【技术实现步骤摘要】
本申请是申请人于2008年6月4日提交的、申请号为“200810125911.1”,名称为“工业用机器人”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及一种搬运规定搬运对象物的工业用机器人。
技术介绍
以往,将搬运对象物从收纳搬运对象物的收纳部搬出并将搬运对象物向收纳部搬入的工业用机器人得到了广泛使用。作为这种工业用机器人,已知有一种将作为搬运对象物的半导体晶片从作为收纳部的真空室内搬出并将半导体晶片向真空室内搬入的工业用机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1所述的工业用机器人被组装在半导体设备的制造系统中,该工业用机器人将半导体晶片从自外部接收半导体晶片的预备减压室(真空过渡室(日文:ロードロックチャンバー))搬出,并将半导体晶片向对半导体晶片进行规定处理用的处理室(真空室)搬入。该工业用机器人配置在移送室(真空室)中,移送室配置在预备减压室和处理室的周围。近年来,为了提高生产效率,要求工业用机器人搬运半导体晶片的速度高速化。另一方面,为了在搬运速度高速化时半导体晶片也不会在载放半导体晶片的手部上产生错位,需要在手部上可靠地把持半导体晶片。在此,在大气中使用的工业用机器人广泛采用的是通过真空吸附来把持半导体晶片的方法,但配置在真空室内的工业用机器人却无法通过真空吸附来把持半导体晶片。因此,在专利文献1中,作为响应这种搬运速度高速化要求的技术方案,提出了一种在手部上把持半导体晶片的机械式的夹持机< ...
【技术保护点】
一种工业用机器人,用于进行搬运对象物从收纳所述搬运对象物的收纳部的搬出和所述搬运对象物向所述收纳部的搬入,其特征在于,包括:装载所述搬运对象物的手部;多关节机臂部,该多关节机臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端侧的手部保持机臂在内的两个以上的机臂,在所述搬运对象物相对于所述收纳部出入时进行伸缩;以及将所述多关节机臂部可转动地保持的本体部,所述手部包括:用于与所述搬运对象物抵接来把持所述搬运对象物的把持部、以及朝着把持所述搬运对象物的方向对所述把持部施力的施力部件,所述手部保持机臂包括偏心部件,该偏心部件以从所述手部相对于所述手部保持机臂的转动中心偏离的位置固定在所述手部保持机臂上,并在所述搬运对象物被从所述收纳部搬出开始之前与所述把持部抵接而使所述把持部从所述搬运对象物退避,随着将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作,所述偏心部件相对于所述把持部相对移动,以使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动,在将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作的恒速中或减速中,所述把持部通过所述施力部件的施力而开始把持所述搬运对象物。
【技术特征摘要】
2007.06.05 JP 2007-149267;2007.06.22 JP 2007-164941.一种工业用机器人,用于进行搬运对象物从收纳所述搬运对象物的收
纳部的搬出和所述搬运对象物向所述收纳部的搬入,其特征在于,包括:
装载所述搬运对象物的手部;
多关节机臂部,该多关节机臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端
侧的手部保持机臂在内的两个以上的机臂,在所述搬运对象物相对于所述收纳
部出入时进行伸缩;以及
将所述多关节机臂部可转动地保持的本体部,
所述手部包括:用于与所述搬运对象物抵接来把持所述搬运对象物的把持
部、以及朝着把持所述搬运对象物的方向对所述把持部施力的施力部件,
所述手部保持机臂包括偏心部件,该偏心部件以从所述手部相对于所述手
部保持机臂的转动中心偏离的位置固定在所述手部保持机臂上,并在所述搬运
对象物被从所述收纳部搬出开始之前与所述把持部抵接而使所述把持部从所
述搬运对象物退避,
随着将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩
动作,所述偏心部件相对于所述把持部相对移动,以使所述把持部朝着把持所
述搬运对象物的方向移动,
在将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动
作的恒速中或减速中,所述把持部通过所述施力部件的施力而开始把持所述搬
运对象物。
2.如权利要求1所述的工业用机器人,其特征在于,
在所述搬运对象物被向所述收纳部搬入开始之前,所述把持部通过所
述施力部件的施力来把所述持搬运对象物,
随着将所述搬运对象物向所述收纳部搬入时的所述多关节机臂部的伸缩
动作,所述偏心部件相对于所述把持部相对移动,以使所述把持部从所述搬运
对象物退避的方向移动,
在将所述搬运对象物向所述收纳部搬入时的所述多关节机臂部的伸缩动
\t作的加速中或恒速中,所述把持部开始从所述搬运对象物退避。
3.如权利要求1所述的工业用机器人,其特征在于,
所述把持部配置在作为所述手部保持机臂侧的所述手部的基端侧,
所述手部在前端侧具有与所述搬运对象物的端部抵接的抵接部。
4.如权利要求1所述的工业用机器人,其特征在于,所述把持部具有与所
述搬运对象物抵接并可转动的滚筒。
5.如权利要求1所述的工业用机器人,其特征在于,所述把持部朝着
把持所述搬运对象物的把持方向和从所述搬运对象物退避的退避方向直线
状移动。
6.如权利要求5所述的工业用机器人,其特征在于,所述把持部具有被朝
着所述把持方向和所述退避方向直线状引导的至少两个轴部件。
7.如权利要求5所述的工业用机器人,其特征在于,所述把持部具有筒状
的凸轮部件,该凸轮部件在内周侧形成有与所述偏心部件抵接的凸轮面。
8.一种工业用机器人,用于进行搬运对象物从收纳所述搬运对象物的收纳
部的搬出和所述搬运对象物向所述收纳部的搬入,其特征在于,包括:
装载所述搬运对象物的手部;
多关节机臂部,该多关节机臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端
侧的手部保持机臂在内的两个以上的...
【专利技术属性】
技术研发人员:矢泽隆之,小山淳之介,
申请(专利权)人:日本电产三协株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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