用于将材料引入材料处理系统的托架系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于将材料引入材料处理系统的托架系统。在各个特征方面和实施例中，本公开涉及用于容纳并保持前驱物材料的托架系统。托架系统可以用于材料处理系统内以用于在衬底上形成保护涂层。托架系统可以包括包含多个容座的托架。托架系统可以还包括多个杯体，配置每个杯体以可移除地位于托架的容座内。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于保持前驱物材料的托架系统，包括：托架，其包括多个区段，所述多个区段中的每个区段包括容座；以及多个杯体，其用于保持前驱物材料，其中所述多个杯体中的每一个杯体配置成位于所述托架的所述多个区段中的一区段的容座内。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：J·登普斯特，J·梅纳德，
申请(专利权)人：HZO股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US