本发明专利技术提供了一种光刻胶瓶固持装置，包括：底座；大瓶保持架，与所述底座固定连接，该大瓶保持架具有用于支撑大瓶的第一支撑面，该第一支撑面的形状与该大瓶的侧壁形状适应；小瓶保持架，与所述大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有用于支撑小瓶的第二支撑面以及用于与该第一支撑面接触的第三支撑面，该第二支撑面的形状与该小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与该第一支撑面的形状适应，该小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。本发明专利技术能够适用于不同尺寸的光刻胶瓶。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光刻胶瓶固持装置，尤其涉及一种便于切换大、小光刻胶瓶的光刻胶瓶固持装置。
技术介绍
光刻胶是半导体工艺中一种常用的液体制剂，通常存储于光刻胶瓶中。在使用时，光刻胶瓶被固定在光刻胶瓶固持装置上，由光刻胶瓶固定装置夹持的吸管伸入光刻胶瓶中，以从光刻胶瓶中抽取光刻胶。但是，常用的光刻胶瓶通常具有多种不同的尺寸，而现有技术中的光刻胶瓶固持装置的结构是固定的，其通常仅能与某一种特定尺寸的光刻胶瓶最优地配合使用。当更换不同尺寸的光刻胶瓶时，现有技术中的光刻胶瓶固持装置并不能起到较优的支撑、固定作用，可能会导致各种问题，例如光刻胶瓶得不到牢固的支撑，吸管无法插入瓶口等。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种光刻胶瓶固持装置，能够适用于不同尺寸的光刻胶瓶。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种光刻胶瓶固持装置，包括:底座；大瓶保持架，与所述底座固定连接，该大瓶保持架具有用于支撑大瓶的第一支撑面，该第一支撑面的形状与该大瓶的侧壁形状适应；小瓶保持架，与所述大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有用于支撑小瓶的第二支撑面以及用于与该第一支撑面接触的第三支撑面，该第二支撑面的形状与该小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与该第一支撑面的形状适应，该小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。根据本专利技术的一个实施例，该装置还包括:吸管固定架，该吸管固定架的位置相对于所述底座固定；吸管夹持臂，用于夹持吸管，该吸管夹持臂与所述吸管固定架滑动连接以调节该吸管的竖直高度。根据本专利技术的一个实施例，该装置还包括:微调标尺，固定在所述吸管固定架上；与所述微调标尺配合使用的刻度指针，固定在所述吸管夹持臂上。根据本专利技术的一个实施例，所述吸管夹持臂夹持有瓶盖，所述吸管插入该瓶盖内。根据本专利技术的一个实施例，该装置还包括:支撑板，与所述底座固定连接以支撑该大瓶或小瓶的底部，该支撑板与水平面之间具有预设的倾角。根据本专利技术的一个实施例，所述第一支撑面与第二支撑面为圆柱面且二者同轴。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点:本专利技术实施例的光刻胶瓶固持装置具有可拆卸的小瓶保持架，在安装小瓶保持架时，小瓶保持架的第二支撑面与小瓶的侧壁形状相适应，在拆掉小瓶保持架时，大瓶保持架的第一支撑面与大瓶的侧壁形状相适应，从而能够适用于具有不同尺寸的大瓶和小瓶。进一步而言，本专利技术实施例的光刻胶瓶固持装置还具有可滑动的吸管夹持臂，该吸管夹持臂可以相对于吸管固定架滑动，以调节吸管的垂直高度，从而能够使得吸管顺利插入不同尺寸的光刻胶瓶内，以适用于多种不同尺寸的光刻胶瓶。【附图说明】图1是本专利技术实施例的光刻胶瓶固持装置在固持大瓶时的立体结构图；图2是本专利技术实施例的光刻胶瓶固持装置在固持大瓶时的剖面结构图；图3是本专利技术实施例的光刻胶瓶固持装置在固持大瓶时的正视图；图4是本专利技术实施例的光刻胶瓶固持装置在固持小瓶时的立体结构图；图5是本专利技术实施例的光刻胶瓶固持装置在固持小瓶时的剖面结构图；图6是本专利技术实施例的光刻胶瓶固持装置在固持小瓶时的正视图。【具体实施方式】下面结合具体实施例和附图对本专利技术作进一步说明，但不应以此限制本专利技术的保护范围。本实施例的光刻胶瓶固持装置包括底座、大瓶保持架、小瓶保持架、吸管固定架、吸管夹持臂、微调标尺、刻度指针以及支撑板。其中，大瓶保持架与底座固定连接，大瓶保持架用于支撑大瓶(“大光刻胶瓶”的简称)，更进一步而言，大瓶保持架的第一支撑面用于支撑大瓶，该第一支撑面的形状与大瓶的侧壁形状适应。小瓶保持架与大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有第二支撑面和第三支撑面，其中第二支撑面用于支撑小瓶(“小光刻胶瓶”的简称)，第三支撑面用于与大瓶保持架的第一支撑面接触。该第二支撑面的形状与小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与第一支撑面的形状适应。 需要说明的是，本申请中的“大瓶”和“小瓶”是相对的概念，大瓶的尺寸大于小瓶的尺寸，但是二者的具体尺寸并无特定的限制，例如可以是符合某一特定标准的标准尺寸，也可以是自定义的其他适当尺寸。吸管固定架的位置相对于底座固定，例如可以固定在底座上，或者固定在另一与底座相对固定的部件上。吸管夹持臂与吸管固定架滑动连接，该吸管夹持臂用于夹持吸管，吸管夹持臂的滑动可以调节吸管的竖直高度，以将吸管插入大瓶或者是小瓶的瓶口中。在一具体实施例中，吸管夹持臂可以夹持瓶盖，吸管插在瓶盖内，吸管夹持臂的滑动将带动瓶盖和吸管上下滑动。吸管固定架上可以设置有微调标尺，吸管夹持臂上可以设置有刻度指针，该刻度指针与微调标尺配合使用，在吸管夹持臂上下滑动时，可以通过刻度指针在微调标尺上指示的刻度来观察和确定吸管夹持臂当前的位置。另外，底座上可以固定连接有支撑板，用于支撑大瓶或小瓶的底部，该支撑板与水平面之间具有预设的倾角，使得大瓶或小瓶保持倾斜状态，从而使吸管可以伸入至瓶底最深处，充分利用瓶内的光刻胶。下面分别通过固持大瓶和固持小瓶时的状态来对该光刻胶瓶固持装置进行详细说明。参考图1至图3，图1至图3当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光刻胶瓶固持装置，其特征在于，包括：底座；大瓶保持架，与所述底座固定连接，该大瓶保持架具有用于支撑大瓶的第一支撑面，该第一支撑面的形状与该大瓶的侧壁形状适应；小瓶保持架，与所述大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有用于支撑小瓶的第二支撑面以及用于与该第一支撑面接触的第三支撑面，该第二支撑面的形状与该小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与该第一支撑面的形状适应，该小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨宏超，金一诺，张怀东，王坚，王晖，
申请(专利权)人：盛美半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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