一种单晶硅片快速切割装置制造方法及图纸

技术编号:23007974 阅读:94 留言:0更新日期:2020-01-03 14:06
本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片快速切割装置,包括主体框架,主体框架内壁底端设有收集槽,主体框架内壁两侧对称固定连接有一号滑块,收集槽靠近一号滑块的一侧均设有一号滑槽,一号滑块均与一号滑槽滑动连接,本实用新型专利技术通过将单晶硅棒安放在限位孔处,通过推动板和限位孔将单晶硅棒固定,可一次性切割多个,降低生产成本,将切割电机通电后,钢丝高速运动进行切割,切割面小,浪费材料少,在与转动杆配合进行定时切割,伺服电机匀速运转,保障了每片切割厚度相同,可根据需要厚度来调节一号伺服电机转速,最后在收集槽内收集,残渣通过过滤网后收集,既环保,硅粉可进行再利用,又节约了材料,降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片快速切割装置
本技术涉及切割装置,特别涉及一种单晶硅片快速切割装置,属于单晶硅生产

技术介绍
随着现在社会的发展,单晶硅得到了广泛领域的应用,在很多高科技产品都需要使用单晶硅制作的半导体,这是由单晶硅的性质决定的,因其在不同方向具有不同的性质,是一种良好的半导体材料,在单晶硅生产过程中,切割是将要成型使用的重要流程,一般切割机切割容易产生线痕,由于硅片在切割过程中会发生脆性崩裂或划痕,影响了硅片表面的粗糙度和翘曲度,使得所加工的硅片总厚度存在误差,第一影响美观,第二影响使用,而且效率低,生产成本高,因此本技术提出了一种单晶硅片快速切割装置。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种单晶硅片快速切割装置,解决了现有的问题。实现上述目的的技术方案是:一种单晶硅片快速切割装置,包括主体框架,所述主体框架内壁底端设有收集槽,所述主体框架内壁两侧对称固定连接有一号滑块,所述收集槽靠近一号滑块的一侧均设有一号滑槽,所述一号滑块均与一号滑槽滑动连接,所述收集槽内壁两侧对称固定连接有L型支本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅片快速切割装置,包括主体框架(1),其特征在于,所述主体框架(1)内壁底端设有收集槽(2),所述主体框架(1)内壁两侧对称固定连接有一号滑块(3),所述收集槽(2)靠近一号滑块(3)的一侧均设有一号滑槽(4),所述一号滑块(3)均与一号滑槽(4)滑动连接,所述收集槽(2)内壁两侧对称固定连接有L型支撑板(5),所述L型支撑板(5)上设有过滤网(6),所述过滤网(6)顶端对称固定连接有固定板(7),所述固定板(7)之间对称固定连接有隔板(8),所述隔板(8)一侧固定连接有一号把手(9),所述收集槽(2)靠近一号把手(9)一侧固定连接有二号把手(10),所述主体框架(1)顶端中部设有...

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片快速切割装置,包括主体框架(1),其特征在于,所述主体框架(1)内壁底端设有收集槽(2),所述主体框架(1)内壁两侧对称固定连接有一号滑块(3),所述收集槽(2)靠近一号滑块(3)的一侧均设有一号滑槽(4),所述一号滑块(3)均与一号滑槽(4)滑动连接,所述收集槽(2)内壁两侧对称固定连接有L型支撑板(5),所述L型支撑板(5)上设有过滤网(6),所述过滤网(6)顶端对称固定连接有固定板(7),所述固定板(7)之间对称固定连接有隔板(8),所述隔板(8)一侧固定连接有一号把手(9),所述收集槽(2)靠近一号把手(9)一侧固定连接有二号把手(10),所述主体框架(1)顶端中部设有二号滑槽(11),所述二号滑槽(11)内滑动连接有二号滑块(12),所述二号滑块(12)远离二号滑槽(11)的一端固定连接有推杆(13),所述推杆(13)远离二号滑块(12)的一端固定连接有齿条(14),所述齿条(14)啮合连接有齿轮(15),所述主体框架(1)靠近齿轮(15)一侧固定连接有安装板(16),所述安装板(16)靠近齿轮(15)一侧固定连接有固定架(32),所述固定架(32)内壁固定连接有二号伺服电机(33),所述推杆(13)一端固定连接有推动板(17),所述主体框架(1)靠近推动板(17)一侧固定连接有限位板(18),所述主体框架(1)顶端设有下料槽(34),所述主体框架(1)顶端远离下料槽(34)一端固定连接有支撑架(19),所述支撑架(19)内壁固定连接有一号伺服电机(20),所述支撑架(19)靠近限位板(18)一侧等距转动连接有主动轮(21)、一号从动轮(22)和二号从动轮(2...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈辉辉
申请(专利权)人:上海合晶硅材料有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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