一种微结构阵列器件模芯制造方法技术

本发明专利技术提供一种微结构阵列器件模芯制造方法，包括：(1)准备用于制备注塑模芯的金属薄片；(2)准备圆柱夹具；(3)将圆柱夹具安装于加工机床上，对圆柱侧面进行超精密切削；(4)将金属薄片包裹于圆柱基底上，并紧固圆柱夹具；(5)再次对包裹金属薄片的圆柱侧面进行切削；(6)取下圆柱夹具，测量圆柱半径R；(7)根据测试好的圆柱半径R，并结合被加工微结构轮廓进行加工路径设计；(8)进行微结构单元加工；(9)对加工微结构区域进行剪裁并适当压平作为注塑模芯。在微结构阵列器件制造中，采用本发明专利技术的模芯制造方法及并进行注塑加工，可以实现保证切削状态的稳定性从而保证微结构单元的面形一致性。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】 所属
本专利技术属于精密制造
，涉及一种微结构阵列器件制造方法。
技术介绍
微结构一般是由大量微小单元的重复组合，微小单元一般分布在平面基底上。功 能性微结构在先进光学系统中应用广泛，可借助周期性结构缩减系统尺寸，并达到意想不 到的特殊功能。比如微透镜阵列可以将手机镜头厚度从3毫米左右缩短到几百微米，同时 可以装配于普通镜头中极大地提高成像系统景深。微棱镜阵列由一系列微小四面棱锥组 成，具有高效逆反射光性能，广泛应用于交通警示牌的制作。 为了配合更大范围的应用，对于微结构器件的尺寸需求越来越大，同时应用中需 要每个微单元应具有高度的面形一致性。但目前光刻或激光直写的方式受到工艺限制，不 仅加工成本高，并且实现微单元的一致性较难。而常见的单晶金刚石切削方法，要实现大范 围器件的加工，需要靠较大范围的直线导轨运动，受到环境稳定性和刀具切削状态的不稳 定等限制，加工工艺很难保证长时间和长距离一致，因此，也比较难以实现微结构单元的高 面形一致性。
技术实现思路
本专利技术旨在提供，在微结构阵列器件制造中， 采用本专利技术的模芯制造方法制备模芯后再进行注塑加工，可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微结构阵列器件模芯制造方法，包括下列的步骤：(1)准备用于制备注塑模芯的金属薄片(1)；(2)准备圆柱夹具(22)，根据根据加工机床可加工范围选择圆柱基底(2)；在圆柱基底上沿轴向开设有用于固定紧固金属薄片(1)的部件的凹槽(3)；紧固金属薄片(1)的部件为两个平板(4)，用于夹持金属薄片(1)的两端，平板(4)位于凹槽(3)内并与圆柱基底(2)连接；圆柱基底(2)的半径R。(3)将圆柱夹具(22)安装于加工机床上，圆柱夹具(22)的一端通过真空吸附固定于机床主轴(21)，金刚石刀具(23)垂直圆柱基底轴线放置，使用金刚石刀具(23)对圆柱侧面进行超精密切削，保证表面平整光滑，加工完毕后取...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张效栋，房丰洲，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12