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本发明公开了一种研磨片酸腐蚀方法，其特征在于，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：5-15％氢氟酸，30-40％硝酸，20-25％冰醋酸，其余为水；每腐蚀20-40um研磨片后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.5-...
该专利属于上海合晶硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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