温度的0.5倍以上2倍以下的情况下，对上述部件进行加热。由此，能够自动地未然避免在构成电子部件搬运装置的部件产生结露或者结冰，并且在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例3在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，与上述部件接触的空气的湿度比与上述湿度检测部接触的空气的湿度低。由此，在温度检测部未被安装于上述部件的情况等，上述部件的温度比温度检测部的周围的温度低的设定的情况下，虽然产生结露或者结冰的概率变高，但是通过使上述部件的周围的空气的湿度变低，能够使产生结露或者结冰的概率变低。应用例4在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述温度检测部配置于上述部件。由此，能够直接测定上述部件的温度，另外，通过将上述温度检测部配置于怕结露的部分，能够未然避免在该怕结露的部分产生结露或者结冰，并且另外在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例5在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述部件配置于上述电子部件搬运装置的被控制为规定的湿度的室内。由此，能够未然避免在特别不想产生结露或者结冰的上述部件产生结露或者结冰，并且另外在产生结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例6在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述加热部包括电热丝。由此，能够容易并且迅速地将结露或者结冰除去。应用例7 在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述加热部包括送风源。由此，能够更容易地并且迅速地将结露或者结冰除去。应用例8在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，在上述电子部件搬运装置的室内的湿度成为规定的第一阈值以下的情况下停止上述加热。由此，能够避免在上述部件产生结露或者结冰，并且，在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例9在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，在经过了规定的时间的情况下停止上述加热。由此，能够未然避免在上述部件产生结露或者结冰，并且在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例10本专利技术的电子部件搬运装置特征在于，具备:部件，其构成装置；以及加热部，其对上述部件进行加热，在成为预先决定的条件的情况下对上述部件进行加热。由此，能够自动地未然避免在构成电子部件搬运装置的部件产生结露或者结冰，并且在产生了结露或者结冰的情况下能够将其除去。应用例11在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述部件具有能够配置电子部件并且能够冷却的冷却部件。由此，能够未然避免在上述部件产生结露或者结冰，并且在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例12在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述条件是指:在上述冷却部件已被冷却的状态下切断电源，之后接通上述电源的情况。由此，能够未然避免在上述部件产生结露或者结冰，并且在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例13在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述条件是指:在上述冷却部件已被冷却的状态下切断电源，并且在上述电源被切断时开始在预先设定的时间以内接通上述电源的情况。由此，能够未然避免在上述部件产生结露或者结冰，并且在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例14本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，在上述冷却部件的冷却中使用液氮，上述条件是指上述液氮泄露的情况。由此，能够未然避免设定以外的部分被冷却并在该部分产生结露或者结冰，另外在产生结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例15在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，上述条件是指上述电子部件搬运装置的至少一个室内的湿度是规定的第二阈值以上的情况。由此，能够未然避免在上述部件产生结露或者结冰，并且在产生了结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例16在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，向上述电子部件搬运装置的至少一个室内供给干燥的气体，上述条件是指:上述气体的供给停止或者上述气体的流量降低至规定值以下的情况。由此，能够未然避免在上述部件产生结露或者结冰，并且在产生结露或者结冰的情况下，能够将其除去。应用例17在本专利技术的电子部件搬运装置中，优选，具有对上述电子部件搬运装置的动作进行控制的多个控制模式，上述电子部件搬运装置具有显示部，通过该显示部显示上述多个控制模式中的与当前设定的控制模式对应的图像。由此，由于在显示部例如显示与结露、结冰相关的信息、处理方法等，所以作业者能够把握上述信息，从而能够容易并且迅速地对应。应用例18本专利技术的电子部件检查装置特征在于，具备:部件，其构成装置；加热部，其构成上述部件；湿度检测部，其检测湿度；温度检测部，其检本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电子部件搬运装置，其特征在于，具备：部件，其构成装置；加热部，其对所述部件进行加热；湿度检测部，其检测湿度；以及温度检测部，其检测温度，在通过所述温度检测部检测到的温度为露点温度的2倍以下的情况下，对所述部件进行加热。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：清水博之，山崎孝，前田政己，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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