本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片快速切割装置,包括主体框架,主体框架内壁底端设有收集槽,主体框架内壁两侧对称固定连接有一号滑块,收集槽靠近一号滑块的一侧均设有一号滑槽,一号滑块均与一号滑槽滑动连接,本实用新型专利技术通过将单晶硅棒安放在限位孔处,通过推动板和限位孔将单晶硅棒固定,可一次性切割多个,降低生产成本,将切割电机通电后,钢丝高速运动进行切割,切割面小,浪费材料少,在与转动杆配合进行定时切割,伺服电机匀速运转,保障了每片切割厚度相同,可根据需要厚度来调节一号伺服电机转速,最后在收集槽内收集,残渣通过过滤网后收集,既环保,硅粉可进行再利用,又节约了材料,降低了成本。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片快速切割装置
本技术涉及切割装置,特别涉及一种单晶硅片快速切割装置,属于单晶硅生产
技术介绍
随着现在社会的发展,单晶硅得到了广泛领域的应用,在很多高科技产品都需要使用单晶硅制作的半导体,这是由单晶硅的性质决定的,因其在不同方向具有不同的性质,是一种良好的半导体材料,在单晶硅生产过程中,切割是将要成型使用的重要流程,一般切割机切割容易产生线痕,由于硅片在切割过程中会发生脆性崩裂或划痕,影响了硅片表面的粗糙度和翘曲度,使得所加工的硅片总厚度存在误差,第一影响美观,第二影响使用,而且效率低,生产成本高,因此本技术提出了一种单晶硅片快速切割装置。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种单晶硅片快速切割装置,解决了现有的问题。实现上述目的的技术方案是:一种单晶硅片快速切割装置,包括主体框架,所述主体框架内壁底端设有收集槽,所述主体框架内壁两侧对称固定连接有一号滑块,所述收集槽靠近一号滑块的一侧均设有一号滑槽,所述一号滑块均与一号滑槽滑动连接,所述收集槽内壁两侧对称固定连接有L型支撑板,所述L型支撑板上设有过滤网,所述过滤网顶端对称固定连接有固定板,所述固定板之间对称固定连接有隔板,所述隔板一侧固定连接有一号把手,所述收集槽靠近一号把手一侧固定连接有二号把手,所述主体框架顶端中部设有二号滑槽,所述二号滑槽内滑动连接有二号滑块,所述二号滑块远离二号滑槽的一端固定连接有推杆,所述推杆远离二号滑块的一端固定连接有齿条,所述齿条啮合连接有齿轮,所述主体框架靠近齿轮一侧固定连接有安装板,所述安装板靠近齿轮一侧固定连接有固定架,所述固定架内壁固定连接有二号伺服电机,所述推杆一端固定连接有推动板,所述主体框架靠近推动板一侧固定连接有限位板,所述主体框架顶端设有下料槽,所述主体框架顶端远离下料槽一端固定连接有支撑架,所述支撑架内壁固定连接有一号伺服电机,所述支撑架靠近限位板一侧等距转动连接有主动轮、一号从动轮和二号从动轮,所述一号伺服电机输出端穿过支撑架与主动轮固定连接,所述主动轮通过传动带与一号从动轮、二号从动轮传动连接,所述一号从动轮、二号从动轮分别与转动板固定连接,所述转动板远离一号从动轮、二号从动轮一端分别转动连接有支撑杆,所述支撑杆远离转动板一端固定连接有电机架,所述电机架内壁固定连接有切割电机,所述电机架外壁远离支撑杆的一端对称固定连接有两个驱动轮,两个所述驱动轮中部之间缠绕有钢丝,所述限位板中并排铺设有若干限位孔。作为本技术的一种优选方案,所述二号伺服电机输出端穿过固定架与齿轮固定连接,所述下料槽位于限位板远离推动板一侧,所述限位孔与单晶硅棒尺寸契合,所述推动板高度与单晶硅棒直径相等。作为本技术的一种优选方案,所述主动轮、一号从动轮和二号从动轮形成等腰三角形,所述切割电机型号为kom7080型。作为本技术的一种优选方案,所述隔板底端与过滤网接触。作为本技术的一种优选方案,所述驱动轮中部均设有V型凹槽,钢丝位于V型凹槽内。本技术的有益效果是:本技术通过将单晶硅棒安放在限位孔处,将二号伺服电机通电后,通过齿轮啮合使推杆推动推动板沿二号滑槽方向匀速前进,可通过推动板和限位孔将单晶硅棒固定,可一次性切割多个,降低生产成本,将一号伺服电机通电后可使转动板做一定轨迹运动,带动钢丝落下时切割单晶硅棒,将切割电机通电后,钢丝高速运动进行切割,切割面小,浪费材料少,在与转动杆配合进行定时切割,伺服电机匀速运转,保障了每片切割厚度相同,可根据需要厚度调节一号伺服电机转速,最后在收集槽内收集,残渣通过过滤网后收集,既环保,硅粉可进行再利用,又节约了材料,降低了成本。附图说明图1是本技术的内部结构示意图;图2是本技术的俯视结构示意图;图3是本技术的侧视结构示意图;图4是图1中沿A-A方向的侧视结构示意图。图中:1、主体框架;2、收集槽;3、一号滑块;4、一号滑槽;5、L型支撑板;6、过滤网;7、固定板;8、隔板;9、一号把手;10、二号把手;11、二号滑槽;12、二号滑块;13、推杆;14、齿条;15、齿轮;16、安装板;17、推动板;18、限位板;19、支撑架;20、一号伺服电机;21、主动轮;22、一号从动轮;23、二号从动轮;24、传动带;25、转动板;26、支撑杆;27、电机架;28、切割电机;29、驱动轮;30、钢丝;31、限位孔;32、固定架;33、二号伺服电机;34、下料槽。具体实施方式下面将结合附图对本技术作进一步说明。如图1-4所示,一种单晶硅片快速切割装置,包括主体框架1,主体框架1内壁底端设有收集槽2,主体框架1内壁两侧对称固定连接有一号滑块3,收集槽2靠近一号滑块3的一侧均设有一号滑槽4,一号滑块3均与一号滑槽4滑动连接,收集槽2内壁两侧对称固定连接有L型支撑板5,L型支撑板5上设有过滤网6,过滤网6顶端对称固定连接有固定板7,固定板7之间对称固定连接有隔板8,隔板8一侧固定连接有一号把手9,收集槽2靠近一号把手9一侧固定连接有二号把手10,主体框架1顶端中部设有二号滑槽11,二号滑槽11内滑动连接有二号滑块12,二号滑块12远离二号滑槽11的一端固定连接有推杆13,推杆13远离二号滑块12的一端固定连接有齿条14,齿条14啮合连接有齿轮15,主体框架1靠近齿轮15一侧固定连接有安装板16,安装板16靠近齿轮15一侧固定连接有固定架32,固定架32内壁固定连接有二号伺服电机33,推杆13一端固定连接有推动板17,主体框架1靠近推动板17一侧固定连接有限位板18,主体框架1顶端设有下料槽34,主体框架1顶端远离下料槽34一端固定连接有支撑架19,支撑架19内壁固定连接有一号伺服电机20,支撑架19靠近限位板18一侧等距转动连接有主动轮21、一号从动轮22和二号从动轮23,一号伺服电机20输出端穿过支撑架19与主动轮21固定连接,主动轮21通过传动带24与一号从动轮22、二号从动轮23传动连接,一号从动轮22、二号从动轮23分别与转动板25固定连接,转动板25远离一号从动轮22、二号从动轮23一端分别转动连接有支撑杆26,支撑杆26远离转动板25一端固定连接有电机架27,电机架27内壁固定连接有切割电机28,电机架27外壁远离支撑杆26的一端对称固定连接有两个驱动轮29,两个驱动轮29中部之间缠绕有钢丝30,限位板18中并排铺设有若干限位孔31,可一次性切割多个,降低生产成本。二号伺服电机33输出端穿过固定架32与齿轮15固定连接,齿轮15转动带动齿条14移动,下料槽34位于限位板18远离推动板17一侧,保障切割后的材料在收集槽2内收集,限位孔31与单晶硅棒尺寸契合,推动板17高度与单晶硅棒直径相等,进行单晶硅棒的限位,方便切割,主动轮21、一号从动轮22和二号从动轮23形成等腰三角形,起到传动作用切割电机28型号为kom7080型,隔板8底端与过滤网6接触,驱动轮29中部均设有V型凹槽,钢丝30位本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种单晶硅片快速切割装置,包括主体框架(1),其特征在于,所述主体框架(1)内壁底端设有收集槽(2),所述主体框架(1)内壁两侧对称固定连接有一号滑块(3),所述收集槽(2)靠近一号滑块(3)的一侧均设有一号滑槽(4),所述一号滑块(3)均与一号滑槽(4)滑动连接,所述收集槽(2)内壁两侧对称固定连接有L型支撑板(5),所述L型支撑板(5)上设有过滤网(6),所述过滤网(6)顶端对称固定连接有固定板(7),所述固定板(7)之间对称固定连接有隔板(8),所述隔板(8)一侧固定连接有一号把手(9),所述收集槽(2)靠近一号把手(9)一侧固定连接有二号把手(10),所述主体框架(1)顶端中部设有二号滑槽(11),所述二号滑槽(11)内滑动连接有二号滑块(12),所述二号滑块(12)远离二号滑槽(11)的一端固定连接有推杆(13),所述推杆(13)远离二号滑块(12)的一端固定连接有齿条(14),所述齿条(14)啮合连接有齿轮(15),所述主体框架(1)靠近齿轮(15)一侧固定连接有安装板(16),所述安装板(16)靠近齿轮(15)一侧固定连接有固定架(32),所述固定架(32)内壁固定连接有二号伺服电机(33),所述推杆(13)一端固定连接有推动板(17),所述主体框架(1)靠近推动板(17)一侧固定连接有限位板(18),所述主体框架(1)顶端设有下料槽(34),所述主体框架(1)顶端远离下料槽(34)一端固定连接有支撑架(19),所述支撑架(19)内壁固定连接有一号伺服电机(20),所述支撑架(19)靠近限位板(18)一侧等距转动连接有主动轮(21)、一号从动轮(22)和二号从动轮(23),所述一号伺服电机(20)输出端穿过支撑架(19)与主动轮(21)固定连接,所述主动轮(21)通过传动带(24)与一号从动轮(22)、二号从动轮(23)传动连接,所述一号从动轮(22)、二号从动轮(23)分别与转动板(25)固定连接,所述转动板(25)远离一号从动轮(22)、二号从动轮(23)一端分别转动连接有支撑杆(26),所述支撑杆(26)远离转动板(25)一端固定连接有电机架(27),所述电机架(27)内壁固定连接有切割电机(28),所述电机架(27)外壁远离支撑杆(26)的一端对称固定连接有两个驱动轮(29),两个所述驱动轮(29)中部之间缠绕有钢丝(30),所述限位板(18)中并排铺设有若干限位孔(31)。/n...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片快速切割装置,包括主体框架(1),其特征在于,所述主体框架(1)内壁底端设有收集槽(2),所述主体框架(1)内壁两侧对称固定连接有一号滑块(3),所述收集槽(2)靠近一号滑块(3)的一侧均设有一号滑槽(4),所述一号滑块(3)均与一号滑槽(4)滑动连接,所述收集槽(2)内壁两侧对称固定连接有L型支撑板(5),所述L型支撑板(5)上设有过滤网(6),所述过滤网(6)顶端对称固定连接有固定板(7),所述固定板(7)之间对称固定连接有隔板(8),所述隔板(8)一侧固定连接有一号把手(9),所述收集槽(2)靠近一号把手(9)一侧固定连接有二号把手(10),所述主体框架(1)顶端中部设有二号滑槽(11),所述二号滑槽(11)内滑动连接有二号滑块(12),所述二号滑块(12)远离二号滑槽(11)的一端固定连接有推杆(13),所述推杆(13)远离二号滑块(12)的一端固定连接有齿条(14),所述齿条(14)啮合连接有齿轮(15),所述主体框架(1)靠近齿轮(15)一侧固定连接有安装板(16),所述安装板(16)靠近齿轮(15)一侧固定连接有固定架(32),所述固定架(32)内壁固定连接有二号伺服电机(33),所述推杆(13)一端固定连接有推动板(17),所述主体框架(1)靠近推动板(17)一侧固定连接有限位板(18),所述主体框架(1)顶端设有下料槽(34),所述主体框架(1)顶端远离下料槽(34)一端固定连接有支撑架(19),所述支撑架(19)内壁固定连接有一号伺服电机(20),所述支撑架(19)靠近限位板(18)一侧等距转动连接有主动轮(21)、一号从动轮(22)和二号从动轮(2...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈辉辉,
申请(专利权)人:上海合晶硅材料有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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