【技术实现步骤摘要】
可调高度差的显微镜组合载物台
本专利技术属于一种显微镜载物台,具体涉及一种可调高度差的显微镜组合载物台。
技术介绍
光学显微镜、扫描电子显微镜是失效分析及检测领域常用的实验设备。受成像原理所限,显微镜很难同时检测到不同高度的多件样品。尤其是在样品观察面高度差别很大的情况下,在高倍观察下方样品时,显微镜镜头容易与上方样品发生磕碰甚至损坏。为避免这种情况的发生,必须要对样品按照高度进行分类,相近高度的样品编为一组,高度差别较大的样品组只能分批观察。常规扫描电子显微镜的样品室需要在真空条件下运行,在更换样品组时需要重复破真空、抽真空的过程,由于该过程时间相对较长,大大降低了检测效率。如何同时检测观察面高度差别较大的多件样品是该
亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了克服现有技术中存在的缺点而提出的,其目的是提供一种可调高度差的显微镜组合载物台。本专利技术的技术方案是:一种可调高度差的显微镜组合载物台,包括套筒,在套筒内安装固定样品台和移动样品台,套筒和固定样品台通过螺钉连接,套筒和移动样品台通过螺纹连接;所述套筒内壁形成内螺纹,底部形成沉孔,内底面向上凸起形成内凸台,内凸台中部形成凹槽;所述固定样品台由半圆柱型上部和圆柱型下部形成,下部向下形成凸台,凸台中间形成安装螺孔,上部形成多个固定台样品槽;所述移动样品台呈圆柱型,外圆周面形成外螺纹,上端形成凸缘,中间形成异形孔,异形孔纵截面呈反L形,上段为半圆孔,下段为圆孔,移动样品台未形成异形孔的位置形成多个移动台样品槽;所述套筒、固定样品台、移动样品台和螺钉同轴。所述半圆孔的孔径及孔深与固定样品台的上部尺 ...
【技术保护点】
一种可调高度差的显微镜组合载物台,其特征在于:包括套筒(1),在套筒(1)内安装固定样品台(2)和移动样品台(3),套筒(1)和固定样品台(2)通过螺钉(4)连接,套筒(1)和移动样品台(3)通过螺纹连接;所述套筒(1)内壁形成内螺纹,底部形成沉孔(12),内底面向上凸起形成内凸台(13),内凸台(13)中部形成凹槽(11);所述固定样品台(2)由半圆柱型上部(23)和圆柱型下部(24)形成,下部(24)向下形成凸台(21),凸台(21)中间形成安装螺孔(22),上部形成多个固定台样品槽(25);所述移动样品台(3)呈圆柱型,外圆周面形成外螺纹,上端形成凸缘(31),中间形成异形孔(32),异形孔(32)纵截面呈反L形,上段为半圆孔(321),下段为圆孔(322),移动样品台(3)未形成异形孔(32)的位置形成多个移动台样品槽(33)。
【技术特征摘要】
1.一种可调高度差的显微镜组合载物台,其特征在于:包括套筒(1),在套筒(1)内安装固定样品台(2)和移动样品台(3),套筒(1)和固定样品台(2)通过螺钉(4)连接,套筒(1)和移动样品台(3)通过螺纹连接;所述套筒(1)内壁形成内螺纹,底部形成沉孔(12),内底面向上凸起形成内凸台(13),内凸台(13)中部形成凹槽(11);所述固定样品台(2)由半圆柱型上部(23)和圆柱型下部(24)形成,下部(24)向下形成凸台(21),凸台(21)中间形成安装螺孔(22),上部形成多个固定台样品槽(25);所述移动样品台(3)呈圆柱型,外圆周面形成外螺纹,上端形成凸缘(31),中间形成异形孔(32),异形孔(32)纵截面呈反L形,上段为半圆孔(321),下段为圆孔(322),移动样品台(3)未形成异形孔(32)的位置形成多个移动台样品槽(33)。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:李昂,吴雷,赵凯,韩秋良,吴福,高蔚,郑晓静,贺平,
申请(专利权)人:核工业理化工程研究院,
类型:发明
国别省市:天津;12
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