本发明专利技术涉及蒸发装置技术领域，公开一种蒸发装置，上述蒸发装置包括：用于装载蒸发材料的坩埚，坩埚的体壁包括内层壁和外层壁，内层壁与外层壁之间的夹层形成腔室，腔室内填充满无机盐；用于加热坩埚的加热元件。上述蒸发装置在工作过程中，在利用加热元件加热坩埚时，腔室内的无机盐会由于受热而变为熔融态，灌满腔室的熔融态无机盐可以均匀导热，从而可以使坩埚在加热过程中内层壁的温度分布更加均匀，从而，可以使蒸发材料的受热均匀性较好。因此，利用上述蒸发装置蒸发时，蒸发材料受热的温度均匀性较好，从而，在采用上述蒸发装置进行有机材料蒸镀时，蒸镀出来的膜层厚度较均匀且不会导致有机材料发生变性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蒸发装置
，特别是涉及一种蒸发装置。
技术介绍
目前，市场上广泛使用的屏幕是液晶显示器（IXD)和有机发光二极管显示器 (OLED)，OLED主要应用于小尺寸面板。OLED与IXD相比，其显示具有轻薄，低功耗，高对比 度，高色域，可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括被动 式有机发光二极管显示（PMOLED)和有源矩阵有机发光二极管显示（AMOLED)，其中AMOLED 显示的实现方式有低温多晶硅（LTPS)背板+精细金属掩膜（FMM Mask)方式，和氧化物 (Oxide)背板+白光有机发光二极管（WOLED) +彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板， 对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应监视器和电视等应用。精细金属掩 膜（FMM Mask)方式，是通过蒸镀方式将OLED有机材料按照预定程序蒸镀到LTPS背板上， 利用精细金属掩模板上的图形，形成红绿蓝器件。 现有的AMOLED制备过程中，有机材料的蒸镀过程大多采用坩埚作为蒸发装置在 真空腔体中进行蒸镀，坩埚具有用来装载有机蒸发材料的槽型结构，坩埚外部设有加热丝 用以对其进行加热。由于传统坩埚仅靠加热丝加热，并仅通过加热丝的分布来实现其加热 温度的均匀性，但是，由于加热丝易变形，从而容易导致坩埚的温度均匀性较差，从而可能 导致蒸镀出来的膜层厚度不均，以及坩埚内材料变性等问题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种蒸发装置，利用该蒸发装置蒸发时，蒸发材料的受热均 匀性较好。 为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案： -种蒸发装置，包括： 用于装载蒸发材料的坩埚，所述坩埚的体壁包括内层壁和外层壁，所述内层壁与 所述外层壁之间形成腔室，所述腔室内填充满无机盐； 用于加热所述坩埚的加热元件。 上述蒸发装置在工作过程中，在利用加热元件加热坩埚时，腔室内的无机盐会由 于受热而变为熔融态，灌满腔室的熔融态无机盐可以均匀导热，从而可以使坩埚在加热过 程中内层壁的温度分布更加均匀，从而，可以使蒸发材料的受热均匀性较好。 因此，利用上述蒸发装置蒸发时，蒸发材料的受热均匀性较好。 优选地，所述无机盐为至少两种盐组成的无机盐的混合物。 优选地，所述无机盐为质量分数为50%的硝酸钾和质量分数为50%的亚硝酸钠 组成的无机盐的混合物。 优选地，所述加热元件埋入所述腔室内的无机盐中。 优选地，所述加热元件为电热丝。 优选地，所述电热丝包括金属丝和包裹在所述金属丝外、以使所述金属丝和所述 无机盐电隔绝的绝缘鞘。 优选地，所述坩埚为槽型结构，所述坩埚的体壁包括配合以围成槽型结构的底壁 和侧壁，所述加热元件位于所述侧壁中。 优选地，所述加热元件沿所述侧壁的延展方向呈蛇形弯曲延伸。 优选地，所述腔室为封闭式的腔室。 优选地，所述蒸发装置还包括： 与所述坩埚外层壁接触、用于感测坩埚外层壁温度的温度感应器； 用于根据温度感应器感测到的坩埚外层壁的温度控制所述加热元件对坩埚的加 热温度的温度控制器。【附图说明】 图1为本专利技术实施例提供的一种蒸发装置的横切面结构示意图； 图2为图1中所示的蒸发装置的坩埚侧壁的切面结构示意图。【具体实施方式】 下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于 本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例，都属于本专利技术保护的范围。 如图1和图2所示，本专利技术实施例提供的一种蒸发装置，包括： 用于装载蒸发材料的坩埚1，坩埚1的体壁包括内层壁11和外层壁12,内层壁11 与外层壁12之间的夹层形成腔室13,腔室13内填充满无机盐2 ; 用于加热坩埚1的加热元件3。 上述蒸发装置在工作过程中，在利用加热元件3加热坩埚1时，腔室13内的无机 盐2会由于受热而变为熔融态，灌满腔室13的熔融态无机盐2可以均匀导热，从而可以使 坩埚1在加热过程中内层壁11的温度分布更加均匀，从而，可以使蒸发材料的受热均匀性 较好。 因此，利用上述蒸发装置蒸发时，蒸发材料的受热均匀性较好。 从而，在采用上述蒸发装置进行有机材料蒸镀时，蒸镀出来的膜层厚度较均匀且 不会导致有机材料发生变性。 一种具体的实施例中，上述坩埚1的材料可以与传统坩埚的材料相同，具体地，坩 埚1的体壁可以采用金属钛材料，以保证坩埚1具有足够的强度，能够在高温下不变形。 一种具体的实施例中，腔室13内填充的无机盐2可以为某种无机盐的纯净物，也 可以是无机盐的混合物，不同种类无机盐的纯净物或者无机盐的混合物在熔融态的使用温 度不同，下列表1中给出了一些无机盐纯净物和无机盐混合物的熔化温度和使用温度；对 于上述蒸发装置中无机盐的选取，可以根据其蒸发材料的蒸发温度范围进行选取，具体地， 选取的无机盐的使用温度范围需要包括蒸发材料的蒸发温度范围。当然，上述蒸发装置中 选取的无机盐不限于表1中给出的这些常用的无机盐成分配比。 表1常用无机盐的成分配比及使用温度范围 一种具体的实施例中，腔室13内填充的无机盐2可以为两种无机盐的混合物。优 选地，腔室13内填充的无机盐2采用质量分数为50%的硝酸钾和质量分数为50%的亚硝 酸钠配比而成的无机盐的混合物。由上述表1可以知道，质量分数为50%的硝酸钾和质量 分数为50%的亚硝酸钠组成的无机盐的当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种蒸发装置，其特征在于，包括：用于装载蒸发材料的坩埚，所述坩埚的体壁包括内层壁和外层壁，所述内层壁与所述外层壁之间形成腔室，所述腔室内填充满无机盐；用于加热所述坩埚的加热元件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：关立伟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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