一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于太阳能电池制备技术领域，具体公开了一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置，该装置是基于脉冲光化学的方法设计得到，包括源溶液供应装置、溶液混合装置、光化学反应装置和脉冲紫外光光源系统，所述脉冲紫外光光源系统位于光化学反应装置的上端；将沉积薄膜所需的溶液在溶液混合装置里进行混合，混合溶液进入光化学反应装置，脉冲紫外光的照射下即可在衬底上沉积铜锌锡硫薄膜。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制备
，更具体地，涉及一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置。
技术介绍
四元化合物铜锌锡硫(CZTS)不仅具有较高的光吸收系数(> 14 Cm-1)和与太阳能电池所需要的最佳禁带宽度相匹配的禁带宽度(约为1.50 eV)，而且其组成元素在地壳中储存量丰富、毒性低，被认为是一种绿色、廉价、适合大规模生产的太阳能电池吸收层材料。关于CZTS的研宄已经有40多年的历史，1967年，Nitsche等成功地通过气相碘运输法制得单晶Cu2ZnSnS4。随后Nitsche又研宄并报告了 Cu2-11-1V-S4(Se4)系列单晶的结构属性；1997年，日本的Katagiri小组制备了第一个效率为0.66%的CZTS薄膜太阳能电池，开辟了 CZTS在太阳能电池上的广泛研宄；同年，Friedlmeier采用真空蒸发制备了 CZTS薄膜，并制作了一个效率为2.3%的CZTS/CdS/ITO异质结；2010年，美国IBM公司的Todorow等人采用水合肼作为溶剂制备CZTS薄膜太阳能电池的转化率提高到了 9.7% ;最近他们进一步优化了 CZTS砸化制备薄膜太阳能电池，其效本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置，其特征在于，包括源溶液供应装置（1）、溶液混合装置（3）、光化学反应装置（4）和脉冲紫外光光源系统（7），所述脉冲紫外光光源系统（7）位于光化学反应装置（4）的上端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张军，莫德云，邵乐喜，廖峻，何伟坚，彭晓霞，
申请(专利权)人：岭南师范学院，
类型：新型
国别省市：广东;44