下载一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置的技术资料

文档序号:12156690

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本实用新型属于太阳能电池制备技术领域,具体公开了一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置,该装置是基于脉冲光化学的方法设计得到,包括源溶液供应装置、溶液混合装置、光化学反应装置和脉冲紫外光光源系统,所述脉冲紫外光光源系统位于光化学反应装置的上端;将沉积薄...
该专利属于岭南师范学院所有,仅供学习研究参考,未经过岭南师范学院授权不得商用。

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