闪烁体板及其制造方法以及辐射检测器及其制造方法技术

提供具有能透过可见光的基板1和荧光层2的闪烁体板50，荧光层2设置在基板1的表面上，并且是由能把入射辐射转换成可见光的铊激活的碘化铯制成的。用防潮膜3覆盖荧光层2。荧光层2是由高铊浓度层和浓度比高铊浓度层低的低铊浓度层组成的一个交替的叠层，其中在叠层方向上的一个铊浓度循环的厚度是40纳米或更少。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】闪烁体板及其制造方法以及辐射检测器及其制造方法
这里描述的实施例一般涉及闪烁体板及其制造方法以及辐射检测器及其制造方法。
技术介绍
作为医疗用的、牙科用的、无损检测用的等等的数字辐射检测器，其主流是一种使用通过闪烁体层把入射X-射线转换成可见光的系统的检测器。在闪烁体层中，使用数种类型的材料，然而，在医疗用的平板检测器(此后简称为“FPD”)中，在许多情况中使用一种设备，该设备使用牙科CMOS传感器、或医疗用/动物诊断用的CCD-DR设备、铊激活的碘化铯(此后简称为“CsI/Tl”)。通过真空气相沉积法可以容易地形成平面形状的CsI/Tl荧光层。此外，通过适当地调节沉积条件，可以形成具有约5μm直径的纤维晶体(柱状晶体)结构的薄膜。通过形成如此的纤维结构，由于CsI晶体(折射率＝1.8)和晶体间空隙(折射率＝1)之间的折射率的差异，从一个确定光纤中的辐射转换成的荧光到达传感器表面上与光发光点的表面方向偏离不大的位置处。结果，作为辐射图像捕获装置，得到不很模糊的捕获图像。即，通过在适当条件下形成CsI/Tl荧光层，铊CsI/Tl荧光层可同时具有把辐射转换成可见光的闪烁功能以及把图像保持本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闪烁体板包括：透过可见光的基板；以及设置在基板表面上的、把入射辐射转换成可见光的、并且是从铊激活的碘化铯形成的荧光层，其中通过轮流层叠高铊浓度层和浓度比高铊浓度层低的低铊浓度层来得到荧光层，并且所述荧光层在层叠方向上具有40纳米或更少的铊浓度段。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.04.15 JP 2013-0847341.一种闪烁体板包括：透过可见光或辐射射线的基板；以及设置在基板表面上的、把入射辐射转换成可见光的、并且是从铊激活的碘化铯形成的荧光层，其中通过轮流层叠第一铊浓度层和浓度比第一铊浓度层低的第二铊浓度层来得到荧光层，并且所述荧光层在层叠方向上具有40纳米或更少的铊浓度段。2.如权利要求1所述的闪烁体板，其特征在于，所述铊浓度段为15纳米或更少。3.一种用于制造闪烁体板的方法，所述方法包括：设置透过可见光或辐射射线的基板，在真空腔中设置放置碘化铯的第一坩埚以及放置碘化铊的第二坩埚，使得基板面对第一坩埚和第二坩埚，以及通过在旋转基板的同时对第一坩埚和第二坩埚加热而在基板的表面上形成铊激活的碘化铯的荧光层，以及其中当由R来表示基板旋转速度，由T来表示基板上闪烁体的沉积率时，T/R<40纳米，其中R的单位是rpm，T的单位是nm/min。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一坩埚和第二坩埚被设置为使基板的旋转轴夹在中间。5.一种辐射检测器包括：光电转换板，在光电转换板上设有把可见光转换成电信号的传感器；设置在光...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田笃也，
申请(专利权)人：株式会社东芝，东芝电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP