下载一种微结构阵列器件模芯制造方法的技术资料

文档序号:12195655

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本发明提供一种微结构阵列器件模芯制造方法,包括:(1)准备用于制备注塑模芯的金属薄片;(2)准备圆柱夹具;(3)将圆柱夹具安装于加工机床上,对圆柱侧面进行超精密切削;(4)将金属薄片包裹于圆柱基底上,并紧固圆柱夹具;(5)再次对包裹金属薄片...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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