研磨片酸腐蚀方法技术

本发明专利技术公开了一种研磨片酸腐蚀方法，其特征在于，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：5-15％氢氟酸，30-40％硝酸，20-25％冰醋酸，其余为水；每腐蚀20-40um研磨片后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.5-2.5倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.5-2倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。本发明专利技术中的研磨片酸腐蚀方法，可将酸的总用量降低15％以上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
研磨片酸腐蚀工艺中，酸的消耗是生产成本高的一个重要原因。在每片研磨片的酸腐蚀过程中，以及每次酸腐蚀工艺完成后，剩余的混合酸溶液中尚有部分酸未使用，在现有技术中，只能完全丢弃，无法继续使用，这是造成生产成本高的原因之一。
技术实现思路
本专利技术的目的之一是为了克服现有技术中的不足，提供一种可循环使用混合酸溶液的研磨片酸腐蚀的方法。为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案实现:，其特征在于，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括:5-15%氢氟酸，30-40%硝酸，20-25%冰醋酸，其余为水；每腐蚀20_40um硅后补充一次腐蚀液；氣氟酸补充量为消耗量的1.5-2.5倍；硝酸补充量为补充的氣氟酸量的1.5-2倍；冰醋酸补充量与氣氟酸补充量相同。优选地是,使用的氢氟酸体积浓度为45-50 %。优选地是，使用的硝酸浓度为65-75 %。优选地是，使用的冰醋酸浓度为100 %。本专利技术中的，可将酸的总用量降低15%以上。【具体实施方式】下面对本专利技术进行详细的描述:实施例1，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括:本文档来自技高网...

【技术保护点】
研磨片酸腐蚀方法，其特征在于，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：5‑15％氢氟酸，30‑40％硝酸，20‑25％冰醋酸，其余为水；每腐蚀20‑40um研磨片后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.5‑2.5倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.5‑2倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苟钦泽，江笠，
申请(专利权)人：上海合晶硅材料有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31