【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光加工
，尤其涉及一种用于碳化硅薄片激光切割的夹具。
技术介绍
碳化硅(SiC)的硬度大，熔点高，抗压强度大，抗弯强度高的特点，使其作为结构材料，可以应用于火箭的燃烧室和喷嘴材料。SiC作为半导体材料，可以应用于制作高温高压二极管。由于SiC的内部结构的硬、脆性，还有SiC的硬度与其晶轴方向有关的特性，使得目前SiC片的加工过程中，出现受力不均匀，易碎易裂等问题。为了研究激光切割碳化硅的性质，需要提供一种用于碳化硅薄片的激光切割的夹具。
技术实现思路
由于碳化硅具有硬、脆、热的良导体等性质，在设计夹具时，把夹具设计为两部分。一半有载物板，一半无载物板。采用三脚按压的方式。用螺栓穿过弹簧和压板上事先做好的小孔，最后采用螺纹连接和载物板相连。螺栓上的弹簧压在压板上，可以使压板上下活动并且有一个俯仰角。同时压板可以自由旋转，这样就可以达到压紧碳化硅片的效果。为实现上述目的，本技术采用的技术方案为一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具，该夹具包括载物板(1)、M6螺栓(2)、压板(3)、M3螺栓(4)、弹簧(5)、橡胶压头(6)、半圆通孔(7)、通孔(8)、螺纹孔(9)；载物板(1)为矩形结构，载物板(1)的四个角部上分别设有四个通孔(8)，载物板(1)上设有三个螺纹孔(9)，三个螺纹孔(9)在载物板(1)的平面间夹角为60°；载物板(1)上设有一个半圆通孔(7)；四个M6螺栓(2...
【技术保护点】
一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具，其特征在于：该夹具包括载物板（1）、M6螺栓（2）、压板（3）、M3螺栓（4）、弹簧（5）、橡胶压头（6）、半圆通孔（7）、通孔（8）、螺纹孔（9）；载物板（1）为矩形结构，载物板（1）的四个角部上分别设有四个通孔（8），载物板（1）上设有三个螺纹孔（9），三个螺纹孔（9）在载物板（1）的平面间夹角为60°；载物板（1）上设有一个半圆通孔（7）；四个M6螺栓（2）分别通过四个通孔（8）将夹具固定在光学试验平台上；压板（3）的一端通过M3螺栓（4）安装在载物板（1）上的螺纹孔（9）中，压板（3）的另一端设有橡胶压头（6）；压板（3）与M3螺栓（4）之间设有弹簧（5）；压板（3）的端部设有与M3螺栓（4）配合的圆形通孔。
【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具，其特征在于：该夹具包括载物板
（1）、M6螺栓（2）、压板（3）、M3螺栓（4）、弹簧（5）、橡胶压头（6）、半
圆通孔（7）、通孔（8）、螺纹孔（9）；载物板（1）为矩形结构，载物板（1）
的四个角部上分别设有四个通孔（8），载物板（1）上设有三个螺纹孔（9），三
个螺纹孔（9）在载物板（1）的平面间夹角为60°；载物板（1）上设有一个半
圆通孔（7）；四个M6螺栓（2）分别通过四个通孔（8）将夹具固定在光学试验
平台上；压板（3）的一端通过M3螺栓（4）安装在载物板（1）上的螺纹孔（9）
中，压板（3）的另一端设有橡胶...
【专利技术属性】
技术研发人员：王旭葆，宋冬冬，王泽宇，牛霞，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：新型
国别省市：北京;11
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